气相沉积膜设备用射频导入系统技术方案
【技术实现步骤摘要】
：本专利技术涉及一种射频导入系统，尤其是一种气相沉积膜设备用射频导入系统。
技术介绍
：为满足气相沉积膜设备在沉积时的反应要求，在沉积过程中需要向腔室内导入高能量加速反应，将电能转化后导入腔室，提高腔室内部能量。
技术实现思路
：针对上述现有技术的不足，本专利技术提供了一种气相沉积膜设备用射频导入系统。为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案是：气相沉积膜设备用射频导入系统，包括能量输出装置，金属导通杆，极板和腔室。能量输出装置通过金属导通杆与极板连接，极板设置在腔室的上端。优选的，所述的金属导通杆可以为板状折弯的、条状折弯的、板状的或柱状的等形状。优选的，所述的极板和腔室可以为圆形或方形等形状。本专利技术可以根据能量输入系统的安装布局使用不同形状的金属导通杆，确保整个系统能量的正常导入。金属导通杆与极板在极板中心一定范围内进行连接，保证能量导入极板的均匀性。附图说明：图1是本专利技术实施例1的结构示意图。图2是实施例1中金属导通杆的结构示意图。图3是本专利技术实施例2的结构示意图。图4是本专利技术实施例3的结构示意图。图5是实施例3中金属导通杆的结构示意图。图6是本专利技术实施例4的结构示意图。图7是实施例4中金属导通杆的结构示意图。图8是是本专利技术实施例5的结构示意图。图9是实施例5中金属导通杆的结构示意图。具体实施方式：下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清晰、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得...
【技术保护点】
气相沉积膜设备用射频导入系统，其特征在于：包括能量输出装置，金属导通杆，极板和腔室；能量输出装置通过金属导通杆与极板连接，极板设置在腔室的上端。
【技术特征摘要】
1.气相沉积膜设备用射频导入系统，其特征在于：包括能量输出装置，金属导通杆，极板和腔室；能量输出装置通过金属导通杆与极板连接，极板设置在腔室的上端。2.如权利要求1所述的气相沉积膜设备...
【专利技术属性】
技术研发人员：王燚，刘亿军，
申请(专利权)人：沈阳拓荆科技有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21
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