本申请的实施例涉及多层重叠计量标靶和互补式重叠计量测量系统。本申请公开了多层重叠计量标靶和互补式重叠计量测量系统。公开了一种用于基于成像的计量的多层重叠标靶。该重叠标靶包含多个标靶结构，该多个标靶结构包括三个或更多个标靶结构，各标靶结构...

本发明提供使用光纤达成激光增强电压对比度的系统。所述系统包含具有对晶片进行紧固的载台的真空腔室。所述真空腔室外部的激光光源将光引导到光纤。所述光纤将来自所述激光光源的所有波长的光穿过所述真空腔室的壁传输到所述真空腔室中。到所述真空腔室中...

一种利用空气散射标准的检验系统包含：一或多个照明源，其用于产生照明光束；照明光学器件，其经配置以将所述照明光束聚焦到含于检验腔室的腔室内的一定体积的空气中；一或多个集光光学器件，其经配置以收集从所述体积的空气散射的照明部分；检测器，其经...

本申请实施例涉及一种用于降低检验系统中由辐射诱导的假计数的系统及方法。一种具有由辐射诱导的假计数缓解的检验系统包含：照明源，其经配置以照明样品；检测器组合件，其包括经配置以检测来自样品的照明的照明传感器及经配置以检测粒子辐射的一或多个辐...

公开一种用于泵浦激光维持等离子体的系统。所述系统包含经配置以产生用于所述激光维持等离子体的相应泵照明脉冲的多个泵模块，其中至少一个泵模块经配置以产生在时间上与由所述多个泵模块中的至少一个其它泵模块产生的另一串泵脉冲交错的一串泵脉冲。所述...

本文提出用于以中红外波长执行半导体结构的高吞吐量光谱测量的方法及系统。傅里叶变换红外(FTIR)光谱仪包含一或多个跨越2.5微米与12微米之间的波长范围的测量通道。所述FTIR光谱仪以多个不同的入射角、方位角、不同的波长范围、不同的偏振...

本发明揭示一种用于制造半导体装置晶片的偏移计量系统，其包含：光学偏移计量工具，其经配置以测量选自旨在相同的一批半导体装置晶片的半导体装置的两个层之间的至少一个目标处的偏移；电子束偏移计量工具，其经配置以测量选自所述批的半导体装置的两个层...

本文中呈现用于运用两个或多于两个测量子系统执行半导体结构的共址测量的方法及系统。为了实现足够小的测量盒大小，计量系统监测且校正每一计量子系统的测量点与计量目标的对准以实现每一计量子系统的所述测量点与所述计量目标的最大共址。另一方面，通过...

揭示一种计量系统。在一个实施例中，所述计量系统包含通信地耦合到参考计量工具及光学计量工具的控制器，所述控制器包含经配置以进行以下操作的一或多个处理器：产生用于从来自参考计量工具的计量数据确定测试HAR结构的轮廓的几何模型；产生用于从来自...

本公开揭示一种叠对计量系统，其包含用于从叠对计量工具接收使用测量参数的值的范围对样品上的叠对目标的多个集合的叠对测量的控制器，其中叠对目标的特定集合包含具有两个或更多个叠对目标设计中的一者的叠对目标。所述控制器可进一步确定至少一些所述叠...

本发明揭示一种用于半导体装置制造中的偏移的光学测量的标靶，所述标靶包含：第一周期性结构，其形成于半导体装置的第一层上且具有沿着轴线的第一节距；及第二周期性结构，其形成于所述半导体装置的第二层上且具有沿着所述轴线的第二节距，所述第二节距不...

本发明公开一种样本特性化系统。在实施例中，所述样本特性化系统包含通信地耦合到检验子系统的控制器，所述控制器包含经配置以执行存储于存储器中的程序指令集的一或多个处理器，所述程序指令集经配置以导致所述一或多个处理器：获取样本的一或多个目标图...

基于从候选缺陷的图像导出的一或多个自动产生属性的值而实现用于所关注缺陷DOI的经改进检测及分类的方法及系统。通过迭代地训练、简化及重新训练深度学习模型而确定自动产生属性。所述深度学习模型使候选缺陷的光学图像与所述缺陷的已知分类相关。在模...

一种计量系统可接收用于基于波长范围内的来自散射测量工具的光谱散射测量数据的回归来测量包含以选定图案分布的特征的目标的一或多个选定属性的模型。所述计量系统可进一步产生所述模型的加权函数来使与其中预测由所述散射测量工具在测量所述目标时捕获的...

本申请实施例涉及高效率激光支持等离子体光源。一种用于产生激光支持宽带光的系统，其包含：泵浦源，其经配置以产生泵浦光束；气体容纳结构，其用于容纳气体；及多通光学组合件。所述多通光学组合件包含一或多个光学元件，所述一或多个光学元件经配置以执...

本发明提供一种扫描电子显微镜系统，其可包含光电子系统及控制器。所述光电子系统可包含：电子源；及光电柱，其经配置以将电子束引导到样本。所述光电柱可包含：双透镜组合件；束限制孔径，其经安置于所述双透镜组合件的第一与第二透镜之间；及检测器组合...

本公开揭示一种检验系统，其可从缺陷检验系统接收与一或多个样品的检验相关联的检验数据集，其中与缺陷相关联的所述多个检验数据集的检验数据集包含两个或更多个信号属性的值及一或多个上下文属性的值。检验系统可进一步基于所述检验数据集中的每一者在由...

本文中公开的实施例可包括：接收运行时间裸片的运行时间图像；及使用深度学习模块来识别所述运行时间图像中的特性噪声且修改所述运行时间图像以降低所述特性噪声，借此产生去噪运行时间图像。此类实施例可被执行为方法，由系统执行，或由一或多个运算装置...

本申请实施例涉及具有可移动针体的电阻率探针。电阻率探针可以用于测试集成电路。在一个实例中，电阻率探针具有带多个通孔的衬底和多个金属引脚。所述金属引脚中的每一者安置于所述通孔中的一者中。所述金属引脚延伸出所述衬底。互连件提供到所述金属引脚...

本发明揭示一种图像传感器，其利用纯硼层及具有p型掺杂剂浓度梯度的第二外延层以增强感测DUV、VUV或EUV辐射。在第一外延层的上表面上制造感测(电路)元件及相关联金属互连件，接着在所述第一外延层的下表面上形成所述第二外延层，且接着在所述...