【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体，特别是涉及一种半导体运输设备异常处理方法、装置和计算机设备。
技术介绍
1、随着集成电路在日常生活中的普遍应用，半导体在产品中开始扮演角色日益重要，其需求相对也大幅提升，因此促进全球半导体市场的蓬勃发展。为了满足集成电路的大量需求，大部分的半导体制造企业（晶片厂，fabrication，fab）都以提高产能及合格率为优先目标。在半导体制造企业中，晶片通常是采用批量的搬运方式，然而通过人力搬运不仅效率低，也容易发生危险、且搬运过程中存在芯片污染、芯片碰撞破碎等不确定因素。为解决人工搬运所带来的风险及不确定因素，自动物料搬运系统（amhs：automatic materialhandling system）应运而生，并且已经广泛应用在半导体制造行业中。
2、在晶片厂（fabrication，fab）中，物料控制系统(mcs: material controlsystem)接收上位系统下发的搬运任务，而后向运输设备控制系统发送搬运命令，以使运输设备执行搬运物品的任务。在搬运任务执行过程中，一旦出现运输设备与存储设...
【技术保护点】
1.一种半导体运输设备异常处理方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述可选目的地包括托底存储列表中的第一存储设备、与放货位置对应的第二存储设备以及第三存储设备三种存储设备中任一种存储设备中的至少一个；所述第三存储设备为与所述放货位置之间的距离在距离阈值内的存储设备。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于所述目标异常结束类型确定可选目的地，包括：
4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于所述目标异常结束类型确定可选目的地，包括：当所述目标异常结束类型为放货过程中的通信异常...
【技术特征摘要】
1.一种半导体运输设备异常处理方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述可选目的地包括托底存储列表中的第一存储设备、与放货位置对应的第二存储设备以及第三存储设备三种存储设备中任一种存储设备中的至少一个；所述第三存储设备为与所述放货位置之间的距离在距离阈值内的存储设备。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于所述目标异常结束类型确定可选目的地，包括：
4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于所述目标异常结束类型确定可选目的地，包括：当所述目标异常结束类型为放货过程中的通信异常时，获取第一托底方式配置信息，当所述第一托底方式配置信息仅包括托底存储列表方式时，获取所述托底存储列表中的第一存储设备作为可选目的地；
5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于所述目标异常结束类型确定可选目的地，包括：
6.根据权利要求3至5任意一项所述的方法，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁少敏，缪峰，
申请(专利权)人：弥费科技上海股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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