一种泵装置，即使在提高了罩部件的散热性的情况下，也能实现低成本且小型化。泵装置具有：转子(5)，其以旋转中心轴线(L)为中心进行旋转；定子(6)，其配置在转子的周围；叶轮(4)，其相对于转子配置于旋转中心轴线延伸的轴线方向的一侧(L1)...

一种密封结构，包括：机器人的机械臂；覆盖所述机械臂并通过紧固件紧固于所述机械臂的防尘盖；以及夹在所述机械臂与所述防尘盖之间的密封件，其中，所述密封件包括：低回弹性材料；以及薄膜，所述薄膜至少包围所述低回弹性材料的外周面。根据本发明的密封...

一种吸附垫和包括该吸附垫的工业用机器人，在吸附对象物体时，有助于抑制因在吸附垫表面开口且供紧固件贯穿的通孔而在对象物体上留下吸附痕迹。本发明的吸附垫包括载放部和座部，载放部具有承载对象物体的载放面以及在该载放面侧开口的通孔，且通过贯穿通...

本发明提供一种能够适当地维持基板的高度位置和姿势的基板搬运装置及检查装置。在检查装置(100)中，在基板搬运装置(200)中，由分别沿着显示面板(1)的搬运方向(X)及宽度方向(Y)配置的多个支承辊(50)的辊面(501)支承被保持在保...

一种点亮检查装置，即使在无法观察由摄像头拍摄的图像的情况下，也能够调节摄像装置的出射侧偏振片相对于照明装置的入射侧偏振片的角度位置。点亮检查装置具有从与具备入射侧偏振片的照明装置(70)相反的一侧拍摄液晶显示面板的第一摄像装置(30)。...

本发明提供一种能够以廉价的结构适当地调节摄像头的高度位置的摄像装置及检查装置。在检查装置中，摄像装置(30)具有摄像头(31)、基座(32)、使第一块(33)相对于基座上下移动的粗调用的第一进给丝杠机构(36)、使与摄像头连接的第二块(...

本发明提供一种工业用机器人，具备：被支承部；和配置于被支承部的下侧并且连接被支承部的支承部，且能够容易地进行被支承部的提升作业。所述工业用机器人具备：被支承部(12)；支承部(11)，所述支承部(11)配置于被支承部(12)的下侧，并且...

本发明提供一种工业用机器人的控制装置，能够有效率地确认用于使工业用机器人停止的安全装置中的哪一安全装置正在工作。机器人控制装置(200)构成为能与串联于电源(VCC)的第一安全装置(SF1)、第二安全装置(SF2)、第三安全装置(SF3...

本发明提供一种工业用机器人的示教方法，所述工业用机器人具备装载输送对象物的手，其中，即使手不具备边侧插接型的保持部，当进行工业用机器人的示教时，也能够以输送对象物被配置于手上的常规的位置的方式在短时间内将输送对象物装载到手上。在该工业用...

本发明提供一种简化将具备光学模块的可动体支承为能够相对于固定体在多个方向上摆动的支承机构的结构的光学单元。光学单元(10)具备：可动体(14)，其具备供光束入射的光学模块(12)；固定体(16)；支承机构(20)，其将可动体支承为能够相...

本发明提供一种壳体及光学单元，用简单的结构减小施加到柔性配线基板的负载。所述壳体将具备光学模块和一端连接于光学模块的柔性配线基板的可动单元保持为能够使光学模块摆动。所述壳体包括：保持架，能够与光学模块一起摆动并容纳光学模块；固定部，设置...

本发明提供一种能够防止尘埃从框体流出到外部且防止外部空气流入框体内部的工业用机器人。机器人(1)具备：框体(11)，其具有开口(16K)；升降体(10)，其以能够通过开口(16K)的状态容纳于框体(11)中，构成为在上下方向上移动自如；...

本发明提供一种致动器，抑制了可动体振动时产生的颤动噪音。在使可动体相对于支承体振动的致动器中，可动体具备：支轴；和固定于支轴的第一内框部件及第二内框部件。支承体具备：筒状的壳体；固定于壳体的端部的第一盖部件及第二盖部件；以及配置于壳体的...

本发明提供一种致动器，抑制可动体相对于支承体振动的致动器的温度导致的振动的变化。致动器具有使可动体相对于支承体相对移动的磁驱动机构。磁驱动机构具备磁体及线圈。与支承体及可动体连接的连接体是粘弹性体。作为粘弹性体，使用具备通过动态粘弹性测...

本发明提供一种在抑制更换作业的劳力和时间的同时能够小型化的工业用机器人。手柱(30)具有驱动按压部件(31d)的驱动机构(4p)、引导按压部件(31d)在按压部件(31d)驱动时的移动的导向槽(4h)以及吸引气体的空气配管(4c)。当晶...

本发明提供一种能够在使晶圆旋转的状态下进行搬运的制造成本低的工业用机器人的手和具备该工业用机器人的手的工业用机器人。手(14)具备：晶圆装载部(14a)；转动部(144)，其支承晶圆装载部(14a)且构成为绕沿Y方向延伸的轴旋转自如；按...

本发明提供一种能够可靠地保持晶圆而防止掉落的工业用机器人的手和具备该工业用机器人的手的工业用机器人。手(14)具备装载晶圆(2)的晶圆装载部(14a)和能够按压装载于晶圆装载部(14a)的晶圆(2)的端面的辊(145a)，辊(145a)...

本发明提供一种光学单元，将具备光学模块的可动体支承为能够相对于固定体旋转，即使旋转范围大，也不会降低所述旋转的驱动效率。光学单元(1)具备：可动体(20)，具备光学模块(22)；固定体(10)，在周围方向上围绕可动体(20)；旋转支承机...

本发明提供一种能够在狭小的场所中进行示教的工业用机器人。第一传感器(14)配置为第一传感器(14)的发光元件的光轴及受光元件的光轴与左右方向平行。第二传感器(15)配置为第二传感器(15)的发光元件的光轴及受光元件的光轴与前后方向平行。...

本发明提供一种光学单元，将通过万向架机构使具备光学模块的可动体相对于固定体移动的结构的光学单元小型化。光学单元具备：可动体，具备光学模块；固定体；作为支承机构的万向架机构，具备设置有使光学模块的至少一部分穿过的孔部的万向架框架，且将可动...