基板搬运装置及检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够适当地维持基板的高度位置和姿势的基板搬运装置及检查装置。在检查装置(100)中，在基板搬运装置(200)中，由分别沿着显示面板(1)的搬运方向(X)及宽度方向(Y)配置的多个支承辊(50)的辊面(501)支承被保持在保持架(20)上的显示面板(1)，通过包括直线驱动机构(61)的搬运机构(60)使显示面板(1)在多个支承辊(50)上行进。另外，多个支承辊(50)由辊面(501)为树脂制的树脂滚柱轴承构成。因此，与用辊式输送机搬运显示面板的情况不同，在搬运显示面板(1)时，显示面板(1)不易振动。因此，能够抑制显示面板(1)从支承辊(50)局部浮起。局部浮起。局部浮起。

【技术实现步骤摘要】
基板搬运装置及检查装置


[0001]本专利技术涉及一种搬运构成显示面板等的基板的基板搬运装置及进行基板的检查的检查装置。

技术介绍

[0002]在显示面板的制造工序中，有时会在构成显示面板之前的状态或已经构成显示面板的状态下对用于显示面板的基板进行检查。在该检查工序中，例如，一边通过沿着基板的搬运方向配置的辊式输送机搬运基板，一边连续检查基板(参照专利文献1)。另外，在专利文献1所记载的检查装置中，通过向基板吹气使基板从辊式输送机浮起，以控制基板和检查部之间的距离。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2017－22160号公报

技术实现思路

[0006]专利技术所要解决的技术问题
[0007]但是，如专利文献1所记载的基板搬运装置那样，在通过辊式输送机搬运基板的构造中，在搬运中，由于基板振动，因而会发生基板从辊式输送机局部浮起。另外，通过向基板吹气使整个基板从辊式输送机浮起的机构增加了巨大的成本，并且在搬运大型基板的情况下，基板会发生挠曲等。因此，在专本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板搬运装置，其在将显示面板用的基板维持水平姿势的同时进行水平搬运，其特征在于，具有：多个支承辊，所述多个支承辊分别沿着所述基板的搬运方向及与所述搬运方向正交的宽度方向配置，且使旋转中心轴线朝向沿着所述宽度方向的方向；以及搬运机构，所述搬运机构使所述基板沿着所述搬运方向在所述多个支承辊上行进，所述多个支承辊各自的从下方与所述基板相接触的辊面为树脂制。2.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，所述支承辊是在所述辊面上设置有树脂层的轴承辊。3.根据权利要求1或2所述的基板搬运装置，其特征在于，所述搬运机构具备：矩形框状的保持架，所述保持架具备载置所述基板的载置面；基板保持机构，所述基板保持机构设置于所述保持架，并将所述基板固定在所述载置面上；直线引导机构，所述直线引导机构从下方支承所述保持架，并且沿所述搬运方向直线引导所述保持架；以及直线驱动机构，所述直线驱动机构沿着所述搬运方向直线驱动所述保持架。4.根据权利要求3所述的基板搬运装置，其特征在于，在所述载置面中，所述保持架的四个边中、在所述宽度方向上对置的一对第一边处于比在所述搬运方向上对置的一对第二边低的位置，所述载置面设置在所述一对第...

【专利技术属性】
技术研发人员：赤羽贤俊，吉田昇悟，佐藤史朗，
申请(专利权)人：日本电产三协株式会社，
类型：发明
国别省市：