本发明的实施例设置了一种化学品取样装置，其包括：分离容器的盖的盖拆卸单元；以及将化学品装载在容器中的化学品装载单元，其中，化学品装载单元包括排出模块，剩余在多条取样管线中的残余化学品从该排出模块排出；以及多个取样驱动模块，每个取样驱动模...

一种实施例涉及一种歧管组件，其包括其中形成有公共腔室的主体，连接到公共腔室并供应第一化学品的第一化学品流动通道，用于选择性地打开或关闭第一化学品流通道的第一阀，连接到公共腔室并供应第二化学品的第二化学品流动通道，用于选择性地打开或关闭第...

实施例涉及一种化学品溢出防止装置，包括：端盖构件，其被布置为能够密封取样管线的出口端部，化学品通过该出口端部排出；以及移动单元，其用于选择性地移动所述端盖构件，使得端盖构件定位在用于密封出口端部的第一位置或用于打开出口端部的第二位置，由...

本发明的目的在于，提供可使将化学制剂供应装置的空的化学制剂容器更换为新的化学制剂容器时消耗的时间最小化的化学制剂容器自动运送装置及自动运送方法。用于实现其的化学制剂容器自动运送装置包括：化学制剂供应装置，用于将收容在第一化学制剂容器的化...

本发明的目的在于，提供可使用于检测从运送对象至设定位置为止是否具有突出的部分的传感器的数量最小化的运送对象的自动运送装置及自动运送方法。用于实现上述目的的自动运送装置包括：一对第一感应传感器，在运送对象被运送的状态下，检测从通过运送路线...

本发明的目的在于提供一种夹紧装置，坚固地固定过滤器组件的外壳和头的结合，以防止化学制剂泄漏的同时能够更加容易进行固定及解除固定。用于实现该目的的本发明的夹紧装置包括：第一夹具，结合于过滤器组件的过滤器头的外侧；第二夹具，结合于过滤器组件...

本发明提供一种传送盒清洗装置，包括：分离部，其将通过入口移入的传送盒分离；第一移送部，其移送在上述分离部分离的传送盒；清洗室，其清洗及干燥通过上述第一移送部分离并移送的传送盒；真空室，其对在上述清洗室中干燥的传送盒进行真空处理；第二移送...

本发明提供一种传送盒清洗室，包括：清洁室，其具有入口门，且容纳被移送的传送盒以进行清洗；干燥室，其具有出口门，且干燥从上述清洁室移送的上述传送盒；开关，其配置在上述清洁室和上述干燥室之间用以进行升降；及室移动部，其将上述传送盒从上述清洁...

本发明提供一种传送盒清洗工艺，包括：分离步骤，将移入的传送盒分离为内传送盒和外传送盒；清洁步骤，在清洁室内部对分离的传送盒进行清洗；干燥步骤，在干燥室内部对通过上述清洁步骤的上述传送盒进行干燥；真空处理步骤，对通过上述干燥步骤的上述传送...

本发明的目的在于提供一种化学制剂过滤器更换装置，该化学制剂过滤器更换装置在将相互不同种类的多个滤芯运送到过滤器固定部之前可进行存放。为了实现该目的的化学制剂更换装置将投放于滤芯存放部的新滤芯通过滤芯运送部运送到过滤器固定部来结合于过滤器...

本发明的目的在于提供一种化学制剂过滤器更换装置，在结合过滤器外壳和过滤器头的情况下使过滤器外壳和过滤器头的相互面对的面处于水平状态。为了实现该目的的化学制剂过滤器更换装置，包括：过滤器组件固定部，固定过滤器组件，过滤器组件由过滤器外壳和...

实施例公开了一种化学品取样设备，包括：具有内部空间的壳体；取样管线，其穿过壳体并被配置为向内部空间供应化学品；第一门，其被配置为打开或关闭形成在壳体中的第一入口；瓶保持单元，其被配置为安置或固定通过第一入口装载到内部空间中的取样瓶；盖分...

实施例公开了一种集成联接模块以及包括该集成联接模块的联接系统。集成联接模块包括：打开/关闭模块，其包括用于夹持容器的盖的盖夹持单元；以及联接器固定模块，其用于固定将容器中的液体排放到外部的联接器，其中联接器设置在盖夹持单元上方。器设置在...

实施例公开了一种集成的联接模块，其包括打开/关闭模块，其包括夹持容器的盖的盖夹持单元；以及联接器固定模块，其固定将容器中的液体排放到外部的联接器，其中，联接器从盖夹持单元上方降低以联接到容器；以及包括该集成的联接模块的联接系统。的联接模...

本发明的目的在于提供一种化学制剂供应装置，引导公接头和母接头的中心轴线一致，进而公接头和母接头在没有由磕碰等引起的损坏的情况下在准确的位置的结合，进而可防止化学制剂泄漏。为了实现该目的，本发明包括：化学制剂用公接头(510)和化学制剂用...

本发明的目的在于提供一种化学品过滤器更换装置及更换方法，在化学品过滤器的更换中，防止化学物质泄漏到外部，将在更换化学品过滤器时可发生的事故危险最小化，实现装置体积的紧凑化，同时可减少更换化学品过滤器所需的工作工序数。用于实现该目的的本发...

本发明的目的在于提供一种在多个腔室之间能够稳定地移送基板的基板处理装置。用于实现此的本发明的基板处理装置，包括：多个腔室，为了处理基板而沿圆周方向以预定间隔布置；转盘，配备为为了在所述多个腔室之间移送所述基板而旋转，其中，所述多个腔室中...

本发明的目的在于提供一种可以在装载和卸载基板时阻断基板与腔室内部的加热部之间而最小化基板的热变形的基板处理装置以及基板处理方法。为了实现其的本发明的基板处理装置包括：腔室，在内部布置有基板的热处理空间；加热部，配备在所述腔室的上部而加热...

本发明的目的在于提供一种化学品过滤器更换装置及更换方法，在化学品过滤器的更换中，防止化学物质泄漏到外部，将在更换化学品过滤器时可发生的事故危险最小化，实现装置体积的紧凑化，同时可减少更换化学品过滤器所需的工作工序数。用于实现该目的的本发...

本发明涉及基板传送装置以及利用其的基板处理方法，更加详细地，其目的在于在装载和卸载基板时阻断基板与腔室内部的加热部之间而最小化基板的热变形。为了实现其的本发明的基板传送装置包括：机器人主体，配备有产生动力的驱动部；传送单元，支撑基板而传...