本申请涉及一种晶圆盒的转运装置、转运系统及转运方法，用于供晶圆处理设备与空中运输车交换晶圆盒，其中转运装置包括机台和机械手模组，机台沿Y向设有天车对接口和设备对接口，天车对接口包括沿X向间隔设有至少两个上料工位；机械手模组，包括平移机构...

本申请提供一种空中运输车悬挂式提升系统，应用于半导体搬运设备技术领域，其中空中运输车悬挂式提升系统包括：顶棚安装组件固定安装于顶棚下表面，升降提升组件和对接轨道安装于顶棚安装组件中，升降提升组件通过柔性皮带的收放控制升降平台组件的升降，...

本申请提供一种洁净设备接口电路及采样控制系统，应用于半导体制造设备技术领域，其中洁净设备接口电路包括相互通信连接的一级控制电路和二级控制电路，二级控制电路包括若干接口，这些接口用于向外部电路提供通信连接接口，一级控制电路能够一对多地与二...

本申请提供一种OHT悬挂式提升系统及其升降平台组件、无线取电组件，应用于半导体搬运设备技术领域，其中无线取电组件包括：取电器、供电电缆和若干支架，取电器安装于OHT悬挂式提升系统一侧，以跟随OHT悬挂式提升系统进行升降，供电电缆和若干支...

本申请提供一种应用于晶圆盒净化系统的排气装置及装载设备，涉及半导体处理设备的领域，其包括气嘴本体，气嘴本体包括贴合部及基部；贴合部开设有贴合内腔及导气通道；贴合内腔的直径和贴合部外壁的直径均从第一端到第二端增大，且贴合内腔和贴合部外壁之...

本申请提供一种轨道对接防坠落机构

本申请提供一种双层行进轨道系统及自动物料搬运系统，应用于自动物料搬运系统技术领域，其中双层行进轨道系统包括：第一轨道

本申请提供一种

本申请提供一种

本申请提供一种

本申请提供一种空中运输车轨道对接方法及防溜车对接机构

本发明提供了一种行走控制方法

本申请涉及半导体运输设备技术领域，尤其涉及一种空中传输方法

本申请提供一种用于半导体传输系统的晶圆盒传输方法，涉及半导体设备技术领域

本申请涉及一种日志记录处理方法

本申请提供一种半导体堆垛机的机械臂及存取方法，应用于半导体存储立库技术领域；其中机械臂包括存取盘，存取盘上安装有用于直接可读取对应晶圆盒信息的

本申请提供一种存储设备保养调度方法及装置，存储设备保养调度方法包括获取第一存储设备对应的第一保养周期和第一保养周期对应的第一时间阈值，其中第一时间阈值位于第一保养周期的起始时间与终止时间之间。当确定第一时间阈值达到时，触发第一搬运指令。...

本申请涉及一种运单追踪方法、装置和计算机设备。所述方法包括：获取消息队列中的运单事件，所述运单事件是在运单处理过程中生成，并上传至所述消息队列的；对所述运单事件进行解析得到运单执行数据；基于所述运单执行数据中的运单标识，将所述运单执行数...

本发明提供了一种空中走行式搬送车的行进控制方法、装置和存储介质，属于晶圆运输控制领域，具体包括获取目标空中走行式搬送车所在的地图信息以及目标空中走行式搬送车的初始位置和目的位置；根据地图信息、初始位置和目的位置确定目标空中走行式搬送车行...

本申请涉及一种半导体传送运单任务处理方法、装置和计算机设备。该方法包括：获取传送设备的初始规划路径及当前位置；在传送设备执行运单任务的过程中，基于传送设备的当前位置及初始规划路径，检测传送设备未来行进路径上是否存在禁用路段；当传送设备未...