本发明提供一种用于堆垛机的行走装置，其中，该行走装置包括设置于所述堆垛机底部的行走箱以及安装于所述行走箱内的摩擦传动机构；所述摩擦传动机构包括：穿过所述行走箱与地面上的摩擦轨道摩擦配合的驱动轮、与所述驱动轮连接并用于带动所述驱动轮转动的...

本发明提供一种堆垛机，包括：行走装置，其包括行走箱、安装于行走箱内的摩擦传动机构、用于定位行走位置的水平定位组件，该摩擦传动机构包括与摩擦轨道配合的摩擦驱动轮及行走动力机构；升降装置，其包括安装于行走箱顶部的升降框架、安装于升降框架上的...

本申请提供一种半导体堆垛机及其机械臂、运行方法和对芯工装，应用于半导体存储立库技术领域，其中机械臂包括依次转动连接的机械臂底板、驱动臂组件和存取盘；驱动臂组件包括第一驱动臂和第二驱动臂，第一驱动臂通过第一主动驱动机构转动安装在机械臂底板...

本申请提供一种电子标签阅读器电路，应用于半导体物料搬运系统技术领域，包括红外调制解调器、红外发射端电路和红外接收端电路，其中红外调制解调器在触发下产生红外调制信号，红外发射端电路将红外调制信号放大后向电子标签发射红外信号以触发电子标签发...

本申请提供一种RFID阅读器，应用于半导体搬运设备技术领域，其中RFID阅读器包括壳体、第一印刷电路板、第二印刷电路板和天线；第一印刷电路板设置有控制相关的电路单元，第二印刷电路板设置有读写电子标签相关的电路单元，并将两PCB在壳体内腔...

本申请提供一种RFID阅读器，应用于半导体搬运设备技术领域，其中RFID阅读器包括壳体、第一印刷电路板、第二印刷电路板和天线；第一印刷电路板设置有控制相关的电路单元，第二印刷电路板设置有读写电子标签相关的电路单元，并将两PCB在壳体内腔...

本实用新型提供一种洁净存储环境的监测系统，包括：至少一个传感器模块，各所述传感器模块一对一地设置于各存储区域内并被配置为执行与该传感器模块所在的所述存储区域的环境相关联的测量操作；至少一个与所述传感器模块一一对应连接的第一控制模块，所述...

本发明提供一种空中运输车轨道地图生成方法、装置、设备，该方法包括：获取目标轨道布局图，所述目标轨道布局图包括空中运输车行走的若干条轨道路径以及相应站点，其中至少有一条所述轨道路径为标注有方向属性的基准路径；识别所述目标轨道布局图中的轨道...

本申请提供一种电子标签阅读器，涉及电子标签识别的技术领域，其包括壳体及电路板；电路板安装于壳体的内部，电路板和壳体的内壁之间设置有若干个支撑件，若干个支撑件将电路板挂接于壳体内，且电路板与壳体之间至少在一个方向上预留有间隙，其中，间隙构...

本申请涉及一种转运输送装置和晶圆盒存储库。晶圆盒存储库包括存储库本体和转运输送装置，存储库本体开设有人工窗口，转运输送装置包括第一输送单元和第二输送单元，第二输送单元设于存储库本体内，第一输送单元具有位于存储库本体外的操作工位，同时第一...

本申请涉及一种承载机构及搬运机器人，承载机构包括本体与两个承载臂，两个承载臂间隔设置于本体相对的两侧，承载臂包括承托部以及凸设于承托部上的至少一块挡板，两个承托部与多块挡板共同围设形成承载空间，承载空间包括相互衔接的第一空间与第二空间，...

本申请提供一种储存载盘管路安装工装，涉及物料储存系统领域，其包括工装底座，工装底座上设有预装配区和管路装配区；预装配区上设有若干个预装配夹座，若干个预装配夹座一一对应于各个元器件；预装配夹座被配置为：夹持对应元器件，限制对应元器件于水平...

本发明涉及一种晶圆盒传送装置及储存库。晶圆盒传送装置包括支撑座，支撑座设置有沿第一方向延伸的凹槽；固定于支撑座上的第一载盘，第一载盘位于支撑座的一端，第一载盘上设置有至少一个第一定位结构；设置于凹槽内的驱动机构；以及与驱动机构的输出端连...

本发明提供了一种基于多层AMHS系统的天车运输调度方法，包括：系统为晶圆的当前第i道加工任务匹配天车，确定当前第i道加工任务对应机台当前是否处于空闲状态；若是，则判断当前第i道加工任务对应机台与当前晶圆的起点是否在同一层；若否，则调用跨...

本申请涉及一种半导体生产制造的生产系统虚拟调试方法、装置和产品，通过将生产系统涉及的实体对象相应的数字化对象加载进虚拟空间中，在虚拟空间中模拟生产系统的工作流程，以进行生产系统的虚拟调试，能够避免在物理世界中直接对生产系统进行调试时，出...

本申请提供一种晶圆盒信息处理方法、装置、系统及阅读器，应用于半导体物料搬运系统技术领域。在阅读器接收到上位机下发请求的触发后，可以根据请求调整当前执行任务的顺序，例如在当前执行标签交互任务中，一旦接收到上位机下发的非标签交互指令请求，则...

本申请提供一种用于对晶圆进行洁净的洁净设备及其气嘴装置、气路装置、控制方法，应用于半导体制造设备技术领域，其中气嘴装置包括气口组件、上组件和下组件，气口组件的连接部被压接在上组件和下组件之间，上组件和下组件通过固定螺钉固定安装到载盘上，...

本申请提供一种抓取放料装置、抓取方法及天车运输设备，涉及半导体技术领域。所述抓取放料装置包括导向机构，具有若干导向件，其中，至少部分导向件设有第一导向部，至少部分导向件设有第二导向部，所述第一导向部和/或所述第二导向部用于对所述抓取放料...

本申请提供一种晶圆盒移载机构及方法、系统、存储库，应用于半导体制造设备技术领域，其中晶圆盒移载机构包括：天轨、地轨、立柱和设置为360度以内旋转的多关节机械手，地轨为立柱和多关节机械手在沿巷道长度方向的运动提供驱动力，地轨和天轨为立柱和...

本申请提供一种晶圆存储库对接人工窗口的存储调度系统及方法，应用于半导体制造设备技术领域，其中存储调度系统包括：设置于晶圆存储库内部的移载机构、设置于所述晶圆存储库中人工窗口内的传送机台和调度控制单元，其中调度控制单元通过存取指令调度控制...