【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体物料运输，特别是涉及一种半导体搬运设备的通信方法、装置、系统。
技术介绍
1、在半导体自动化工厂中，通常会采用amhs(automatic material handlingsystem，自动物料搬运系统)来提高运输效率。amhs最重要的组成部分包括：轨道、空中运输车(overhead hoist transport，oht)、可以集群调度oht的调度系统，以及管控oht通过岔道的道路管控单元(traffic control unit，简称tcu)。在amhs中，为了确保生产线的顺畅运行，oht和tcu之间需要稳定、可靠的数据通信，即所有oht均在tcu的管控之下有序地通过岔道，实现oht在轨道上安全、顺畅地运行，以在实现不同站点之间安全、可靠地搬运晶圆盒等半导体物料。
2、传统技术中，oht切换不同tcu控制器几乎都是依靠地图决策的，即提前划定好tcu要管控的地图区域，当oht在当前地图区域行驶时，向负责当前地图区域的tcu申请路权。当oht驶出当前地图区域时，会主动申请解除对应tcu的控制，转而向管辖即将进入的地图区域的tcu申请路权。
3、然而，oht先申请解除对应tcu的控制权，再向新的tcu申请控制权的方式，其信息传输很容易出现延迟，导致amhs的运行稳定性和可靠性降低。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种能够提高amhs的运行稳定性和可靠性的半导体搬运设备的通信方法、装置、系统。
2、第一方面，
3、按照预设的周期，通过第一网络和/或第二网络向自动物料搬运系统中布设的道路管理单元发送位置信息，所述第一网络和所述第二网络互为备份网络；
4、接收道路管理单元发送的当前管控指令，半导体搬运设备接收到的所述当前管控指令是由所述道路管理单元通过第一网络或第二网络发送的；
5、获取当前管控指令之前接收到的n条管控指令，所述n为大于0的自然数；
6、对所述当前管控指令和所述n条管控指令中的至少一条管控指令进行比对，得到比对结果；
7、根据所述比对结果，确定是否执行所述当前管控指令。
8、在其中一个实施例中，所述第一网络包括：基于漏波天线的传输网络；所述第二网络包括：基于ap天线的传输网络，所述ap为接入点；
9、所述半导体搬运设备的车载交换机分别连接车载漏波天线和车载ap天线，所述车载漏波天线通过布设在自动物料搬运系统中的至少一个漏波天线与路由器通信连接，所述车载ap天线通过布设在自动物料搬运系统中的至少一个ap天线与路由器通信连接，所述路由器与所述道路管理单元通信连接。
10、在其中一个实施例中，所述对所述当前管控指令和所述n条管控指令中的至少一条管控指令进行比对，得到比对结果，包括以下至少一种方式：
11、若所述半导体搬运设备当前所处区域的岔道均受控于同一个道路管理单元，则对所述当前管控指令和上一条管控指令中携带的判别信息进行比对，得到比对结果；其中，所述判别信息包括：时间戳，和/或，指令序列编号；
12、若所述半导体搬运设备当前所处区域的岔道受控于两个及以上的道路管理单元，则从所述n条管控指令中搜寻接收时间与所述当前管控指令最近且与所述当前管控指令来自同一道路管理单元的管控指令作为目标管控指令，对所述当前管控指令和所述目标管控指令中携带的判别信息进行比对，得到比对结果；
13、若所述半导体搬运设备当前所处区域的岔道受控于两个及以上的道路管理单元，且在所述n条管控指令中未搜寻到接收时间与所述当前管控指令最近且与所述当前管控指令来自同一道路管理单元的管控指令时，则将所述当前管控指令与上一条管控指令的管控结果进行比对，得到比对结果。
14、在其中一个实施例中，所述根据所述比对结果，确定是否执行所述当前管控指令，包括以下至少一种方式：
15、当所述半导体搬运设备当前所处区域的岔道均受控于同一个道路管理单元时，若所述当前管控指令和上一条管控指令中携带的判别信息相同，则不执行所述当前管控指令；若所述当前管控指令和上一条管控指令中携带的判别信息不相同，则执行所述当前管控指令；
16、当所述半导体搬运设备当前所处区域的岔道受控于两个及以上的道路管理单元时，若所述当前管控指令和所述目标管控指令中携带的判别信息相同，则不执行所述当前管控指令；若所述当前管控指令和目标管控指令中携带的判别信息不相同，则执行所述当前管控指令；
17、当所述半导体搬运设备当前所处区域的岔道受控于两个及以上的道路管理单元，且在所述n条管控指令中未搜寻到接收时间与所述当前管控指令最近且与所述当前管控指令来自同一道路管理单元的管控指令时，若所述当前管控指令与上一条管控指令的管控结果一致，则不执行所述当前管控指令。
18、在其中一个实施例中，若所述当前管控指令与上一条管控指令的管控结果不一致时，所述方法还包括：向所述道路管理单元发送第一验证信息，若所述道路管理单元反馈的第一验证结果为通过，则执行所述当前管控指令，若所述道路管理单元反馈的验证结果为不通过，则不执行所述当前管控指令；或者
19、等待并接收下一条管控指令，若所述下一条管控指令与所述当前管控指令的管控结果一致，则执行所述当前管控指令；若所述下一条管控指令与所述当前管控指令的管控结果不一致，则不执行所述当前管控指令。
20、在其中一个实施例中，在对所述当前管控指令和所述n条管控指令中的至少一条管控指令进行比对，得到比对结果之前，所述方法还包括：
21、通过应用层的dds对基于udp传输的所述当前管控指令和所述n条管控指令进行解析，得到所述当前管控指令对应的解析信息和所述n条管控指令对应的解析信息；其中，所述dds为数据分发服务，所述udp为用户数据报协议，所述解析信息包括：半导体搬运设备的id、优先级、时间戳、请求属性、运行属性中的至少一种；
22、对所述当前管控指令对应的解析信息和所述n条管控指令对应的解析信息中的至少一部分信息进行比对，确定所述n条管控指令中是否存在至少一条管控指令与所述当前管控指令为同一管控指令；所述同一管控指令是指同一道路管理单元在分别经过第一网络和第二网络发送的管控指令；
23、若所述n条管控指令中存在至少一条管控指令与所述当前管控指令为同一管控指令，则过滤所述当前管控指令。
24、在其中一个实施例中，所述方法还包括：
25、通过第一网络和/或第二网络，在一个通信帧中向所述道路管理单元发送针对m个岔道的通行权请求信息；m为大于1的自然数；所述通行权请求信息包括：半导体搬运设备的id、优先级、时间戳、请求属性、运行属性中的至少一种；
26、接收所述道路管理单元反馈的针对所述m个岔道的当前通行控制指令；
27、通过应用层的dds对基本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种半导体搬运设备的通信方法，其特征在于，应用于半导体搬运设备，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述当前管控指令和所述N条管控指令中的至少一条管控指令进行比对，得到比对结果，包括以下至少一种方式：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述比对结果，确定是否执行所述当前管控指令，包括以下至少一种方式：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，若所述当前管控指令与上一条管控指令的管控结果不一致时，所述方法还包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在对所述当前管控指令和所述N条管控指令中的至少一条管控指令进行比对，得到比对结果之前，所述方法还包括：
6.根据权利要求1至5任意一项所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，在将所述当前通行控制指令的管控结果与上一条通行控制指令的管控结果进行比对，且比对结果不一致时，所述方法还包括：
8.根据权利要求1至5任意一项所述的方法，其特征在于，所述执行所述当前管
9.根据权利要求1至5任意一项所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
10.一种半导体搬运设备的通信系统，其特征在于，包括：半导体搬运设备、道路管理单元组成的群组，所述半导体搬运设备和所述道路管理单元通过第一网络和/或第二网络通信连接，所述第一网络和所述第二网络互为备份网络，其中：
11.根据权利要求10所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：至少一个道路管理单元服务器，所述道路管理单元服务器用于在所述道路管理单元出现异常时，启动备份功能，并接管出现异常的所述道路管理单元所管辖的岔道范围。
12.一种半导体搬运设备的通信系统，其特征在于，包括：半导体搬运设备、至少一个道路管理单元服务器，所述半导体搬运设备和所述道路管理单元服务器通过第一网络和/或第二网络通信连接，所述第一网络和所述第二网络互为备份网络，其中：
...【技术特征摘要】
1.一种半导体搬运设备的通信方法，其特征在于，应用于半导体搬运设备，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述当前管控指令和所述n条管控指令中的至少一条管控指令进行比对，得到比对结果，包括以下至少一种方式：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述比对结果，确定是否执行所述当前管控指令，包括以下至少一种方式：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，若所述当前管控指令与上一条管控指令的管控结果不一致时，所述方法还包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在对所述当前管控指令和所述n条管控指令中的至少一条管控指令进行比对，得到比对结果之前，所述方法还包括：
6.根据权利要求1至5任意一项所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，在将所述当前通行控制指令的管控结果与上一条通行控制指令的管控结果进行比对，且比对结果不一致时，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：缪峰，
申请(专利权)人：弥费科技上海股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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