【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】化学品过滤器更换装置及更换方法
本专利技术涉及化学品过滤器更换装置及更换方法，更详细地说，涉及可简便地更换用于过滤化学品所含的杂质的过滤器的化学品过滤器更换装置及更换方法。
技术介绍
通常，制造半导体、半导体装置、LCD、OLED的公司、制药公司及油漆公司等，使用有害化学物质的所有公司正在使用各种种类的化学品，而且安全供应这种化学品的方式也正在变得多种多样。这种化学品会经过化学品过滤器进行供应，以根据制造工艺的特性以杂质最少化的高纯度状态使用。所述化学品过滤器根据种类其形状及更换方法也有所不同，而且根据化学品的种类及所需的高纯度状态保持标准有各种更换周期。以往，工作人员为了将来自化学品的危害最小化穿戴了防化服及防毒面具等的安全防护工具，而且一直以来都是手工逐一更换。然而，在工作人员手工更换化学品过滤器的情况下，在化学品过滤器更换工作时，可向外部泄漏化学品及烟雾(FUME)，因此不仅对制造设备包括在内的周边环境造成污染、损坏、破坏，而且工作人员包括在内的周围其他工作人员也可暴露在危险中。另外，在工作人员阀门操作失误的情况下，可发生过滤器内部的各种有毒化学品泄漏到外部的事故。另外，由于手工更换化学品过滤器，因此存在更换过滤器所需的工作工序数增加的问题。作为在手工更换化学品过滤器的情况下用于固定化学品过滤器的装置，公开了韩国公开专利第10-2003-0043124号(2003.06.02.公开)。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述所有的问题而...
【技术保护点】
1.一种化学品过滤器更换装置，包括：/n过滤器组件安装部(300)，安装过滤器组件(2)，所述过滤器组件(2)包括待使用于过滤化学品的第一滤盒(10-1)或者已使用于过滤化学品的第二滤盒(10-2)、过滤器外壳(20)和过滤器头(30)，所述过滤器外壳(20)容纳所述第一滤盒(10-1)或者第二滤盒(10-2)并且所述过滤器外壳(20)和过滤器头(30)相互上下结合；及/n滤盒更换工具，在所述过滤器组件(2)安装在所述过滤器组件安装部(300)的状态下，从所述过滤器组件(2)分离所述过滤器外壳(20)，从所述过滤器组件(2)分离所述第二滤盒(10-2)，之后所述第一滤盒(10-1)结合于分离所述第二滤盒(10-2)的过滤器组件(2)，如此将所述已分离的过滤器外壳(20)结合于所述过滤器组件(2)。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20181105 KR 10-2018-01343291.一种化学品过滤器更换装置，包括：
过滤器组件安装部(300)，安装过滤器组件(2)，所述过滤器组件(2)包括待使用于过滤化学品的第一滤盒(10-1)或者已使用于过滤化学品的第二滤盒(10-2)、过滤器外壳(20)和过滤器头(30)，所述过滤器外壳(20)容纳所述第一滤盒(10-1)或者第二滤盒(10-2)并且所述过滤器外壳(20)和过滤器头(30)相互上下结合；及
滤盒更换工具，在所述过滤器组件(2)安装在所述过滤器组件安装部(300)的状态下，从所述过滤器组件(2)分离所述过滤器外壳(20)，从所述过滤器组件(2)分离所述第二滤盒(10-2)，之后所述第一滤盒(10-1)结合于分离所述第二滤盒(10-2)的过滤器组件(2)，如此将所述已分离的过滤器外壳(20)结合于所述过滤器组件(2)。
2.根据权利要求1所述的化学品过滤器更换装置，其特征在于，还包括：
第一装载部(210)，装载待结合于所述过滤器组件(2)的第一滤盒(10-1)；第二装载部(220)，装载从所述过滤器组件(2)分离的第二滤盒(10-2)。
3.根据权利要求2所述的化学品过滤器更换装置，其特征在于，
所述第一装载部(210)包括安装所述第一滤盒(10-1)的第一滤盒安装座(211)，
所述第二装载部(220)包括安装所述第二滤盒(10-2)的第二滤盒安装座(221)。
4.根据权利要求2所述的化学品过滤器更换装置，其特征在于，
所述第一装载部(210)、过滤器组件安装部(300)及第二装载部(220)在向两侧间隔的位置分别配置成一对。
5.根据权利要求4所述的化学品过滤器更换装置，其特征在于，
在所述第一装载部(210)的前方配置有门(110)，
所述第一装载部(210)、过滤器组件安装部(300)及第二装载部(220)为在所述门(110)的后方依次配置在间隔预定间距的位置。
6.根据权利要求5所述的化学品过滤器更换装置，其特征在于，
所述第一装载部(210)和第二装载部(220)配置成以所述门(110)为基准位于工作人员的手可触碰的距离以内。
7.根据权利要求1所述的化学品过滤器更换装置，其特征在于，
所述过滤器头(30)结合于所述过滤器外壳(20)的开放的一侧端部，并且形成有多个连接部(31至34)以流进或者排放所述化学品。
8.根据权利要求1所述的化学品过滤器更换装置，其特征在于，
所述过滤器组件安装部(300)包括头夹具(310)，所述头夹具(310)用于夹紧并结合所述过滤器外壳(20)和过滤器头(30)。
9.根据权利要求8所述的化学品过滤器更换装置，其特征在于，
头凸缘(36)和外壳凸缘(22)以彼此相向的面对接的状态结合，所述头凸缘(36)沿着所述过滤器头(30)的一侧端部周围形成，所述外壳凸缘(22)沿着所述过滤器外壳(20)的一侧端部周围形成，
所述头夹具(310)以所述头凸缘(36)和外壳凸缘(22)相向的面彼此紧贴的方向加压并夹紧。
10.根据权利要求9所述的化学品过滤器更换装置，其特征在于，
所述头凸缘(36)和外壳凸缘(22)分别形成为彼此相向的面的相反面倾斜的楔形形状，
在所述头夹具(310)形成有具有倾斜面(311b、312b)的结合槽(311a、312b)，以分别紧贴于所述头凸缘(36)和外壳凸缘(22)的倾斜的面。
11.根据权利要求9所述的化学品过滤器更换装置，其特征在于，
所述头夹具(310)包括第一夹具(311)和第二夹具(312)，所述第一夹具(311)和第二夹具(312)在所述头凸缘(36)和外壳凸缘(22)的周围彼此相向的配置，
所述化学品过滤器更换装置还包括夹具移送部(320)，所述夹具移送部(320)用于将所述第一夹具(311)和第二夹具(312)以彼此接近的方向移动或者以彼此远离的方向移动。
12.根据权利要求11所述的化学品过滤器更换装置，其特征在于，
若所述第一夹具(311)和第二夹具(312)以彼此接近的方向移动，则所述头凸缘(36)和外壳凸缘(22)处于夹紧状态，
若所述第一夹具(311)和第二夹具(312)以彼此远离的方向移动，则所述头凸缘(36)和外壳凸缘(22)处于解除夹紧的状态。
13.根据权利要求9所述的化学品过滤器更换装置，其特征在于，还包括：
夹具锁定工具，用于固定所述头夹具(310)的夹紧的位置，以保持所述头凸缘(36)和外壳凸缘(22)被夹紧的状态。
14.根据权利要求13所述的化学品过滤器更换装置，其特征在于，还包括：
夹具移送部(320)，用于将所述第一夹具(311)和第二夹具(312)以彼此接近的方向移动或者以彼此远离的方向移动，
其中，所述夹具锁定工具包括：固定槽(324)，形成在所述夹具移送部(320)；夹具固定部(340)，具有固定凸起(341)，所述固定凸起(341)在所述头凸缘(36)和外壳凸缘(22)被夹紧的状态下插入于所述固定槽(324)。
15.根据权利要求14所述的化学品过滤器更换装置，其特征在于，
所述夹具移送部(320)配置成可横向往返移动，
所述夹具固定部(340)配置成可纵向往返移动。
16.根据权利要求15所述的化学品过滤器更换装置，其特征在于，
在所述头凸缘(36)和外壳凸缘(22)被夹紧的状态下，所述夹具固定部(340)向下移动，所述固定凸起(341)插入于所述固定槽(324)内，进而所述头夹具(310)处于夹具锁定状态，
若所述夹具固定部(340)向上移动，所述固定凸起(341)位于所述固定槽(324)的外侧，则所述头夹具(310)处于夹具锁定解除状态。
17.根据权利要求1所述的化学品过滤器更换装置，其特征在于，
所述滤盒更换工具包括：
至少一个的过滤器外壳装卸模块(400)，从所述过滤器组件(2)分离包围所述第二滤盒(10-2)的过滤器外壳(20)，或者结合从所述过滤器组件(2)分离的所述过滤器外壳(20)以包围所述第一滤盒(10-1)。
18.根据权利要求17所述的化学品过滤器更换装置，其特征在于，
所述过滤器外壳装卸模块(400)包括：外壳固定部(410)，固定所述过滤器外壳(20)；外壳移送部(420)，以上下方向移动所述外壳固定部(410)。
19.根据权利要求18所述的化学品过滤器更换装置，其特征在于，
所述过滤器外壳装卸模块(400)还包括外壳固定部高度调节部(430)，所述外壳固定部高度调节部(430)用于按照所述过滤器外壳(20)的高度规格调节所述外壳固定部(410)的高低。
20.根据权利要求2所述的化学品过滤器更换装置，其特征在于，
所述滤盒更换工具包括第二滤盒移送模块(500)，所述第二滤盒移送模块(500)将安装在所述过滤器组件安装部(300)的所述第二滤盒(10-2)移送到所述第二装载部(220)。
21.根据权利要求20所述的化学品过滤器更换装置，其特征在于，
所述第二装载部(220)在所述过滤器组件安装部(300)的后方中配置在间隔到一侧的位置。
22.根据权利要求21所述的化学品过滤器更换装置，其特征在于，
所述第二滤盒移送模块(500)包括：旋转部(520)，可旋转于所述过滤器组件安装部(300)所在的第一位置和所述第二装载部(220)所在的第二位置之间；第二升降移送部(530)，在所述第一位置或者第二位置以上下方向升降第二升降部(540)；第二夹持器(550)，配置在所述第二升降部(540)，以夹持所述第二滤盒(10-2)。
23.根据权利要求22所述的化学品过滤器更换装置，其特征在于，
所述过滤器组件安装部(300)和所述第二装载部(220)在向两侧间隔的位置分别配置成一对，
所述第二滤盒移送模块(500)配置成单一模块，在位于所述两侧的过滤器组件安装部(300)和第二装载部(220)之间移送所述第二滤盒(10-2)。
24.根据权利要求23所述的化学品过滤器更换装置，其特征在于，
所述第二滤盒移送模块(500)将所述第二滤盒(10-2)从所述过滤器组件安装部(300)移送到所述第二装载部(220)之后返回到位于所述两侧的第二装载部(220)之间的中间的等待位置。
25.根据权利要求22所述的化学品过滤器更换装...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋勇益，尹炳春，赵济东，蔡熙峯，禹泳喆，金学烈，曺政旭，
申请(专利权)人：系统科技公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR
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