存储设备保养调度方法及装置制造方法及图纸

本申请提供一种存储设备保养调度方法及装置，存储设备保养调度方法包括获取第一存储设备对应的第一保养周期和第一保养周期对应的第一时间阈值，其中第一时间阈值位于第一保养周期的起始时间与终止时间之间。当确定第一时间阈值达到时，触发第一搬运指令。依据第一搬运指令分批次地在第一时间阈值至第一保养周期的终止时间之间，将第一存储设备中存放的所有产品搬运至第二存储设备，其中第二存储设备为保养周期未达到的存储设备。通过将待保养存储设备中所有的存放产品分批、分时逐步移出至其他未移出产品的存储设备中，这样避免了一次性移出存储设备中的产品耗费大量保养时间。次性移出存储设备中的产品耗费大量保养时间。次性移出存储设备中的产品耗费大量保养时间。

【技术实现步骤摘要】
存储设备保养调度方法及装置


[0001]本申请涉及半导体搬运
，具体涉及一种存储设备保养调度方法及装置。

技术介绍

[0002]晶圆厂长期运行过程中需对MCS（Management Control System，管理控制系统）管控的存储设备进行定期的维护和保养，由于存储设备中存储放着在制产品，当设备维护保养时需将存储设备中的产品全部移出后进行保养。
[0003]具体地，在保养时间到期时一次性搬运所有存储的产品，由于将产品一次性移出的工作需要大量的时间，因此造成存储设备的维护和保养周期长，使得保养和维护效率低，且在将产品全部移出过程中增加存放空间，以及运送成本等。
[0004]因此，需要一种新的存储设备保养调度方案。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本说明书实施例提供一种存储设备保养调度方法及装置，应用于存储设备的维护保养过程。
[0006]本说明书实施例提供以下技术方案：本说明书实施例提供一种存储设备保养调度方法，所述存储设备保养调度方法包括：获取第一存储设备对应的第一保养周期和所述第一保养周期对应的第一时间阈值，其中所述第一时间阈值位于所述第一保养周期的起始时间与终止时间之间；当确定所述第一时间阈值达到时，触发生成第一搬运指令；依据所述第一搬运指令分批次地在所述第一时间阈值至所述第一保养周期的终止时间之间，将所述第一存储设备中存放的所有产品搬运至第二存储设备，其中所述第二存储设备为保养周期未达到的存储设备。
[0007]本说明书实施例还提供一种存储设备保养调度装置，包括：获取模块，用于获取第一存储设备对应的第一保养周期和所述第一保养周期对应的第一时间阈值，其中所述第一时间阈值位于第一保养周期的起始时间与终止时间之间；指令生成模块，用于当确定所述第一时间阈值达到时，触发生成第一搬运指令；搬运控制模块，用于依据所述第一搬运指令分批次地在所述第一时间阈值至所述第一保养周期的终止时间之间，将所述第一存储设备中存放的所有产品搬运至第二存储设备，其中所述第二存储设备为保养周期未达到的存储设备。
[0008]与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：通过将保养周期到来的存储设备中所有的产品分批、分时逐步搬运至保养周期未达到的存储设备中，这样避免了一次性搬运存储设备中的产品耗费大量保养时间，通过将待保养存储设备的产品分时、分区转移至其他保养周期未达到的存储设备中，不仅缩短了
保养周期，还节省了存储设备中所有产品一次性移出的放置空间和成本等。
附图说明
[0009]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0010]图1是本申请中存储设备保养调度的场景图；图2是本申请区别与现有技术存储设备保养调度的示意图；图3是本申请中存储设备保养调度的示意图；图4是本申请中存储设备保养周期的示意图；图5是本申请中设备保养调度方法的流程图。
具体实施方式
[0011]下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。
[0012]以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0013]要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本申请，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目和方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。
[0014]还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构想，图式中仅显示与本申请中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
[0015]另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践。
[0016]参考图1晶圆厂各设备，长期运行过程中需对MCS管控下的存储设备进行定期的维护和保养。由于存储设备中还存放在制产品，当设备维护保养时需将存放的产品移出后进行保养。然而现有技术只能在保养时间到期时一次性移出所有存储设备中的产品，这样耗费大量的保养时间，造成设备维护保养周期长等问题。
[0017]基于此，本说明书实施例提出了一种新的存储设备保养调度方案：MCS系统为每个
存储设备（如STK）设定一个保养周期，如图4所示的TS和TE为一个保养周期的开始时间和结束时间。本说明书实施例为避免存储设备中产品一次性搬运移出，在保养周期TS和TE之间设定Tt，Tt对应为时间阈值，在Tt至TE之间实现存储设备中所有产品的分时、分区逐步搬运移出至其他存储设备。在第一时间阈值至第一保养周期的终止时间之间，待保养的存储设备实现其中所有产品的搬运移出。其他存储设备为保养周期未达到的空闲存储设备。
[0018]相比于现有技术本说明书实施例避免了待保养存储设备一次性搬运移出所有产品耗费大量保养时间，提升了存储设备保养的效率，节约产品移出的空间及时间成本。
[0019]一些实施例中第一存储设备或第一存储设备包括晶圆盒存储柜Foup Stocker、设备缓冲存储柜NTB以及空中缓存单元格OHB。存储设备中存放晶圆制造过程对应的各种制成类晶圆产品。存储设备中的产品包括半制成晶圆产品和制成晶圆产品。
[0020]以下结合附图，说明本申请各实施例提供的技术方案。
[0021]本说明书实施例的执行主体为MCS。
[0022]如图5所示存储设备保养调度方法包括步骤S510
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步骤S530，其中步骤S510、获取第一存储设备对应的第一保养周期和第一保养周期对应的第一时间阈值，其中第一时间阈值位于第一保养周期的起始时间与终止时间之间。步骤S520、当确定第一时间阈值达到时，触发生成第一搬运指令。步骤S530、依据第一搬运指令分批次地在第一时间阈值至第一保养周期的终止时间之间，将第一存储本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种存储设备保养调度方法，其特征在于，包括：获取第一存储设备对应的第一保养周期和所述第一保养周期对应的第一时间阈值，其中所述第一时间阈值位于所述第一保养周期的起始时间与终止时间之间；当确定所述第一时间阈值达到时，触发生成第一搬运指令；依据所述第一搬运指令分批次地在所述第一时间阈值至所述第一保养周期的终止时间之间，将所述第一存储设备中存放的所有产品搬运至第二存储设备，其中所述第二存储设备为保养周期未达到的存储设备。2.根据权利要求1所述的存储设备保养调度方法，其特征在于，所述存储设备保养调度方法还包括：根据所述第二存储设备的空闲情况，获取所述第一存储设备的第一权重或待搬运产品的第二权重；其中空闲情况包括以下一项或多项：第二存储设备的空位、运输天车的空载以及运输天车对应轨道的路况；触发生成第一搬运指令包括：根据第一权重或第二权重触发生成第一搬运指令。3.根据权利要求2所述的存储设备保养调度方法，其特征在于，所述存储设备保养调度方法还包括：根据所述第二权重的大小，依次获取第一存储设备中产品的移出时间。4.根据权利要求3所述的存储设备保养调度方法，其特征在于，所述存储设备保养调度方法还包括：将所述产品的移出时间进行排序，并按照排序逐步完成每个第一存储设备中产品的移出。5.根据权利要求3所述的存储设备保养调度方法，其特征在于，所述存储设备保养调度方法还包括：根据所述第一存储设备中产品的移出时间，确定同一批次的多个所述产品的移出过程不发生冲突；其中，移出过程不发生冲突，包括以下至少一项：用于移出所述产品的运输天车不冲突；用于暂存所述产品的所述第二存储设备中的空位不冲突；用于移出所述产品的运输天车所运行的天车轨道不冲突。6.根据权利要求2所述的存储设备保养调度方法，其特征在于，在第一存储设备中的产品搬至第二存储设备后，...

【专利技术属性】
技术研发人员：申国莉，缪峰，
申请(专利权)人：弥费科技上海股份有限公司，
类型：发明
国别省市：