本发明公开了一种层压系统，该层压系统包括：施加装置，其被构造为在第一目标上形成粘合剂层；供应装置，其被构造为提供第二目标；以及粘合装置，其被构造为将第一目标粘合到第二目标，其中施加装置包括：注射单元，其包括被构造为在第一目标上注射粘合剂...

本发明的目的在于提供一种基板处理装置，该基板处理装置由于能够在一个装置内处理大小不同的基板而不需要部件更换时间及装置启动准备时间，从而能够提升工序效率。用于实现此的本发明的基板处理装置用于处理基板，包括：平台，为了加热或者冷却所述基板而...

本发明的目的在于提供一种基板处理装置，该基板处理装置由于能够在一个装置内处理大小不同的基板而不需要部件更换时间及装置启动准备时间，从而能够提升工序效率的基板处理装置。用于实现此的本发明的基板处理装置用于处理基板，包括：基板支撑销，支撑所...

本发明的目的在于提供能够防止因进行基板处理的平台上的基板的翘曲现象而引起的工序不良的基板处理装置。用于实现此目的的本发明的基板处理装置包括：多个腔室，为了处理基板而沿圆周方向以预定间隔布置；转盘(600)，配备为为了在多个腔室之间移送基...

本发明的目的在于提供一种没有专业执照或者未接受专业培训的工作人员也可容易运送化学制剂容器的化学制剂容器自动运送装置及自动运送方法。用于实现该目的的本发明的化学制剂容器自动运送装置包括：升降部，将化学制剂容器(2)从第一高度上升至第二高度...

本发明的目的在于提供一种可将已确认化学制剂供应装置所需的化学制剂信息的化学制剂容器自动供应于化学制剂供应装置的化学制剂容器自动运送装置及自动运送方法。用于实现该目的的化学制剂容器自动运送装置包括：至少一条运送路线，用于将投放于投放部(1...

本发明提供一种窗固定模块及包括其的层压装置，其中，所述窗固定模块包括：固定块，其包括用于固定窗的固定面；电路板，其设置有向上述固定面照射紫外线光的多个发光元件；以及吸入装置，其将上述窗固定于上述固定面。其将上述窗固定于上述固定面。其将上...

本发明的目的在于提供一种化学制剂容器自动运送装置及自动运送方法，可将已确认化学制剂供应装置所需的化学制剂信息的化学制剂容器自动供应于化学制剂供应装置。为了实现该目的的本发明的化学制剂容器自动运送装置，包括：至少一个运送路线，用于将投放于...

本发明的目的在于提供一种化学品自动供给装置的设置结构，当操作人员搁置软管到搁置部时，使搁置部尽量与操作人员接近，可防止引发操作人员疾病。体现此目的的化学品自动供给装置的设置结构包括：建筑物墙体(700)，贯通连接建筑物内外的开放部；化学...

本发明的目的在于提供一种化学品自动供给装置的设置结构，当操作人员搁置软管到搁置部时，使搁置部尽量与操作人员接近，可防止引发操作人员疾病。体现此目的的化学品自动供给装置的设置结构包括：建筑物墙体(700)，贯通连接建筑物内外的开放部；化学...

本发明的目的在于提供一种化学品过滤器固定装置，在自动更换化学品过滤器的情况下，坚固地固定过滤器组件的外壳和头部，进而可防止化学品泄漏。用于实现该目的的本发明的化学品过滤器固定装置用于固定过滤器组件(2)，所述过滤器组件(2)由过滤器外壳...

本发明涉及不良发光二极管去除装置，上述不良发光二极管去除装置用于在配置于发光二极管基板的多个发光二极管中去除不良发光二极管，上述不良发光二极管去除装置包括：主载物台，用于设置上述发光二极管基板；激光照射部，用于向存在于上述发光二极管基板...

本发明涉及发光二极管基板修复装置及方法，本发明装置包括：第一检查部，用于检测配置于基板上的多个发光二极管中的不良发光二极管；发光二极管去除部，从基板去除通过第一检查部检测到的不良发光二极管；焊料供给部，向去除不良发光二极管的基板的不良发...

本发明公开一种喷墨印刷方法及喷墨印刷装置，所述喷墨印刷方法利用映射控制值和离散油墨量而输入特定控制值时被控制为喷射映射的离散油墨量的多个喷嘴，其包括如下步骤：对多个喷嘴输入映射特定离散油墨量的控制值而测定喷射油墨量，从而确定多个喷嘴的喷...

本发明涉及一种基板温度测量装置及基板温度测量方法，更为详细地，其目的在于提供一种可以实时测量基板处理工序中的基板的温度的基板温度测量装置及基板温度测量方法。用于实现上述目的的本发明的基板温度测量装置包括探头，所述探头配备为将支撑基板而进...

本发明涉及一种喷墨印刷方法及喷墨印刷设备。本发明的喷墨印刷方法利用控制使得在映射控制值与离散墨水量，而在输入特定控制值时，排出与其映射的离散墨水的量的多个喷嘴。喷墨印刷方法包括如下步骤：对多个喷嘴输入与特定离散墨水量映射的控制值而测定多...

本发明的目的在于提供一种如下的前开式晶圆传送盒清洁装置及前开式晶圆传送盒清洁方法，能够提高前开式晶圆传送盒主体及前开式晶圆传送盒盖的清洁及干燥效率。为此，本发明的前开式晶圆传送盒清洁装置用于清洁包括前开式晶圆传送盒主体及前开式晶圆传送盒...

本发明的喷墨印刷装置的特征在于，包括：输送机，将基板装载到其上部并移动；至少一个印刷头(head)，设置在基板移动路径的上部，向第一基板喷射液滴；以及至少一个紫外线固化器，设置在基板移动路径的上部，向喷射到基板的液滴照射紫外线，其中，输...

本发明的目的在于提供一种化学品自动供给装置的设置结构，当操作人员搁置软管到搁置部时，使搁置部尽量与操作人员接近，可防止引发操作人员疾病。体现此目的的化学品自动供给装置的设置结构包括：建筑物墙体(700)，贯通连接建筑物内外的开放部；化学...

本发明的目的在于提供化学品自动供给装置的软管搁置结构，使公接头本体不与搁置部直接接触，以免公接头损伤，可防止公接头与母接头连接不正确及化学品泄漏，防止公接头污染避免供给化学品的污染及变质。为体现此目的的本发明化学品自动供给装置的软管搁置...