本发明专利技术的目的在于提供一种化学制剂供应装置，引导公接头和母接头的中心轴线一致，进而公接头和母接头在没有由磕碰等引起的损坏的情况下在准确的位置的结合，进而可防止化学制剂泄漏。为了实现该目的，本发明专利技术包括：化学制剂用公接头(510)和化学制剂用母接头(210)，相互连接以供应化学制剂；及接头引导部，在所述化学制剂用公接头(510)结合于所述化学制剂用母接头(210)的情况下，引导所述化学制剂用公接头(510)的外周面，以使所述化学制剂用母接头(210)的中心轴线(C1)与所述化学制剂用公接头(510)的中心轴线(C2)一致。头(510)的中心轴线(C2)一致。头(510)的中心轴线(C2)一致。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】化学制剂供应装置
[0001]本专利技术涉及化学制剂供应装置，更详细地说，涉及使连接于用于供应化学制剂的软管的公接头和母接头在准确的位置相互结合以防止化学制剂泄漏的化学制剂供应装置。
技术介绍
[0002]通常，制造半导体、半导体装置、LCD、OLED的公司、制药公司及油漆公司等，使用有害化学物质的所有公司正在使用各种种类的化学制剂，而且安全供应这种化学制剂的方式也正在变得多种多样。
[0003]这种化学制剂通过如下的方式输送：从停在建筑外部的液罐车(tank lorry)的化学制剂罐向设置在建筑内部的化学制剂储罐(chemical storage tank)输送化学制剂，之后从化学制剂储罐向进行单位工艺的腔室输送。作为从所述液罐车向化学制剂储罐输送化学制剂的现有方法，工作人员一直以来使用了将化学制剂供应软管手动连接于接头的方法，对此将在以下进行详细说明。
[0004]在所述液罐车连接有用于供应化学制剂的化学制剂用软管和用于供应氮气的氮气用软管，在所述化学制剂用软管和氮气用软管的端部分别结合化学制剂用公接头(Male Connector)和氮气用公接头，在所述各个的公接头分别盖上用于密封开放的端部的盖(Cap)。另外，在所述化学制剂储罐侧分别具有用于分别插入所述化学制剂用软管的公接头和氮气用软管的公接头的化学制剂用母接头(Female Connector)和氮气用母接头。在所述化学制剂用母接头和氮气用母接头也分别盖上用于密封开放的端部的盖(Cap)。
[0005]操作人员从所述液罐车拉出化学制剂用软管和氮气用软管，并且将结合于化学制剂用公接头和氮气用公接头的盖及结合于化学制剂用母接头和氮气用母接头的盖打开。之后，将化学制剂用公接头结合于化学制剂用母接头，将氮气用公接头结合于氮气用母接头。
[0006]在如上所述，结合公接头和母接头的状态下，若通过氮气用软管将预定压力的氮气从配置在建筑内部的氮气储罐供应于氮气用软管，则液罐车内部的化学制剂通过氮气的压力通过化学制剂用软管输送至化学制剂储罐。
[0007]然而，根据如上所述的现有的方法，操作人员手动结合/拆分化学制剂用及氮气用接头，并供应预定压力的氮气，存在化学制剂泄漏到外部的可能性，在该情况下存在操作人员暴露在化学制剂中的问题。作为用于解决这种问题的现有技术，公开了韩国授权专利第10
‑
1572537号。
[0008]在所述授权专利第10
‑
1572537号中，在液罐车和化学制剂储罐之间具有称为ACQC单元(Automatic Clean Quick Coupler Unit)的化学制剂中继工具。在此，化学制剂储罐配置在普通建筑物内部，ACQC单元在位于建筑外部的液罐车的化学制剂罐和位于建筑内部的化学制剂储罐之间起到中介作用。
[0009]通过所述现有的ACQC单元将化学制剂用软管和氮气用软管分别安装在安装部，之后通过第一运送工具和第二运送工具直线移动所述化学制剂用软管和氮气用软管，进而在配置在ACQC单元的化学制剂用母接头和氮气用母接头分别连接化学制剂用软管和氮气用
软管的公接头。
[0010]如此，在连接化学制剂用公接头和母接头以及连接氮气用公接头和母接头的状态下通过所述ACQC单元将预定压力的氮气供应于液罐车的化学制剂罐，通过该供应氮气的压力排出化学制剂，进而通过化学制剂用软管储存于化学制剂储罐。
[0011]如上所述，在通过运送工具自动结合所述公接头和母接头的情况下，因为外部冲击等导致公接头的中心轴线和母接头的中心轴线不一致而出现偏移状态，在该情况下存在公接头未在正确位置结合于母接头的问题。
[0012]另外，在公接头由特氟龙等的合成树脂材料构成的情况下，在长时间使用时，可出现松弛现象，在该情况下可出现公接头未在准确位置结合于母接头的问题。
[0013]另外，若在公接头未坚固地固定在安装部上的状态下结合于母接头，则在公接头移动中产生晃动，导致公接头和母接头未在准确位置结合的问题。
[0014]另外，支撑公接头的多个凸缘部件通过螺栓和螺母等的紧固部件相互紧固，若在所述多个凸缘部件加工供紧固部件贯通的紧固孔时出现加工公差，这也是导致公接头和母接头无法在准确位置结合的因素。
[0015]另外，在公接头和母接头未在准确位置结合时，公接头可磕碰于母接头，因为该冲击也可损坏公接头、驱动部或者其他结构。其中，在公接头损坏的情况下，可泄漏化学制剂。对此，在操作人员手动将公接头结合于母接头的情况下也可能会出现这种问题。
技术实现思路
[0016]技术问题
[0017]本专利技术是为了解决上述的各种问题而提出的，目的在于提供一种化学制剂供应装置，引导公接头和母接头的中心轴线一致，进而公接头和母接头在没有由磕碰等引起的损坏的情况下在准确的位置结合，进而可防止化学制剂泄漏。
[0018]技术方案
[0019]用于实现如上所述的目的的本专利技术的化学制剂供应装置100包括：化学制剂用公接头510和化学制剂用母接头210，相互连接以供应化学制剂；及接头引导部，在所述化学制剂用公接头510结合于所述化学制剂用母接头210的情况下，引导所述化学制剂用公接头510的外周面，以使所述化学制剂用母接头210的中心轴线C1与所述化学制剂用公接头510的中心轴线C2一致。
[0020]所述接头引导部可以配置在所述化学制剂用公接头510结合于所述化学制剂用母接头210的位置侧。
[0021]所述接头引导部可以包括：引导面811、821，沿着所述化学制剂用公接头510结合于所述化学制剂用母接头210的方向朝向向心方向倾斜，以引导所述化学制剂用公接头510的外周面。
[0022]所述接头引导部还可以包括：第一外壳810，形成有用于引导所述化学制剂用公接头510的上部外周面的第一引导面811；第二外壳820构成，形成有用于引导所述化学制剂用公接头510的下部外周面的第二引导面821。
[0023]所述接头引导部可以包括：多个导轮930、950，为了引导所述化学制剂用公接头510的外周面而进行旋转。
[0024]所述多个导轮930、950可以包括：多个上部导轮930，为了引导所述化学制剂用公接头510的外周面上侧周围而彼此隔开；多个下部导轮950，为了引导所述化学制剂用公接头510的外周面下侧周围而彼此隔开。
[0025]所述化学制剂用公接头510可以与插入于接头插入孔522进行固定的安装凸缘520结合成一体，并且可以在与支撑所述化学制剂用公接头510的安装凸缘520隔开的一侧配备有用于支撑所述化学制剂用公接头510的颈部512的颈部支撑部160。
[0026]在所述颈部支撑部160的上部可以形成有安装槽161，所述安装槽161可以形成为与所述化学制剂用公接头510的颈部512的下部外周面相对应的形状，以安置所述颈部512的下部外周面。
[0027]所述化学制剂用公接头510可以与插入于接头插入孔522进行固本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种化学制剂供应装置，包括：化学制剂用公接头(510)和化学制剂用母接头(210)，相互连接以供应化学制剂；及接头引导部，在所述化学制剂用公接头(510)结合于所述化学制剂用母接头(210)的情况下，引导所述化学制剂用公接头(510)的外周面，以使所述化学制剂用母接头(210)的中心轴线(C1)与所述化学制剂用公接头(510)的中心轴线(C2)一致。2.根据权利要求1所述的化学制剂供应装置，其特征在于，所述接头引导部配置在所述化学制剂用公接头(510)结合于所述化学制剂用母接头(210)的位置侧。3.根据权利要求1所述的化学制剂供应装置，其特征在于，所述接头引导部包括：引导面(811、821)，沿着所述化学制剂用公接头(510)结合于所述化学制剂用母接头(210)的方向朝向向心方向倾斜，以引导所述化学制剂用公接头(510)的外周面。4.根据权利要求3所述的化学制剂供应装置，其特征在于，所述接头引导部还包括：第一外壳(810)，形成有用于引导所述化学制剂用公接头(510)的上部外周面的第一引导面(811)；第二外壳(820)构成，形成有用于引导所述化学制剂用公接头(510)的下部外周面的第二引导面(821)。5.根据权利要求1所述的化学制剂供应装置，其特征在于，所述接头引导部包括：多个导轮(930、950)，为了引导所述化学制剂用公接头(510)的外周面而进行旋转。6.根据权利要求5所述的化学制剂供应装置，其特征在于，所述多个导轮(930、950)包括：多个上部导轮(930)，为了引导所述化学制剂用公接头(510)的外周面上侧周围而彼此隔开；多个下部导轮(950)，为了引导所述化学制剂用公接头(510)的外周面下侧周围而彼此隔开。7.根据权利要求1所述的化学制剂供应装置，其特征在于，所述化学制剂用公接头(510)与插入于接头插入孔(522)进行固定的安装凸缘(520)结合成一体，并且在与支撑所述化学制剂用公接头(510)的安装凸缘(520)隔开的一侧配备有用于支撑所述化学制剂用公接头(510)的颈部(512)的颈部支撑部(160)。8.根据权利要求7所述的化学制剂供应装置，其特征在于，在所述颈部支撑部(160)的上部形成有安装槽(161)，所述安装槽(161)形成为与所述化学制剂用公接头(510)的颈部(512)的下部外周面相对应的形状，以...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋勇益，尹炳春，赵济东，崔鎭圭，蔡熙峯，
申请(专利权)人：系统科技公司，
类型：发明
国别省市：
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