本申请涉及一种存储库，用以存放晶圆盒，包括：设置有包括若干承载盘的存储区的存储库本体，承载盘上设有用以向晶圆盒内吹气的吹气嘴，承载盘沿Z向配置有多层，沿X向配置有多列，存储区沿Y向设置至少一处，及设于存储库本体的内部的吹气系统，吹气系统...

本申请涉及一种晶圆盒缓存装置，包括存放架、水平移载机构和竖直移载机构，存放架内设有沿X向的多列库位，每列库位沿Z向设有至少一层库位，水平移载机构设有水平定位检测件，用于定位竖直移载机构在X向上的位置，竖直移载机构的竖直模组沿Z向对应各层...

本申请涉及一种晶圆盒存储系统。该晶圆盒存储系统包括存储库及至少一个人工窗口；人工窗口设置于存储库上并包括围设出暂存区的框架、及沿框架宽度方向上相对间隔设置于暂存区两侧的第一防护装置和第二防护装置；暂存区设有用于承接晶圆盒的承载单元；第一...

本申请涉及一种空中轨道安装精度测量装置和方法、空中搬运系统，运动组件设置在装置主体架上，运动组件用于沿着空中轨道的主轨道运动，导向组件设置在运动组件上，随着运动组件沿着主轨道的运动，导向组件用于沿着空中轨道的导向条与导向条导向接触，测量...

本申请涉及电子电路技术领域，具体涉及一种光通信电路及自动物料搬运系统，包括无线信号接收器、滤波器及信号整形器，无线信号接收器用于在接收到无线脉冲信号的情况下生成预设强度的第一电脉冲信号；滤波器与无线信号接收器连接，用于滤除接收的第一电脉...

本申请提供一种立库堆垛机轨道装置，应用于半导体搬运设备技术领域，其中轨道装置包括天轨和地轨，天轨吊装于立库中巷道上部，并与堆垛机的顶部活动连接，用于对堆垛机的水平运动进行空中导向；地轨与天轨平行设置并安装于立库中巷道底部，地轨包括导向轨...

本技术公开了一种测量治具、水平测量系统和定位系统，所述测量治具应用于储位和天车工位，包括治具主体、多个定位销孔、定位部以及多个治具挡块。其中，多个定位销孔间隔设置于治具主体上，多个定位销孔与储位上的定位销或天车工位上的定位销配合使用；定...

本申请涉及一种用于晶圆缓存设备快速搬运的装置；包括：底座，所述底座设有沿所述底座的高度方向设置的安装腔，所述安装腔的顶部开放；升降平台，所述升降平台安装于所述底座，且所述升降平台的至少部分容纳在所述安装腔中；以及若干车轮，在与所述高度方...

本申请涉及一种半导体运输设备异常处理方法、装置和计算机设备。所述方法包括：接收半导体运输设备上报的异常结束类型以及货物位置；当所述异常结束类型为目标异常结束类型，且货物位置表示货物位于所述半导体运输设备时，基于所述目标异常结束类型确定可...

本申请提供一种应用于半导体传输系统的晶圆盒读取装置，涉及半导体设备技术领域，至少包括第一天车轨道、第二天车轨道、第一天车、第二天车、天车口，所述第一天车轨道位于所述第二天车轨道上方，所述第一天车在所述第一天车轨道上将第一晶圆盒运输至所述...

本申请提供一种半导体存储立库设备堆垛机及其提升箱机构，应用于半导体存储立库技术领域，其中提升箱滑动承载于堆垛机的立柱支架上；立柱支架包括副立柱和主立柱，提升箱包括箱体、传动机构以及位置监测装置，位置监测装置包括位置监测模块以及设置在副立...

本技术提供一种堆垛机行走箱及包含该行走箱的堆垛机，该行走箱包括底板以及安装于底板顶面的箱体，底板的底面用于安装沿箱体的长度方向延伸、并与地面上的直线导轨配合的多个滑块；箱体包括沿长度方向紧邻设置的第一箱区及第二箱区；第一箱区内用于安装带...

本说明书实施例提供一种晶圆盒夹爪装置及空中运输车，包括基板和两组夹爪机构，两组夹爪机构可相对于基板移动，基板上安装有驱动组件，驱动组件带动两组夹爪机构相互靠近或远离，以使得两组夹爪机构之间的距离增大或减小，基板顶部沿着远离基板方向依次设...

本申请提供一种皮带定位开孔工装，涉及开孔工装的技术领域，其包括工装框架、压装驱动组件、压装模具组件及压装定位组件；压装模具组件与压装驱动组件连接，包括上模、下模、弹性复位件、冲针、限位部及冲模孔，冲模孔用于供冲针通过；压装定位组件包括开...

本申请提供一种防侧倾装置及OHT小车，涉及物料搬运系统技术领域，其包括基板、滑移组件、驱动件及传动组件；滑移组件包括导轨和两个滑动件，两个滑动件滑动连接于导轨；传动组件包括丝杠机构、丝杠螺母及传动件；丝杠机构包括第一螺纹部和第二螺纹部，...

本申请提供一种OHT悬挂式提升系统及其升降平台组件、防溜车机构，应用于半导体加工设备技术领域，其中防溜车机构包括锁止部和解锁部，锁止部设置于升降平台侧，解锁部与锁止部位于同侧方向；在无外力作用下，锁止部自动从解锁工作状态切换至锁止工作状...

本申请提供一种行走装置及空中运输车，应用于天车技术领域，包括基板、驱动电机和拨动机构，基板联接有两行进轮，驱动电机被配置为可驱动两行进轮转动；基板连接有驱动支架，驱动支架顶部设置有滑动件和限位挡块，滑动件被配置为可在支架顶部往复滑动，限...

本发明提供了一种多车跟行调度方法、装置和存储介质，属于晶圆运输控制领域，具体包括通过行进车辆上的监测设备实时获取单行直线路段内当前行进车辆与邻近车辆的实时测距数值；将所述两辆相邻行进车辆确定为关联车辆；基于规划的行走模式获取关联车辆中至...

本申请提供一种空中运输车及其行进控制系统，应用于半导体搬运设备技术领域，其中行进控制系统包括第一控制器和第二控制器，第一控制器和第二控制器均设置于空中运输车中；第一控制器与上位系统通信连接，接收所述上位系统下发的运输指令，并根据运输指令...

本申请提供一种用于OHT小车的测试工装，涉及OHT调试装置领域，其包括测试框架、定位锁定装置、传感器测试装置、取放料基准测试装置及测试轨道；测试轨道用于承载OHT小车；定位锁定装置连接于测试轨道，测试轨道上设有测试工位，定位锁定装置用于...