行走控制方法技术

本发明专利技术提供了一种行走控制方法

【技术实现步骤摘要】
行走控制方法、装置、设备和存储介质


[0001]本专利技术涉及晶圆运输控制领域，具体涉及一种行走控制方法
、
装置
、
设备和存储介质
。

技术介绍

[0002]OHT
小车
(
空中走行式搬送车
)
行进时，加速度一旦发生突变，就会造成小车骤然加速或减速，骤然加速或减速会给小车上的晶圆带来强烈的震动，晶圆受制于惯性，则会发生碰撞，碰撞进而会使得晶圆受损
。
且加速度变化越大，产生的震动能量就越大，震动能量会被
OHT
小车的机械本体吸收，形成机械震动，这样可能导致晶圆与
OHT
小车发生共振，进而降低晶圆质量
。

技术实现思路

[0003]因此，为了克服上述现有技术的缺点，本专利技术提供一种控制行走误差并避免加速度发生突变，以尽可能小的震动和定位误差完成
OHT
小车行走的行走控制方法
、
装置
、
设备和存储介质
。
[0004]为了实现上述目的，本专利技术提供一种行走控制方法，用于控制空中走行式搬送车的行走速度，包括：获取所述空中走行式搬送车的行程路线；将所述行程路线分成多个区域路段，并获取所述区域路段的区域路长和属性信息，各区域路段的所述属性信息包括该区域路段为直线路径或非直线路径；基于所述区域路段的所述区域路长以及所述属性信息，确定在所述区域路段中的与各个加速阶段
、
匀速阶段以及减速阶段中的各个阶段相对应的运动参数，其中，所述运动参数包括所述空中走行式搬送车的行走速度和行走时长；根据所述加速阶段
、
所述匀速阶段以及所述减速阶段的所述运动参数分别生成对应的分段控制参数；将分段控制参数按照时间周期发送给所述空中走行式搬送车，从而控制空中走行式搬送车所述的行走速度
。
[0005]在其中一个实施例中，所述基于所述区域路段的所述区域路长以及所述属性信息，确定在所述行程路线中的各个加速阶段
、
匀速阶段以及减速阶段中的各个阶段相对应的运动参数，包括：根据相邻的所述区域路段的属性信息确定所述空中走行式搬送车的行走模式；根据所述区域路段的属性信息获取每个区域路段对应的最大允许速度
、
最大允许加速度以及最大允许减速度；根据所述行走模式
、
所述最大允许速度
、
最大允许加速度以及最大允许减速度以及所述区域路长确定所述区域路段上各个加速阶段
、
匀速阶段以及减速阶段的所述运动参数
。
[0006]在其中一个实施例中，所述根据所述行走模式
、
所述最大允许速度
、
最大允许加速度以及最大允许减速度以及所述区域路长确定所述区域路段上各个加速阶段
、
匀速阶段以及减速阶段的所述运动参数，包括：根据所述行走模式确定在所述区域路段上可以存在的加速阶段
、
匀速阶段以及减速阶段中的至少一种阶段；根据加速阶段
、
匀速阶段以及减速阶段上的最大允许速度
、
最大允许加速度以及最大允许减速度分别计算每个加速阶段
、
减速
阶段
、
匀速阶段的路长范围；根据
Sd
＝
S1+S2+S3+
···
+Sn
公式确定所述区域路段上各个加速阶段
、
匀速阶段以及减速阶段的路长，
Sd
为区域路段的区域路长，
S1
为单个加速阶段的路长，
S2
为单个匀速阶段或者单个减速阶段的路长，
S3
为单个加速阶段
、
单个匀速阶段或者单个减速阶段的路长，
Sn
为单个减速阶段的路长；根据确定的所述区域路段上各个加速阶段
、
匀速阶段以及减速阶段的路长确定所述区域路段上各个加速阶段
、
匀速阶段以及减速阶段的所述运动参数
。
[0007]在其中一个实施例中，所述根据所述加速阶段
、
所述匀速阶段以及所述减速阶段的所述运动参数分别生成对应的分段控制参数，包括：根据所述行走模式确定对所述空中走行式搬送车的电机的补偿系数；根据所述补偿系数对各个加速阶段
、
匀速阶段以及减速阶段的所述空中走行式搬送车的行走速度和行走时长进行调整，并生成对应的分段控制参数
。
[0008]在其中一个实施例中，所述基于所述区域路段的所述区域路长以及所述属性信息，确定在所述行程路线中的各个加速阶段
、
匀速阶段以及减速阶段中的各个阶段相对应的运动参数，包括：对确定的各个所述加速阶段进行细分，将所述加速阶段分为加加速
、
匀加速
、
减加速三个子阶段；和
/
或，对确定的各个所述减速阶段进行细分，将所述减速阶段分为加减速
、
匀减速
、
减减速三个子阶段；输出各个加速阶段以及减速阶段不同子阶段的行走速度和行走时长，并输出匀速阶段的行走速度和行走时长
。
[0009]在其中一个实施例中，将分段控制参数按照时间周期发送给所述空中走行式搬送车，从而控制空中走行式搬送车所述的行走速度，还包括：所述空中走行式搬送车还通过电机扫描器和用于定位的位置条码来确定所述空中走行式搬送车的相对位置，基于所述分段控制参数确定所述空中走行式搬送车的最后一个减速阶段，并在到达该减速阶段前控制所述空中走行式搬送车的速度降至低速行驶；控制所述空中走行式搬送车在最后一个减速阶段进行减速，并在到达临界位置时速度降至定位速度；控制所述空中走行式搬送车以定位速度匀速行走，直到所述电机扫描器读取到作为预警提示的位置条码，减速到停止行走
。
[0010]在其中一个实施例中，所述将分段控制参数按照时间周期发送给所述空中走行式搬送车，从而控制空中走行式搬送车所述的行走速度，包括：接收所述空中走行式搬送车按照所述时间周期反馈的当前位置信息
、
当前行走速度以及当前行走时长；当判定所述空中走行式搬送车超出目的位置时，根据所述当前位置信息
、
所述当前行走速度以及所述当前行走时长，对所述分段控制参数进行校准，使得所述空中走行式搬送车逆行至所述目的位置
。
[0011]一种行走控制装置，所述装置包括：路线获取模块，用于获取所述空中走行式搬送车的行程路线；路线分段模块，用于将所述行程路线分成多个区域路段，并获取所述区域路段的区域路长和属性信息，各区域路段的所述属性信息包括该区域路段为直线路径或非直线路径；行程分段模块，用于基于所述区域路段的所述区域路长以及所述属性信息，确定在所述区域路段中的与各个加速阶段
、
匀速阶段以及减速阶段中的各个阶段相对应的运动参数，其本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种行走控制方法，用于控制空中走行式搬送车的行走速度，其特征在于，包括：获取所述空中走行式搬送车的行程路线；将所述行程路线分成多个区域路段，并获取所述区域路段的区域路长和属性信息，各区域路段的所述属性信息包括该区域路段为直线路径或非直线路径；基于所述区域路段的所述区域路长以及所述属性信息，确定在所述区域路段中的与各个加速阶段
、
匀速阶段以及减速阶段中的各个阶段相对应的运动参数，其中，所述运动参数包括所述空中走行式搬送车的行走速度和行走时长；根据所述加速阶段
、
所述匀速阶段以及所述减速阶段的所述运动参数分别生成对应的分段控制参数；将所述分段控制参数按照时间周期发送给所述空中走行式搬送车，从而控制空中走行式搬送车所述的行走速度
。2.
根据权利要求1所述的行走控制方法，其特征在于，所述基于所述区域路段的所述区域路长以及所述属性信息，确定在所述行程路线中的各个加速阶段
、
匀速阶段以及减速阶段中的各个阶段相对应的运动参数，包括：根据相邻的所述区域路段的属性信息确定所述空中走行式搬送车的行走模式；根据所述区域路段的属性信息获取每个区域路段对应的最大允许速度
、
最大允许加速度以及最大允许减速度；根据所述行走模式
、
所述最大允许速度
、
最大允许加速度以及最大允许减速度以及所述区域路长确定所述区域路段上各个加速阶段
、
匀速阶段以及减速阶段的所述运动参数
。3.
根据权利要求2所述的行走控制方法，其特征在于，所述根据所述行走模式
、
所述最大允许速度
、
最大允许加速度以及最大允许减速度以及所述区域路长确定所述区域路段上各个加速阶段
、
匀速阶段以及减速阶段的所述运动参数，包括：根据所述行走模式确定在所述区域路段上可以存在的加速阶段
、
匀速阶段以及减速阶段中的至少一种阶段；根据加速阶段
、
匀速阶段以及减速阶段上的最大允许速度
、
最大允许加速度以及最大允许减速度分别计算每个加速阶段
、
减速阶段
、
匀速阶段的路长范围；根据
Sd
＝
S1+S2+
···
+Sn
公式确定所述区域路段上各个加速阶段
、
匀速阶段以及减速阶段的路长，
Sd
为区域路段的区域路长，
S1
为单个加速阶段的路长，
S2
为单个匀速阶段或者单个减速阶段的路长，
Sn
为单个加速阶段
、
单个匀速阶段或者单个减速阶段的路长；根据确定的所述区域路段上各个加速阶段
、
匀速阶段以及减速阶段的路长确定所述区域路段上各个加速阶段
、
匀速阶段以及减速阶段的所述运动参数
。4.
根据权利要求2所述的行走控制方法，其特征在于，所述根据所述加速阶段
、
所述匀速阶段以及所述减速阶段的所述运动参数分别生成对应的分段控制参数，包括：根据所述行走模式确定对所述空中走行式搬送车的电机的补偿系数；根据所述补偿系数对各...

【专利技术属性】
技术研发人员：张奕人，缪峰，
申请(专利权)人：弥费科技上海股份有限公司，
类型：发明
国别省市：