工业用机器人制造技术

本发明专利技术提供一种能够防止尘埃从框体流出到外部且防止外部空气流入框体内部的工业用机器人。机器人(1)具备：框体(11)，其具有开口(16K)；升降体(10)，其以能够通过开口(16K)的状态容纳于框体(11)中，构成为在上下方向上移动自如；臂(4)，其与升降体(10)连接；排气扇(13)，其用于排出框体(11)内部的气体；以及喷嘴部(400)，其能够朝向框体(11)的开口(16K)和升降体(10)间的间隙(G)送出空气。升降体(10)间的间隙(G)送出空气。升降体(10)间的间隙(G)送出空气。

【技术实现步骤摘要】
工业用机器人


[0001]本专利技术涉及一种工业用机器人。

技术介绍

[0002]以往，已知一种搬运半导体晶圆等搬运对象物的工业用机器人(例如，参照专利文献1)。在专利文献1中记载了一种工业用机器人，其具备臂和主体部，该主体部包括在上表面侧连接臂的基端侧的升降体、容纳有升降体的至少下端侧部分的框体、容纳于框体中并且使升降体相对于框体升降的升降机构及用于排出框体内部的气体的排气扇。在该工业用机器人中，在升降体上升或下降时，通过排气扇将框体的内部空间的气体全部从主体部排出，从而能够防止尘埃从主体部的内部流出到臂侧的外部。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2019－123024号公报

技术实现思路

[0006]专利技术所要解决的技术问题
[0007]在像专利文献1所述的工业用机器人那样防止主体部的内部的空气流出的结构中，通过排气扇的工作，主体部外部的空气流入主体部内。但是，也有想尽量不将外部空气吸入主体部的内部的状况。例如，在充满腐蚀性气体的场所使用工业用机器人的情况下，需要防止该腐蚀性气体对主体部的内部结构的影响。专利文献1没有考虑这样的技术问题。
[0008]本专利技术的目的在于，提供一种能够防止尘埃从将臂支承为移动自如的框体内流出到外部且防止外部空气流入框体内部的工业用机器人。
[0009]解决技术问题所采用的技术方案
[0010]本专利技术的一方式的工业用机器人具备：框体，所述框体具有开口；可动体，所述可动体以能够通过所述开口的状态容纳于所述框体中，构成为在第一方向和与所述第一方向相反的第二方向上移动自如；臂，所述臂与所述可动体连接；排气扇，所述排气扇用于排出所述框体内部的气体；以及喷嘴部，所述喷嘴部能够朝向所述框体的所述开口和所述可动体间的间隙送出空气。
[0011]专利技术效果
[0012]根据本专利技术，能够防止尘埃从将臂支承为移动自如的框体内流出到外部且防止外部空气流入框体内部。
附图说明
[0013]图1是本专利技术实施方式的工业用机器人的立体图。
[0014]图2是图1所示的主体部的纵剖视图。
[0015]图3是图1所示的主体部的横剖视图。
[0016]图4是从上侧观察图1所示的主体部的上表面部及喷嘴部的立体图。
[0017]图5是从下侧观察图4所示的上表面部及喷嘴部的立体图。
[0018]图6是在图5中省略上表面部的图示的立体图。
[0019]图7是从下侧观察图6所示的副平板部件的立体图。
[0020]图8是从上侧观察图6所示的框状部件的立体图。
[0021]图9是图1所示的机器人中的喷嘴部附近的纵端视图。
[0022]图10是图1所示的机器人中的喷嘴部附近的纵端视图。
[0023]附图标记说明
[0024]1…
机器人(工业用机器人)；4
…
臂；5
…
主体部；10
…
升降体；11
…
框体；12
…
升降机构；13
…
排气扇；15
…
底面部；15a
…
排气孔；16
…
上表面部；16K
…
开口；400
…
喷嘴部；G
…
间隙。
具体实施方式
[0025]下面，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。
[0026](工业用机器人的概略结构)
[0027]图1是本专利技术实施方式的工业用机器人1的立体图。以下，将铅锤方向记载为下方向，将铅锤方向的相反方向记载为上方向，将上方向和下方向合在一起记载为上下方向，将与上下方向垂直的方向记载为水平方向。在图1～图3中，用方向Z表示上下方向，用方向X和方向Y表示与上下方向正交且相互正交的两个方向。
[0028]本实施方式的工业用机器人1(以下设为“机器人1”。)是用于搬运半导体晶圆的水平多关节型机器人。机器人1具备装载半导体晶圆的两个手3、在前端侧以能够转动的方式连接两个手3并且在水平方向上动作的臂4、以及连接臂4的基端侧的主体部5。机器人1配置于洁净室中。
[0029]臂4由基端侧以能够转动的方式连接到主体部5的第一臂部7、基端侧以能够转动的方式连接到第一臂部7的前端侧的第二臂部8、以及基端侧以能够转动的方式连接到第二臂部8的前端侧的第三臂部9构成。两个手3以能够转动的方式连接到第三臂部9的前端侧。两个手3配置为在上下方向上重叠。另外，主体部5、第一臂部7、第二臂部8、第三臂部9以及手3在上下方向上从下侧起依次配置。
[0030](主体部的结构)
[0031]图2是图1所示的主体部5的纵剖视图。图3是图1所示的主体部5的横剖视图。
[0032]主体部5具备臂4的基端侧以能够转动的方式连接到上表面侧的升降体10、将升降体10保持为能够沿上下方向升降的框体11、容纳于框体11中并且使升降体10相对于框体11升降的升降机构12、固定于框体11的上表面部16的喷嘴部400、以及用于排出框体11内部的气体(具体而言为空气)的排气扇13。本实施方式的主体部5具备一个排气扇13。
[0033]框体11的外形为大致棱柱状。框体11具备构成框体11的底面的底面部15、构成框体11的上表面的上表面部16、以及构成框体11的侧面的侧面部17。底面部15形成为矩形的平板状，配置为底面部15的厚度方向和上下方向一致。上表面部16形成为大致半圆盘状，配置为上表面部16的厚度方向和上下方向一致。侧面部17形成为薄壁的大致棱筒状。
[0034]在框体11的内部形成有空间(以下将该空间设为“内部空间S”。)。框体11具备用于
保持构成升降机构12的一部分的后述的螺杆轴25的保持部件18和支承一端侧固定于升降体10且另一端侧固定于框体11的配线或配管的支承机构19(参照图3)。如图3所示，保持部件18配置于侧面部17的内周侧。保持部件18固定于侧面部17的内周面。在保持部件18上固定有用于在上下方向上引导升降体10的两个导轨20。导轨20配置为导轨20的长边方向和上下方向一致。两个导轨20以在水平方向上隔开恒定的间隔的状态配置。支承机构19例如是拖链(注册商标)。支承机构19配置于侧面部17的内周侧。
[0035]如图2所示，在底面部15形成有供从排气扇13排出的气体通过的排气孔15a。在本实施方式中，一个排气孔15a形成于底面部15。排气孔15a在上下方向上贯通底面部15。即，排气孔15a贯通框体11。排气孔15a的下侧通向配置有机器人1的洁净室的外部。
[0036]排气扇13配置于框体11的内部。另外，排气扇13安装于底面部15的上表面侧。本实施方式的排气孔15a为阶梯孔，排气扇13的下端部配置于排气孔15a的上端部中。排气扇13及排气孔15a配置于升降体10的正下方。排气扇13朝向下侧排出框体11内部本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种工业用机器人，其具备：框体，所述框体具有开口；可动体，所述可动体以能够通过所述开口的状态容纳于所述框体中，且构成为在第一方向和与所述第一方向相反的第二方向上移动自如；臂，所述臂与所述可动体连接；排气扇，所述排气扇用于排出所述框体内部的气体；以及喷嘴部，所述喷嘴部能够朝向所述框体的所述开口和所述可动体间的间隙送出空气。2.根据权利要求1所述的工业用机器人，其中，所述第一方向是所述可动体从所述框体上的与所述开口侧相反的一侧的端部远离的方向，所述工业用机器人具备控制部，所述控制部进行如下控制：在所述可动体沿所述第一方向移动的状态下，从所述喷嘴部送出空气，在所述可动体沿所述第二方向移动的状态下，停止空气从所述喷嘴部的送出，且使所述排气扇工作。3.根据权利要求1或2所述的工业用机器人，其中，所述喷嘴部具有：设置于所述框体的所述开口侧的端部上的、具有所述可动体能够通过的第一贯通孔的平板部件；以及与空气送出源连接的连接部件，所述平板部件在内部具有连接所述第一贯通孔和所述连接部件的空气通道。4.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：青木雅裕，
申请(专利权)人：日本电产三协株式会社，
类型：发明
国别省市：