【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体物料运输，特别是涉及一种半导体搬运设备的通信方法、装置、系统。
技术介绍
1、在半导体自动化工厂中，通常会采用amhs(automatic material handlingsystem，自动物料搬运系统)来提高运输效率。amhs最重要的组成部分包括：轨道、空中运输车(overhead hoist transport，oht)、可以集群调度oht的调度系统，以及管控oht通过岔道的道路管控单元(traffic control unit，简称tcu)。在amhs中，为了确保生产线的顺畅运行，oht和tcu之间需要稳定、可靠的数据通信，即所有oht均在tcu的管控之下有序地通过岔道，实现oht在轨道上安全、顺畅地运行，以在实现不同站点之间安全、可靠地搬运晶圆盒等半导体物料。
2、传统技术中，oht切换不同tcu控制器几乎都是依靠地图决策的，即提前划定好tcu要管控的地图区域，当oht在当前地图区域行驶时，向负责当前地图区域的tcu申请路权。当oht驶出当前地图区域时，会主动申请解除对应tcu的控制，转而向管辖即将...
【技术保护点】
1.一种半导体搬运设备的通信方法，其特征在于，应用于半导体搬运设备，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述当前管控指令和所述N条管控指令中的至少一条管控指令进行比对，得到比对结果，包括以下至少一种方式：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述比对结果，确定是否执行所述当前管控指令，包括以下至少一种方式：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，若所述当前管控指令与上一条管控指令的管控结果不一致时，所述方法还包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在对所述当前管控指...
【技术特征摘要】
1.一种半导体搬运设备的通信方法，其特征在于，应用于半导体搬运设备，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述当前管控指令和所述n条管控指令中的至少一条管控指令进行比对，得到比对结果，包括以下至少一种方式：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述比对结果，确定是否执行所述当前管控指令，包括以下至少一种方式：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，若所述当前管控指令与上一条管控指令的管控结果不一致时，所述方法还包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在对所述当前管控指令和所述n条管控指令中的至少一条管控指令进行比对，得到比对结果之前，所述方法还包括：
6.根据权利要求1至5任意一项所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，在将所述当前通行控制指令的管控结果与上一条通行控制指令的管控结果进行比对，且比对结果不一致时，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：缪峰，
申请(专利权)人：弥费科技上海股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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