空中传输方法技术

本申请涉及半导体运输设备技术领域，尤其涉及一种空中传输方法

【技术实现步骤摘要】
空中传输方法、装置和计算机设备


[0001]本申请涉及半导体传输设备
，特别是涉及一种空中传输方法
、
装置和计算机设备
。

技术介绍

[0002]空中搬运系统
(Overead Hoist Transport
，
OHT)
是一种能够辅助传输装置在空中进行物料搬运的系统，在半导体自动化工厂
(
简称晶圆厂，
Fab)
中，可以通过在工厂的天花板下方吊装行走轨道的方式，为传输装置提供高空搬运作业支持，传输装置可以在行走轨道上移动并按实际需求运输晶圆盒，从而提高
Fab
的生产效率
。
[0003]然而，由于晶圆制造过程中涉及的处理步骤较多，相应的，工厂设立的不同职能的部门也较多，行走轨道的分布较复杂，而常见的空中传输方法缺乏有效地路径规划能力，这将使得传输装置的运输过程耗费大量时间，传输装置的运输效率低下
、
进而将造成
Fab
的生产效率降低
。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种能够提高运输效率的空中传输方法
、
装置和计算机设备
。
[0005]第一方面，本申请提供了一种空中传输方法，包括：
[0006]接收移动指令；所述移动指令携带有取货机台的位置信息和卸货机台的位置信息；
[0007]获取至少一个传输装置的位置信息；
[0008]根据所述传输装置的位置信息和所述取货机台的位置信息，从所述传输装置中确定目标装置；
[0009]基于预先存储的目标轨道的轨道信息
、
所述取货机台的位置信息
、
所述卸货机台的位置信息和所述传输装置的位置信息进行路径规划，得到目标移动路径；
[0010]输出第一控制指令至所述目标装置，以控制所述目标装置按照所述目标移动路径沿着所述目标轨道移动，并在所述取货机台进行晶圆盒的拿取以及在所述卸货机台进行所述晶圆盒的放置
。
[0011]在其中一个实施例中，所述方法还包括：
[0012]根据各所述参考装置的实时状态信息，确定可替换装置；
[0013]获取所述可替换装置的位置信息；
[0014]根据各所述移动指令的执行状态，确定可替换指令；
[0015]获取所述可替换指令对应的待移动路径；
[0016]根据所述可替换装置的位置信息
、
所述可替换指令对应的卸货机台的位置信息，确定所述可替换装置的替换移动路径；
[0017]根据所述替换移动路径和所述待移动路径，发出第二控制指令至所述可替换装
置，以控制所述可替换装置按照所述替换移动路径沿着所述目标轨道移动，并在所述可替换指令对应的卸货机台进行所述晶圆盒的放置
。
[0018]上述空中传输方法
、
装置和计算机设备，根据所有可选地传输装置与晶圆盒所在地的位置关系确定目标装置，从而能够在多个传输装置中确定出响应最快
、
执行效率最高的传输装置进行移动指令的执行，并且能够根据目标装置的位置信息
、
目标轨道的轨道信息
、
取货机台的位置信息和卸货机台的位置信息进行路径规划，能够获取到目标装置运输效率最高的目标移动路径，从而防止运输过程中的无效移动造成时间的浪费，提高了晶圆盒运输效率，进而提高了晶圆厂的生产效率
。
附图说明
[0019]图1为一个实施例中空中传输方法的应用环境图；
[0020]图2为另一个实施例中空中传输方法的应用环境图；
[0021]图3为一个实施例中空中传输方法的流程示意图；
[0022]图4为一个实施例中空中传输方法的流程示意图；
[0023]图5为一个实施例中空中传输方法的流程示意图；
[0024]图6为一个实施例中空中传输方法的流程示意图；
[0025]图7为一个实施例中空中传输方法的流程示意图；
[0026]图8为一个实施例中空中传输方法的流程示意图；
[0027]图9为一个实施例中空中传输方法的流程示意图；
[0028]图
10
为一个实施例中空中传输方法的流程示意图；
[0029]图
11
为一个实施例中空中传输方法的流程示意图；
[0030]图
12
为一个实施例中空中传输方法的流程示意图；
[0031]图
13
为一个实施例中空中传输装置的结构框图；
[0032]图
14
为一个实施例中计算机设备的内部结构图
。
具体实施方式
[0033]为了使本申请的目的
、
技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明
。
应当理解，此处描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请
。
[0034]本申请实施例提供的空中传输方法，可以应用于如图1所示的应用环境中
。
其中，终端
102
通过网络与服务器
104
通过网络进行通信
。
[0035]例如，空中传输方法应用于终端
102
，终端
102
在接收到移动指令后，获取至少一个传输装置的位置信息；根据传输装置的位置信息和移动指令携带的取货机台的位置信息，从传输装置中确定目标装置；随后终端
102
可以从服务器
104
的数据存储系统中获取预先存储的目标轨道的轨道信息，并基于轨道信息
、
取货机台的位置信息
、
移动指令携带的卸货机台的位置信息和传输装置的位置信息进行路径规划，得到目标移动路径；终端
102
输出第一控制指令至目标装置，以控制目标装置按照目标移动路径沿着目标轨道移动，并在取货机台进行晶圆盒的拿取以及在卸货机台进行晶圆盒的放置，其中，终端
102
可以但不限于是各种个人计算机
、
笔记本电脑
、
智能手机
、
平板电脑和便携式可穿戴设备，便携式可穿戴设备
可为智能手表
、
智能手环
、
头戴设备等
。
服务器
104
可以用独立的服务器或者是多个服务器组成的服务器集群来实现
。
终端
102
和服务器
104
可以通过有线或无线通信方式进行直接或间接的连接，例如通过网络连接
。
[0036]又例如，空中传输方法应用于服务器
104
，终端
102
在接收到移动指令后，将移动指令发送给服务器
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种空中传输方法，其特征在于，包括：接收移动指令；所述移动指令携带有取货机台的位置信息和卸货机台的位置信息；获取至少一个传输装置的位置信息；根据所述传输装置的位置信息和所述取货机台的位置信息，从所述传输装置中确定目标装置；基于预先存储的目标轨道的轨道信息
、
所述取货机台的位置信息
、
所述卸货机台的位置信息和所述传输装置的位置信息进行路径规划，得到目标移动路径；输出第一控制指令至所述目标装置，以控制所述目标装置按照所述目标移动路径沿着所述目标轨道移动，并在所述取货机台进行晶圆盒的拿取以及在所述卸货机台进行所述晶圆盒的放置
。2.
根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述轨道信息包括依次连接的初始子路径及所述初始子路径的位置信息；所述目标移动路径包括第一目标移动路径和第二目标移动路径；所述基于预先存储的目标轨道的轨道信息
、
所述取货机台的位置信息
、
所述卸货机台的位置信息和所述传输装置的位置信息进行路径规划，得到目标移动路径，包括：将所述初始子路径的位置信息分别与所述传输装置的位置信息
、
所述取货机台的位置信息进行匹配，确定位于所述初始子路径上的起点和第一终点；将所述初始子路径的位置信息与所述卸货机台的位置信息进行匹配，确定位于所述初始子路径上的第二终点；根据所述初始子路径
、
所述起点
、
所述第一终点进行路径规划，得到所述第一目标移动路径；根据所述初始子路径
、
所述第一终点和所述第二终点进行路径规划，得到所述第二目标移动路径
。3.
根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：获取所述传输装置的实时状态信息；所述根据所述传输装置的位置信息和所述取货机台的位置信息，从所述传输装置中确定目标装置，包括：根据所述实时状态信息，从所述传输装置中筛选出待选择装置；根据所述待选择装置的位置信息和所述取货机台的位置信息，确定所述目标装置
。4.
根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：根据所述实时状态信息，从所述传输装置中筛选出障碍装置和参考装置；将位置信息与所述障碍装置的位置信息重合的初始子路径作为障碍子路径；将位置信息与所述参考装置的位置信息重合的初始子路径作为堵塞子路径；所述根据所述初始子路径
、
所述起点
、
所述第一终点进行路径规划，得到所述第一目标移动路径，包括：根据所述初始子路径
、
所述障碍子路径
、
所述堵塞子路径
、
所述起点和所述第一终点进行路径规划，得到所述第一目标移动路径；所述根据所述初始子路径
、
根据所述第一终点和所述第二终点进行路径规划，得到所述第二目标移动路径，包括：
根据所述初始子路径
、
所述障碍子路径
、
所述堵塞子路径
、
所述第一终点和所述第二终点进行路径规划，得到所述第二目标移动路径
。5.
根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述轨道信息包括各所述初始子路径的路径长度值；所述初始子路径预先设置有初始权重值；所述根据所述初始子路径
、
所述障碍子路径
、
所述堵塞子路径
、
所述起点和所述第一终点进行路径规划，得到所述第一目标移动路径之前，包括：从所述初始子路径中剔除所述障碍子路径，得到待选择子路径；所述根据所述初始子路径
、
所述障碍子路径
、
所述堵塞子路径
、
所述起点和所述第一终点进行路径规划，得到所述第一目标移动路径，包括：根据所述待选择子路径的初始权重值
、
所述堵塞子路径的参考权重值
、
所述待选择子路径的路径长度值
、
所述起点和所述第一终点进行路径规划，得到所述第一目标移动路径；所述根据所述初始子路径
、
所述障碍子路径
、
所述堵塞子路径
、
所述第一终点和所述第二终点进行路径规划，得到所述第二目标移动路径，包括：根据所述待选择子路径的初始权重值
、
所述堵塞子路径的参考权重值
、
所述待选择子路径的路径长度值
、
所述第一终点和所述第二终点进行路径规划，得到所述第二目标移动路径
。6.
根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述堵塞子路径的参考权重值的确定方法，包括：针对各所述堵塞子路径，获取位置信息与所述堵塞子路径的位置信息重合的参考装置的总数值；根据所述总数值，确定所述堵塞子路径的参考权重值
。7.
根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述根据所述总数值，确定所述堵塞子路径的参考权重值，包括：根据所述总数值，从预先设置的至少一个数值范围中匹配到所述堵塞子路径对应的目标数值范围；至少一个所述数值范围与至少一个预设权重值一一对应；将所述目标数值范围对应的预设权重值，作为所述堵塞子路径的参考权重值
。8.
根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述根据所述待选择子路径的初始权重值
、
所述堵塞子路径的参考权重值
、
所述待选择子路径的路径长度值
、
所述起点和所述第一终点进行路径规划，得到所述第一目标移动路径，包括：采用穷举法获取所述起点和所述第一终点之间的第一初始移动路径；根据所述待选择子路径的初始权重值
、
所述堵塞子路径的参考权重值和所述待选择子路径的路径长度值，确定各所述第一初始移动路径对应的第一偏重值；根据所述第一偏重值，从所述第一初始移动路径中确定出所述第一目标移动路径
。9.
根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述根据所述待选择子路径的初始权重值
、
所述堵塞子路径的参考权重值
、
所述待选择子路径的路径长度值
、
所述第一终点和所述第二终点进行路径规划，得到所述第二目标移动路径，包括：采用穷举法获取所述第一终点和所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李冰，缪峰，
申请(专利权)人：弥费科技上海股份有限公司，
类型：发明
国别省市：