【技术实现步骤摘要】
本技术涉及物件传输，特别是涉及一种校准装置及物料盒承载装置。
技术介绍
1、随着半导体技术的日益发展及市场对半导体产品需求量的增加，现今半导体厂为了提高产能，增加了生产设备数量的同时，提高了生产设备工作流程的复杂度。因而，厂内机台设备配置分区数量渐大，为解决人工搬运所带来的风险及不确定因素，自动搬运系统(automatic handling system，amhs)应运而生，并且已经广泛应用在半导体制造行业中。
2、传统的半导体器件生产厂内，将不同生产设备分区设置，各区之间通过空中运输系统(over head-hoist-transportation，oht)及行走于各区之间的台车来进行物料传输。空中运输系统主要包括悬吊于天花板的轨道以及沿着该轨道行进的空中运输车，为了提高空中运输车在不同生产设备之间进行物料传输的准确度及效率，需要人工经常对各分区内物料承载平台与空中运输车之间的配准数据进行校准，以利用空中运输车在多机台之间智能精准搬运物料。
3、然而，随着半导体工艺制程的复杂化，半导体器件生产厂内生产设备的种类及数量越来越多，人工手动校准不仅依赖操作者的经验，且在校准的过程中导致amhs闲置，严重降低amhs的效率，降低半导体器件生产厂的产能。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对上述
技术介绍
中的技术问题，提供一种校准装置及物料盒承载装置，能够在避免amhs停机的情况下对amhs中几种工位的模拟工位定位并获取对应的标准定位数据，从而根据获取的标准定位数据对
2、本申请的一方面提供一种校准装置，包括沿第一方向依次分布的第一承载部、机架、第二承载部，以及固定于机架且沿机架的高度方向依次分布的第三承载部和第四承载部，第三承载部位于第一承载部与第四承载部之间；第一方向与高度方向相交；第一承载部或第二承载部用于在将物料盒承载于标准定位位置的情况下，触发空中运输车在定位抓取物料盒时，产生对应于第一模拟工位的标准定位数据；第一模拟工位为临近空中运输车的悬挂轨道的工位；第三承载部用于在将物料盒承载于标准定位位置的情况下，触发空中运输车在定位抓取物料盒时，产生对应用于存储的第二模拟工位的标准定位数据；第四承载部用于在将物料盒承载于标准定位位置的情况下，触发空中运输车在定位抓取物料盒时，产生对应于临近机架的承载面的第三模拟工位的标准定位数据。
3、上述校准装置，由于自动搬运系统中主要包括临近空中运输车的悬挂轨道的高空工位、位于该高空工位临近下方的用于存储物料的存储工位以及临近机架承载面工位例如地面工位这三种工位，通过设置第一承载部或所述第二承载部在承载的位于机架外部的物料盒被空中运输车定位抓取期间获取对应第一模拟工位的标准定位数据，第一模拟工位为临近空中运输车的悬挂轨道的工位；设置第三承载部用于在承载的物料盒被空中运输车定位抓取期间获取对应用于存储的第二模拟工位的标准定位数据；以及设置第四承载部用于在承载的物料盒被空中运输车定位抓取期间获取对应临近机架的承载面的第三模拟工位的标准定位数据，在避免amhs停机的情况下对amhs中几种工位的模拟工位定位并获取对应的标准定位数据，从而根据获取的标准定位数据对amhs中对应工位机台进行批量化校准，提高校准的效率，避免校准导致的产能损失，并避免对校准操作者经验的依赖。
4、在其中一实施例中，第一承载部及第二承载部沿第一方向设置在机架上相背离的两侧，并且与机架固定连接；机架包括沿其高度方向延伸且呈矩形间隔分布的至少四根竖直柱，用于在空中运输车位于矩形内时，利用位于第一承载部上方的悬挂轨道限定空中运输车的水平移动路径；悬挂轨道用于承载空中运输车的水平移动装置。第一承载部或第二承载部用于真实模拟自动搬运系统中临近空中运输车的悬挂轨道的高空工位与空中运输车的匹配定位数据，也便于直接利用自动搬运系统中空中运输车，提高获取标准定位数据的真实性与准确性的同时，降低校准的成本。
5、在其中一实施例中，机架还包括沿第二方向间隔设置的两个水平柱，一水平柱分别与沿第一方向相邻的两个竖直柱固定连接；第三承载部包括沿第二方向相对的固连端与自由端，其中，固连端经由铰链与一水平柱铰接；自由端在第三承载部用于承载物料盒期间与另一水平柱连接，并且在第四承载部处于校准状态时，第三承载部位于不阻碍空中运输车在所述第四承载部上取货或放货的位置；第一方向与第二方向垂直。若暂时不需要第三承载部承载物料盒，可以将第三承载部的自由端与对应水平柱断开连接，使得第三承载部悬挂于一水平柱下方，便于空中运输车的夹持装置在机架内下移，对第四承载部进行定位以获取对应的标准定位数据，从而减小校准装置的体积与结构复杂度，第一方向与第二方向垂直。
6、本申请的另一方面提供一种物料盒承载装置，包括基板及呈矩形分布于基板顶面的用于至少限定物料盒的位置并固定物料盒的至少四个定位块；四个定位块包括一个位置固定的第一定位块及三个位置可调的第二定位块；位于矩形的第一对角线上的两个第二定位块的位置调节方向相互垂直且分别平行于矩形的边，另外一个第二定位块的位置调节方向平行于矩形的第二对角线；其中，物料盒承载装置应用于本申请任一实施例中校准装置，物料盒承载装置的基板设置于校准装置的承载部上，承载部包括第一承载部、第二承载部、第三承载部及第四承载部中至少一个。
7、上述物料盒承载装置，能够根据物料盒的形状及尺寸相应地调整三个第二定位块，利用一个位置固定的第一定位块及三个位置可调的第二定位块固定给定形状与尺寸的物料盒，避免产生因物料盒的形状与尺寸变化较大导致物料盒承载装置不能有效固定物料盒的情况，满足对多种不同形状与尺寸物料盒的固定与传输定位精度的需求。
8、在其中一实施例中，基板的用于设置四个定位块的区域设置有定位孔；定位块包括承载板及限位墙，承载板用于维持所承载物料盒的底面平行于目标平面；限位墙与承载板固定相连，用于环绕所限定物料盒的部分外侧壁；其中，承载板的底面设置有至少两个连接件，连接件用于与其下方的定位孔固定连接，第二定位块的连接件在其下方的定位孔内沿其位置调节方向位置可调。本实施例能够避免产生因物料盒的形状与尺寸变化较大导致物料盒承载装置不能有效固定物料盒的情况，满足对多种不同形状与尺寸物料盒的固定与传输定位精度的需求。
9、在其中一实施例中，第二定位块的连接件对应的定位孔沿对应连接件的位置调节方向延伸。
10、在其中一实施例中，限位墙的靠近所固定物料盒的表面在承载板上的正投影呈c型。
11、在其中一实施例中，第一定位块的连接件在其下方的定位孔内时位置固定。
12、在其中一实施例中，物料盒承载装置还包括固定部，固定部用于在连接件在对应的定位孔内位置固定后将连接件与基板固定连接。
13、在其中一实施例中，物料盒承载装置还包括至少一个垫片，用于在被设置于定位块与所限定物料盒之间时固定物料盒。本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种校准装置，其特征在于，包括沿第一方向依次分布的第一承载部、机架、第二承载部，以及固定于所述机架内且沿所述机架的高度方向依次分布的第三承载部和第四承载部，所述第三承载部位于所述第一承载部与所述第四承载部之间；所述第一方向与所述高度方向相交；
2.根据权利要求1所述的校准装置，其特征在于，所述第一承载部及所述第二承载部沿所述第一方向设置在所述机架上相背离的两侧，并且与所述机架固定连接；
3.根据权利要求2所述的校准装置，其特征在于，所述机架还包括沿第二方向间隔设置的两个水平柱，一所述水平柱分别与沿所述第一方向相邻的所述竖直柱固定连接；
4.一种物料盒承载装置，其特征在于，包括基板及呈矩形分布于所述基板顶面的用于至少限定所述物料盒的位置并固定所述物料盒的至少四个定位块；
5.根据权利要求4所述的物料盒承载装置，其特征在于，所述基板的用于固定所述四个定位块的区域设置有定位孔；所述定位块包括：
6.根据权利要求5所述的物料盒承载装置，其特征在于，所述第二定位块的连接件对应的定位孔沿对应连接件的位置调节方向延伸。
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