弥费科技上海股份有限公司专利技术

弥费科技上海股份有限公司共有107项专利

  • 本申请涉及一种天车运行的轨道防护系统,用以防止在轨道系统上运行的天车冲出,其中所述轨道系统包括直轨、过渡连接直轨的弯轨,在所述直轨限定的行走方向上,所述直轨在所述弯轨的第一侧设有包括断轨口的预留直行段,所述直轨在所述弯轨的第二侧设有常规...
  • 本申请涉及一种可搬运晶圆盒的缓存设备,能够在晶圆盒搬运过程中保持平稳,包括机台、升降模组、第一摆动模组、第二摆动模组和夹持机构;其中,升降模组、第一摆动模组用以带动夹持机构移动,以拾取或释放晶圆盒;第二摆动模组用以使夹持机构相对于第一摆...
  • 本申请提供一种半导体电子货架的识别系统,应用于电子货架和射频识别技术领域,其中,通过在每个格位内设置至少一信号收发器,且识读控制器中的控制模块分别连接多个天线模块,可以通过控制模块分别控制多个天线模块的启停,通过天线模块识别对应格位存放...
  • 本申请提供一种用于晶圆盒的防掉落检测装置,应用于晶圆搬运技术领域,其中,基板固定在升降机构的驱动部,挡板固定在基板上,挡块固定在挡板朝向门板的一侧;挡块开设有凹槽,且检测传感器安装在凹槽中,检测传感器用于检测预设位置的开口处是否存在门板...
  • 本申请涉及一种半导体传输设备定位装置、半导体制造搬运系统,其中,第一识别器至少用于识别与当前半导体传输设备位置距离最小的目标第一图形标识的精定位信息;控制器被配置为:获取半导体传输设备在空中轨道上减速靠近目标存/取货点时的减速参考点的精...
  • 本申请涉及一种半导体运输车避障装置及半导体制造搬运系统,其中,转弯检测部设置于运输车的第一位置,用于发出用于检测目标区域内是否存在障碍物的无线检测信号;运输车转弯内侧包括至少一目标障碍物;屏蔽部件设置于至少一目标障碍物上,用于在运输车靠...
  • 本技术公开了一种晶圆盒存储装置,包括阵列设置的多个立柱;与立柱可拆卸连接的多个层架单元,多个层架单元沿立柱高度方向依次间隔设置,各层架单元上方具有容纳晶圆盒的容纳空间,晶圆盒存储装置还包括多个可拆卸地设置在层架单元上的连接单元,各连接单...
  • 本申请涉及一种空中运输车的托接升降控制系统,包括:升降动力部件;升降部件,通过皮带与升降动力部件的输出端相连,包括沿水平方向设置的升降轨道、设于升降轨道的端部的倚接组件;托接部件,设于升降部件在水平方向的一侧,包括对接轨道、托接装置,托...
  • 本申请涉及一种空中运输车的皮带升降托接系统,能够使空中运输车稳定地在空中轨道与升降部件之间转移,包括:升降动力部件;升降部件,通过皮带与升降动力部件的输出端相连,包括沿水平方向设置的升降轨道、设于升降轨道的端部的倚接组件;托接部件,设于...
  • 本申请提供一种应用于半导体自动物料搬运系统的到位检测装置和空中运输车控制方法,应用于自动物料搬运技术领域,通过将接触式传感器和触发部件分别内置于第一导向部和第二导向部,不仅确保了在第一部件和第二部件相互靠近时的精确动态导向,还为接触式传...
  • 本申请涉及一种用于半导体搬运系统的岔道区域管控方法和装置。所述方法包括:接收各半导体搬运设备发送的针对待通过的目标岔道区域的路权申请,所述路权申请携带有各半导体搬运设备对应的半导体搬运设备标识;获取与各所述半导体搬运设备标识对应的各目标...
  • 本申请涉及一种岔道区域控制方法和装置。所述方法包括:获取各半导体搬运设备上报的实时位置;获取各合流岔道管控区域的位置;基于各所述半导体搬运设备的实时位置以及各所述合流岔道管控区域位置,确定各所述半导体搬运设备与下一要经过的合流岔道管控区...
  • 本申请涉及一种半导体搬运设备的通信方法、装置、系统。所述方法包括:按照预设的周期,通过第一网络和/或第二网络向自动物料搬运系统中布设的道路管理单元发送位置信息,所述第一网络和所述第二网络互为备份网络;接收道路管理单元发送的当前管控指令;...
  • 本申请提供一种光罩盒净化装置及净化充气系统,应用于光罩盒净化技术领域,其中,各载盘配置为在第一位置与第二位置之间推拉移动,第一位置位于柜体内,第二位置位于柜体外,第一位置和第二位置位于柜体宽度方向所在的直线上,柔性管在各载盘处于移动状态...
  • 本申请涉及一种车轮耐磨测试装置,包括架体以及推压机构、压力检测件、压轮机构、驱动机构、夹持机构以及检测机构;压轮机构设于推压机构朝向被测轮的一侧,推压机构可抵接或脱离压轮机构,压轮机构具有可转动的压紧轮,推压机构能够抵压压轮机构相对于架...
  • 本申请涉及一种半导体传输设备的控制方法、装置、系统。所述方法包括:按照预设的周期,向自动物料搬送系统中布设的道路管理单元发送位置信息;其中,所述自动物料搬送系统中各条轨道岔道的管辖权已经根据预设的分配策略分配给所述道路管理单元;接收道路...
  • 本申请涉及一种基于半导体搬运路径的地图更新方法、装置和计算机设备。所述方法包括:基于各天车的第一位置确定各天车在目标地图中的规划路径,各规划路径包括所述天车在各第一时刻在目标地图中的各第一位置;基于各天车的第一位置确定各天车在目标地图中...
  • 本申请涉及一种半导体物品搬运任务分配方法、装置和计算机设备。该方法包括:获取基于各天车的规划路径周期性生成的目标地图,包括任意路段的预估通行时间;基于任意路段的预估通行时间、各天车的天车位置与各搬运任务的任务位置,确定各搬运任务分配至各...
  • 本技术涉及一种校准装置及物料盒承载装置,校准装置包括沿第一方向依次分布的第一承载部、机架、第二承载部,以及固定于机架且沿机架的高度方向依次分布的用于承载位于机架内部物料盒的第三承载部和第四承载部,第一承载部、第二承载部、第三承载部及第四...
  • 本发明涉及一种电机控制器及空中运输车。该电机控制器用于识别连接的电机的电机类型,并基于所述电机类型输出第一电机控制信号,电机控制器包括:适配模块,输入端与电机可通信地连接,及电机驱动器,配置为与电机连接且驱动电机运转;电机控制器具有第一...