储存载盘管路安装工装制造技术

本申请提供一种储存载盘管路安装工装，涉及物料储存系统领域，其包括工装底座，工装底座上设有预装配区和管路装配区；预装配区上设有若干个预装配夹座，若干个预装配夹座一一对应于各个元器件；预装配夹座被配置为：夹持对应元器件，限制对应元器件于水平位置上的移动和旋转；管路装配区上设有若干个总装夹具，若干个总装夹具一一对应于各个元器件；总装夹具被配置为：夹持对应元器件，限制对应元器件和元器件相连的管接头于水平位置上的移动和旋转。通过设置预装配夹座及总装夹具，有效地提高管接头和管路的安装效率，并且降低元器件在安装过程中的损伤。安装过程中的损伤。安装过程中的损伤。

【技术实现步骤摘要】
储存载盘管路安装工装


[0001]本申请涉及物料储存系统领域，具体涉及一种储存载盘管路安装工装。

技术介绍

[0002]空中存储系统(OHBP:Over Head Buffer with N2
‑
Purge)是一种存储Foup(Foup:Front Open Unified pod，前开放式晶圆盒)的系统，主要包括用于存放晶圆盒的若干储存载盘以及供气系统。在储存载盘上安装有气路以及气路控制系统，对储存的Foup进行净化处理。
[0003]现有技术中，气路上的各个元器件之间通过通气管路连接在一起，在连接通气管路前，需要由人工进行操作，利用扳手将管接头先安装在各个元器件上。人工安装管接头过程中，需要操作人员握持元器件，但操作人员手部的力度不易控制，一旦对元器件施加过大的作用力，易导致元器件故障或者损坏。因此，现有的安装方式存在效率低下，操作过程不易控制及易损坏元器件等不足，有待改善。
[0004]因此，需要一种新的管路安装方案，可以提高元器件上管路的安装效率，且能够有效降低元器件在安装过程中的损伤。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本说明书实施例提供一种储存载盘管路安装工装，通过工装对各个元器件的夹持，有效的提高管接头和管路的安装效率，并且降低元器件在安装过程中的损伤。
[0006]本说明书实施例提供以下技术方案：
[0007]本说明书实施例提供一种储存载盘管路安装工装，包括工装底座，所述工装底座上设有预装配区和管路装配区；
[0008]所述预装配区上设有若干个预装配夹座，若干个所述预装配夹座一一对应于各个元器件；
[0009]所述预装配夹座被配置为：夹持对应元器件，限制对应元器件于水平位置上的移动和旋转；
[0010]所述管路装配区上设有若干个总装夹具，若干个所述总装夹具一一对应于各个元器件；
[0011]所述总装夹具被配置为：夹持对应元器件，限制对应元器件和元器件相连的管接头于水平位置上的移动和旋转。
[0012]通过上述技术方案，设置预装配夹座及总装夹具，预装配夹座将对应元器件装夹，使得元器件在水平方向上不发生位移或者旋转，操作人员无需手持，即可通过扳手进行管接头的连接，有效避免手部握持元器件对元器件造成的损伤，降低元器件装配管接头过程中可能出现的故障或者损坏的情况发生，且装配好各个元器件上的管接头后，通过总装夹具对各个对应的元器件及管接头进行装夹，再进行管路的连接，从而有效的提高管路的安装效率。
[0013]优选的，所述预装配夹座上设有与对应元器件外表面形状相适配的装夹槽以及夹持部；
[0014]所述装夹槽用于承载对应元器件或夹在对应元器件的外表面上，以限制所述元器件于水平位置上的移动和旋转；
[0015]所述夹持部用于夹持对应元器件连接管接头的部位，以限制元器件连接管接头的部位旋转和位移。
[0016]优选的，所述总装夹具包括载台及夹持座；
[0017]所述载台用于承载对应元器件；
[0018]所述夹持座用于夹持对应元器件上连接管接头的部位，并配合载台限制对应元器件上连接管接头的部位旋转和位移。
[0019]优选的，若干所述总装夹具均固定于所述工装底座；
[0020]若干所述总装夹具于所述工装底座上的排布位置与若干元器件于储存载盘上的排布位置一一对应设置；
[0021]部分所述载台的至少一侧设有所述夹持座，或/和，部分所述载台的至少两侧设有所述夹持座。
[0022]通过上述技术方案，提高各个元器件之间的管路安装效率。
[0023]优选的，所述管路装配区还设有压紧机构，所述压紧机构用于与总装夹具相配合以压紧连接三个元器件的三通接头。
[0024]通过设置压紧机构，对三通接头进行压紧，便于三个元器件之间的管路安装。
[0025]优选的，所述夹持部为凸出于装夹槽槽底的两个夹块，两个夹块的相对端与装夹槽的槽底相配合用于夹持对应元器件连接管接头的部位。
[0026]优选的，若干预装配夹座分别为电磁阀安装夹座、过滤器安装夹座、流量计安装夹座、真空发生器安装夹座及速度控制阀安装夹座。
[0027]优选的，所述电磁阀安装夹座共有两个夹持部，两个夹持部分别位于装夹槽的两侧，以分别夹持电磁阀两侧用于连接管接头的部位。
[0028]优选的，所述过滤器安装夹座共有两个夹持部，两个夹持部分别位于装夹槽的两端，以分别夹持过滤器两端用于连接管接头的部位。
[0029]优选的，所述流量计安装夹座共有两个夹持部，两个夹持部分别位于装夹槽的两端，以分别夹持流量计两端用于连接管接头的部位。
[0030]与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：
[0031]通过设置预装配区和管路装配区，分别对管路及管接头进行安装连接，预装配夹座将对应元器件装夹，使得元器件在水平方向上不发生位移或者旋转，操作人员无需手持，即可通过扳手进行管接头的连接，有效避免手部握持元器件对元器件造成的损伤，降低元器件装配管接头过程中可能出现的故障或者损坏的情况发生，且装配好各个元器件上的管接头后，通过总装夹具对各个对应的元器件及管接头进行装夹，再进行管路的连接，从而有效的提高管路的安装效率。
附图说明
[0032]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0033]图1是本申请中的一种储存载盘管路安装工装的整体结构示意图；
[0034]图2是本申请中的电磁阀安装夹座装夹电磁阀的结构示意图；
[0035]图3是本申请中的过滤器安装夹座装夹过滤器的结构示意图；
[0036]图4是本申请中的流量计安装夹座装夹流量计的结构示意图；
[0037]图5是本申请中的真空发生器安装夹座装夹真空发生器的结构示意图；
[0038]图6是本申请中的速度控制阀安装夹座装夹速度控制阀的结构示意图；
[0039]图7是本申请中的管路装配区完成各个元器件之间的管路连接后的结构示意图。
[0040]附图标记：1、预装配区；2、管路装配区；3、电磁阀安装夹座；4、过滤器安装夹座；5、流量计安装夹座；6、真空发生器安装夹座；7、速度控制阀安装夹座；8、装夹槽；9、夹持部；10、载台；11、夹持座；12、管路承载台；121、管路承载槽；13、电磁阀总装夹具；14、流量计总装夹具；15、速度控制阀总装夹具；16、过滤器总装夹具；17、压紧机构。
具体实施方式
[0041]下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。
[0042]以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种储存载盘管路安装工装，其特征在于，包括工装底座，所述工装底座上设有预装配区和管路装配区；所述预装配区上设有若干个预装配夹座，若干个所述预装配夹座一一对应于各个元器件；所述预装配夹座被配置为：夹持对应元器件，限制对应元器件于水平位置上的移动和旋转；所述管路装配区上设有若干个总装夹具，若干个所述总装夹具一一对应于各个元器件；所述总装夹具被配置为：夹持对应元器件，限制对应元器件和元器件相连的管接头于水平位置上的移动和旋转。2.根据权利要求1所述的储存载盘管路安装工装，其特征在于，所述预装配夹座上设有与对应元器件外表面形状相适配的装夹槽以及夹持部；所述装夹槽用于承载对应元器件或夹在对应元器件的外表面上，以限制所述元器件于水平位置上的移动和旋转；所述夹持部用于夹持对应元器件连接管接头的部位，以限制元器件连接管接头的部位旋转和位移。3.根据权利要求1所述的储存载盘管路安装工装，其特征在于，所述总装夹具包括载台及夹持座；所述载台用于承载对应元器件；所述夹持座用于夹持对应元器件上连接管接头的部位，并配合载台限制对应元器件上连接管接头的部位旋转和位移。4.根据权利要求3所述的储存载盘管路安装工装，其特征在于，若干所述总装夹具均固定于所述工装底座；若干所述总装夹具于所述工装底座上的排布位置与若干元器件于储存载盘上的...

【专利技术属性】
技术研发人员：忽高峰，谭璜，缪峰，
申请(专利权)人：弥费科技上海股份有限公司，
类型：新型
国别省市：