一种实施例涉及一种歧管组件，其包括其中形成有公共腔室的主体，连接到公共腔室并供应第一化学品的第一化学品流动通道，用于选择性地打开或关闭第一化学品流通道的第一阀，连接到公共腔室并供应第二化学品的第二化学品流动通道，用于选择性地打开或关闭第二化学品流通道的第二阀，以及连接至公共腔室并将引入公共腔室的第一化学品或第二化学品排出主体的排放流动通道，因此，歧管组件可以具有简化用于排出、清洁和取样化学品的过程以及提高稳定性和可靠性的有益效果。性和可靠性的有益效果。性和可靠性的有益效果。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】歧管组件和包括该歧管组件的化学品取样装置
[0001]实施例涉及歧管组件和包括该歧管组件的化学品取样装置，更具体地，涉及能够简化排出、去除和取样化学品的过程并提高稳定性和可靠性的歧管组件和包括该歧管组件的化学品取样装置。
技术介绍
[0002]处理对人体有害的化学品的公司(例如，制造化学品的公司，比如制造半导体、LCDs、OLEDs、药物、油漆等的公司)使用各种类型的化学品用于单个过程或多个单元过程。
[0003]一般来说，化学品通过罐车等供应到主储存罐，并且储存在主储存罐中的一些化学品被分开并储存在多个子储存罐中，使得化学品可以顺序地供应到单个单元过程或者单独地供应到多个单元过程。
[0004]作为另一种示例，当化学品的数量较少或者当由于化学品的性质而无法使用罐车时，化学品可以通过桶、瓶等直接供应给子储存罐。
[0005]同时，如果化学品在罐车、桶、瓶、储存罐、管道等中被污染，则在供应化学品的单元过程中可能出现缺陷。因此，有必要将化学品的污染程度控制在罐车、桶、瓶、储存罐、管道等中的每一者上的主要位置处的适当水平。
[0006]因此，最近已开发取样装置，用于在罐车、桶、瓶、储存罐、管道等中的每一者的主要位置处对化学品进行取样。
[0007]然而，在相关技术中，为了在主要位置处排出、清洁和取样化学品，操作者需要在用于各种化学品的喷嘴位置中依次地将取样瓶准确地放置在用于所需化学品的喷嘴位置。此外，在连接的取样管线中的多个阀中，需要精确地操作所需阀以排出、清洁和取样化学品，这使得排出、去除和取样化学品的过程变得复杂。
[0008]此外，如果在将取样瓶放置在所需化学品的喷嘴位置处的过程中，由于操作者的失误，取样瓶被放置在不正确位置或者阀被错误地操作，则存在的问题是，化学品在没有改变的情况下暴露在取样瓶的外部的底板上，或者操作者在移动包含化学品的取样瓶的过程中暴露于化学品。
[0009]另外，当通过在多个阀的后端处对管道进行分组来提供放置取样瓶的单个位置以解决上述问题时，残留化学品滞留在从阀的后端到分组管道所限定的空间中，这导致的问题是，在对不同化学品进行取样的过程中，残留化学品影响污染的程度和物质分析的结果。
[0010]因此，最近已进行各种研究以简化化学品取样的过程并提高稳定性和可靠性，但研究结果仍然不足。因此，需要开发一种技术以简化化学品取样的过程并提高稳定性和可靠性。
技术实现思路
[0011]技术问题
[0012]实施例的一个目的是提供一种歧管组件和包括该歧管组件的化学品取样装置，其
能够简化排出、去除和取样化学品的过程，并提高稳定性和可靠性。
[0013]具体而言，实施例的目的是在单个位置处排出、去除和取样从多个取样管线供应的化学品。
[0014]实施例的另一个目的是在排出、去除和取样从不同取样管线供应的化学品的过程中，最小化化学品的污染、纯度的劣化和分析结果的误差。
[0015]实施例的又一个目的是提高与化学品的污染程度和物质的分析相关的精度。
[0016]实施例的又一个目的是简化结构并提高空间利用率。
[0017]实施例要实现的目的不限于上述目的，而是还包括可从下文描述的解决方案或实施例中理解的目的或效果。
[0018]技术解决方案
[0019]为了实现上述目的，本专利技术的一种示例性实施例提供了一种歧管组件，该歧管组件包括：主体，该主体具有设置在其中的公共腔室；第一化学品流动通道，该第一化学品流动通道连接到公共腔室并被配置为供应第一化学品；第一阀，该第一阀被配置为选择性地打开或关闭第一化学品流通道；第二化学品流动通道，该第二化学品流动通道连接到所述公共腔室并被配置为供应第二化学品；第二阀，该第二阀被配置为选择性地打开或关闭第二化学品流通道；以及排出流动通道，该排出流动通道被配置为与公共腔室连通并将被引入公共腔室的第一化学品或第二化学品排出到主体的外部。
[0020]这是为了简化化学品的排出、去除和取样的过程，并提高稳定性和可靠性。
[0021]根据实施例，无需在每个主要位置处移动包含化学品的取样瓶，这使得可以获得提高稳定性和可靠性并最小化化学品被暴露于操作者的情况的有利效果。
[0022]第一化学品流动通道可以具有能够向公共腔室供应第一化学品的各种结构。
[0023]例如，第一化学品流动通道包括：第一供应流动通道，该第一供应流动通道设置在主体中并被配置为供应第一化学品；第一流入流动通道，该第一流入流动通道设置在主体的侧向表面中，并配置为与公共腔室连通；以及第一导向流动通道，该第一导向流动通道设置在主体的侧向表面中，并被配置为与第一供应流动通道和第一流入流动通道连通，并将第一化学品导向至第一流入流动通道。
[0024]具体地，第一供应流动通道包括第一竖直流动通道，该第一竖直流动通道设置在主体的上部表面中；以及第一水平流动通道，该第一水平流动通道设置在主体的侧向表面中并被配置为与第一竖直流动通道连通。
[0025]第一阀可以具有能够选择性地打开或关闭第一化学品流动通道的各种结构。本专利技术不受第一阀的类型和结构的约束或限制。
[0026]例如，第一阀包括：阀体，该阀体设置成覆盖第一导向流动通道；缸构件，该缸构件设置在阀体中并且被配置为能够在朝向和远离第一导向流动通道的壁表面的方向上直线移动；以及隔膜，该隔膜被配置为通过由缸构件按压而选择性地与第一导向流动通道的壁表面紧密接触。
[0027]第二化学品流动通道可以具有能够向公共腔室供应第二化学品的各种结构。
[0028]例如，第二化学品流动通道包括：第二供应流动通道，该第二供应流动通道设置在主体中并被配置为供应第二化学品；第二流入流动通道，该第二流入流动通道设置在主体的侧向表面中，并被配置为与公共腔室连通；以及第二导向流动通道，该第二导向流动通道
设置在主体的侧向表面中，并被配置为与第二供应流动通道和第二流入流动通道连通，并将第二化学品导向至第二流入流动通道。
[0029]具体地，第二供应流动通道包括第二竖直流动通道，该第二竖直流动通道设置在主体的上部表面中；以及第二水平流动通道，该第二水平流动通道设置在主体的侧向表面中并被配置为与第二竖直流动通道连通。
[0030]第二阀可以具有能够选择性地打开或关闭第二化学品流动通道的各种结构。本专利技术不受第二阀的类型和结构的约束或限制。
[0031]例如，第二阀包括：阀体，该阀体设置成覆盖第二导向流动通道；缸构件，该缸构件设置在阀体中并且被配置为能够在朝向和远离第二导向流动通道的壁表面的方向上直线移动；以及隔膜，该隔膜被配置为通过由缸构件按压而选择性地与第二导向流动通道的壁表面紧密接触。
[0032]根据本专利技术的示例性实施例，歧管组件可以包括第三化学品流动通道，该第三化学品流动通道连接到公共腔室并被配置为供应第三化学品，以及第三阀，该第三阀被配置为选择性地打开或关闭第三化学品流动通道。
[0033]本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种歧管组件，包括：主体，所述主体具有设置在其中的公共腔室；第一化学品流动通道，所述第一化学品流动通道连接到所述公共腔室并被配置为供应第一化学品；第一阀，所述第一阀被配置为选择性地打开或关闭所述第一化学品流动通道；第二化学品流动通道，所述第二化学品流动通道连接到所述公共腔室并被配置为供应第二化学品；第二阀，所述第二阀被配置为选择性地打开或关闭所述第二化学品流动通道；以及排出流动通道，所述排出流动通道被配置为与所述公共腔室连通，并将被引入所述公共腔室的第一化学品或第二化学品排出到所述主体的外部。2.根据权利要求1所述的歧管组件，其中，所述第一化学品流动通道包括：第一供应流动通道，所述第一供应流动通道设置在所述主体中并被配置为供应所述第一化学品；第一流入流动通道，所述第一流入流动通道设置在所述主体的侧向表面中，并被配置为与所述公共腔室连通；以及第一导向流动通道，所述第一导向流动通道设置在所述主体的侧向表面中，并被配置为与所述第一供应流动通道和第一流入流动通道连通，并将第一化学品引导至所述第一流入流动通道。3.根据权利要求2所述的歧管组件，其中，所述第一阀打开或关闭所述第一供应流动通道的出口或所述第一流入流动通道的入口。4.根据权利要求3所述的歧管组件，其中，所述第一供应流动通道包括：第一竖直流动通道，所述第一竖直流动通道设置在所述主体的上部表面中；以及第一水平流动通道，所述第一水平流动通道设置在所述第一导向流动通道的壁表面中，并被配置为与所述第一竖直流动通道连通，其中，所述第一水平流动通道的一端部限定所述第一供应流动通道在所述第一导向流动通道的壁表面中的出口，并且其中，所述第一流入流动通道的入口设置在所述第一导向流动通道的壁表面中。5.根据权利要求4所述的歧管组件，其中，所述第一阀包括：阀体，所述阀体设置成覆盖所述第一导向流动通道；缸构件，所述缸构件设置在所述阀体中，并被配置为能够在朝向和远离所述第一导向流动通道的壁表面的方向上直线移动；以及隔膜，所述隔膜被配置为选择性地通过被所述缸构件按压而与所述第一导向流动通道的壁表面紧密接触。6.根据权利要求2所述的歧管组件，...
【专利技术属性】
技术研发人员：元钟豪，宋勇益，李晋宇，尹炳春，
申请(专利权)人：系统科技公司，
类型：发明
国别省市：
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