【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体制造设备，具体涉及一种洁净设备接口电路及采样控制系统。
技术介绍
1、装载机台(load port，简记lp)是设置在晶圆处理设备前端的对接设备，该lp机台上设置有载盘，载盘用于在晶圆的生产流转环节中放置前开式晶圆盒(front openunified pod，foup)。
2、前开式晶圆盒用于承载多片晶圆，其中晶圆盒转运时，其盒盖处于封闭状态，而晶圆进出晶圆盒时，例如在进行晶圆交换时，即晶圆进出晶圆盒时，其盒盖处于打开状态。在盒盖打开时，外部环境的气体将涌入晶圆盒内部，进而改变盒内晶圆存储环境，例如涌入的氧气及水气将会影响晶圆质量，以及一旦尘埃被气流带入盒内后，还将造成晶圆表面积灰而引起表面缺陷。
3、为此，在晶圆盒开盖时，需要洁净设备向foup内部充入适量洁净气体，以此维持foup内部温湿度环境，以及将尘埃从foup内部吹出维持洁净度。
4、因此，在洁净设备向foup充气中，需要各式各样的传感器、执行电路等电路单元来对整个充气过程的相关参数及状态进行检测控制，因而洁净设备中需要针对...
【技术保护点】
1.一种洁净设备接口电路，其特征在于，包括：至少一个一级控制电路和若干二级控制电路，其中：
2.根据权利要求1所述的洁净设备接口电路，其特征在于，所述数字量输入接口包括：输入接口、输出接口、第一电阻、第二电阻、第三电阻、第四电阻、第一电容、第二电容以及光电耦合电路；
3.根据权利要求1所述的洁净设备接口电路，其特征在于，所述模拟量输入接口包括：差分接口、第一运算放大器、第二运算放大器、第五电阻、第六电阻、第七电阻、第八电阻、第九电阻、第十电阻、第十一电阻、第三电容和第四电容；
4.根据权利要求3所述的洁净设备接口电路，其特征在于，所...
【技术特征摘要】
1.一种洁净设备接口电路，其特征在于，包括：至少一个一级控制电路和若干二级控制电路，其中：
2.根据权利要求1所述的洁净设备接口电路，其特征在于，所述数字量输入接口包括：输入接口、输出接口、第一电阻、第二电阻、第三电阻、第四电阻、第一电容、第二电容以及光电耦合电路；
3.根据权利要求1所述的洁净设备接口电路，其特征在于，所述模拟量输入接口包括：差分接口、第一运算放大器、第二运算放大器、第五电阻、第六电阻、第七电阻、第八电阻、第九电阻、第十电阻、第十一电阻、第三电容和第四电容；
4.根据权利要求3所述的洁净设备接口电路，其特征在于，所述模拟量输入接口还包括：第十二电阻、第五电容和第六电容；
5.根据权利要求3所述的洁净设备接口电路，其特征在于，所述模拟量输入接口还包括：模数转换器，其中，所述第二运算放大器的输出端通过第十一电阻与所述模数转换器的输入端耦接，所述模数转换器的输出端与所述第二控制电路通信连接。
6.根据权利要求1所述的洁净设备接口电路，其特征在于，所述数字量输出接口包括：输...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨复来，谭璜，缪峰，
申请(专利权)人：弥费科技上海股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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