用于供应化学制剂的锁定装置及具备此的化学制剂自动供应装置制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于提供一种化学品过滤器更换装置及更换方法，在化学品过滤器的更换中，防止化学物质泄漏到外部，将在更换化学品过滤器时可发生的事故危险最小化，实现装置体积的紧凑化，同时可减少更换化学品过滤器所需的工作工序数。用于实现该目的的本发明专利技术的化学品过滤器更换装置(1)，包括：过滤器组件安装部(300)，安装过滤器组件(2)，所述过滤器组件(2)包括待使用于过滤化学品的第一滤盒(10‑1)或者已使用于过滤化学品的第二滤盒(10‑2)、过滤器外壳(20)和过滤器头(30)，所述过滤器外壳(20)容纳所述第一滤盒(10‑1)或者第二滤盒(10‑2)并且所述过滤器外壳(20)和过滤器头(30)相互上下结合；及滤盒更换工具，在所述过滤器组件(2)安装在所述过滤器组件安装部(300)的状态下，从所述过滤器组件(2)分离所述过滤器外壳(20)，从所述过滤器组件(2)分离所述第二滤盒(10‑2)，之后所述第一滤盒(10‑1)结合于分离所述第二滤盒(10‑2)的过滤器组件(2)，如此将所述已分离的过滤器外壳(20)结合于所述过滤器组件(2)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于供应化学制剂的锁定装置及具备此的化学制剂自动供应装置
本专利技术涉及用于供应化学制剂的锁定装置及具备此的化学制剂自动供应装置，更详细地说，涉及防止化学制剂暴露并且可同时实现自动锁定及手动锁定的用于供应化学制剂的锁定装置及具备此的化学制剂自动供应装置。
技术介绍
通常，使用有害化学物质的所有公司，诸如制造半导体、半导体装置、LCD、OLED的公司和制药公司及油漆公司等正在使用各种化学制剂，而安全供应这种化学制剂的方式也正在变得多样化。这种化学制剂通过如下的方式供应，从停在建筑物外部的液罐车(tanklorry)的化学制剂储罐输送到设置在建筑物内部的化学制剂储罐(chemicalstoragetank)，之后从化学制剂储罐输送至进行单位工艺的腔室。作为从所述液罐车向化学制剂储罐输送化学制剂的现有方法，一直以来使用了由工作人员手动将化学制剂供应软管连接于接头的方法，对此以下将进行详细说明。在所述储液罐连接有用于供应化学制剂的化学制剂用软管和用于供应氮气的氮气用软管，在所述化学制剂用软管和氮气用软管的端部分别结合化学制剂用公接头(MaleConnector)和氮气用公接头，并且在所述各个公接头分别盖上用于密封该开放的端部的盖(Cap)。另外，在所述化学制剂储罐侧分别具有化学制剂用母接头(FemaleConnector)和氮气用母接头，以用于分别插入所述化学制剂用软管的公接头和氮气用软管的公接头。在所述化学制剂用母接头和氮气用母接头也分别盖上用于密封该开放的端部的盖(Cap)。>工作人员从所述液罐车拉出化学制剂用软管和氮气用软管，并将结合于化学制剂用公接头和氮气用公接头的盖、结合于化学制剂用母接头和氮气用母接头的盖分离。之后，将化学制剂用公接头结合于化学制剂用母接头，将氮气用公接头结合于氮气用母接头。如此，在结合母接头和公接头的状态下，若通过氮气用软管将预定压力的氮气从配置在建筑物内部的氮气储罐供应于液罐车，则液罐车内部的化学制剂因为氮气的压力而通过化学制剂用软管输送至化学制剂储罐。然而，通过如此的现有方法，工作人员手动结合/分离化学制剂用及氮气用接头，并且供应预定压力的氮气，据此存在可向外部暴露化学制剂的可能性，在该情况下存在工作人员可暴露于化学制剂的问题。作为用于解决这种问题的现有技术，公开了韩国授权专利第10-1572537号。在所述授权专利第10-1572537号中，在液罐车和化学制剂储罐之间配置有称为ACQC单元(AutomaticCleanQuickCouplerUnit)的化学制剂中继工具。在此，化学制剂储罐通常配置在建筑物内部，而ACQC单元则在位于建筑物外部的液罐车的化学制剂储罐和位于建筑物内部的化学制剂储罐之间起到中继的作用。通过上述现有的ACQC单元将化学制剂用软管和氮气用软管分别安装在安装部，之后通过第一输送工具和第二输送工具将所述化学制剂用软管和氮气用软管直线移动，分别在配置在ACQC单元的化学制剂用母接头和氮气用母接头分别连接化学制剂用软管和氮气用软管的公接头。如此，在连接化学制剂用公接头和母接头以及连接氮气用公接头和母接头的状态下，通过所述ACQC单元将预定压力的氮气供应于液罐车的化学制剂储罐，通过该供应的氮气的压力排出化学制剂，进而通过化学制剂用软管储存于化学制剂储罐。在该情况下，为了保持所述化学制剂用公接头和氮气用公接头分别结合于化学制剂用母接头和氮气用母接头的状态，配置有锁定单元。在所述锁定单元配置有偏心凸轮，以加紧公接头。所述偏心凸轮在一个母接头的一侧和另一侧配置有一对，为了驱动所述一对偏心凸轮，应配置有两个缸体，因此为了设置缸体需要很多的空间。韩国授权专利第10-1779493号中配置有固定单位，以保持化学制剂用公接头和化学制剂用母接头结合的状态。所述固定单元由以水平方向和垂直方向动作的第一卡合部件、第一卡合部件驱动部、第二卡合部件、第二卡合部件驱动部构成。在该情况下，第二卡合部件位于化学制剂用公接头的下部，在公接头和母接头的结合部因为未干燥或者漏液而掉落残留的化学制剂，则第二卡合部件及第二卡和部件驱动部被腐蚀等，进而导致发生损坏。另外，所述第一卡合部件从固定的一侧，即第一卡合部件驱动部分开，并且所述第二卡合部件也从固定的一侧，即第二卡合部件驱动部分开，若发生化学制剂用公接头或者化学制剂用母接头盖被推向后方的状况，则过大的力作用于所述第一卡合部件和第二卡合部件，因此在长时间使用时存在损坏的可能性。另外，在锁定单元故障的情况下，需要工作人员手动操作偏心凸轮加紧公接头。在该情况下，若在第一卡合部件和第二卡合部件在锁定位置的状态下出现故障，则难以将第一卡合部件和第二卡合部件移动至解除锁定的位置，因此难以手动供应化学制剂。应对这种情况，需要工作人员能够手动操作的锁定单元，但是如果增设可手动操作的锁定单元，则存在装置非常复杂并且在维护上需要大量的时间及成本的问题。另外，韩国授权技术第20-0201657号示出了手动操作的锁定单元，在处理上述自动操作的锁定单元以外增设手动操作的锁定单元的情况下，为了防止在手动操作锁定单元的情况下在锁定位置和锁定解除位置分别脱离原位置可发生的事故，使用用于固定位置的多个固定销，诸如固定杆，但是这需要使用人员逐一操作所述固定销，因此存在使工作变得繁琐的问题。
技术实现思路
技术问题本专利技术是为了解决上述的所有问题而提出的，提供一种用于供应化学制剂的锁定装置，可选择通过驱动部的驱动进行锁定的自动模式和使工作人员手动进行锁定的手动模式。本专利技术的另一目的在于，提供一种用于供应化学制剂的锁定装置，利用一个驱动部使两个锁定部同时锁定或者解除锁定，进而可将结构简单化。本专利技术的另一目的在于，提供如下的用于供应化学制剂的锁定装置：即使在公接头和母接头的连接部位出现化学制剂掉落，驱动部也不会受到影响，因此可防止驱动部的损坏。本专利技术的另一目的在于，提供如下的用于供应化学制剂的锁定装置：在驱动部出现故障的情况下，可使工作人员容易进行手动操作。技术方案用于达成上述的目的的本专利技术的用于供应化学制剂的锁定装置包括：驱动部，提供驱动力；第一锁定部330和第二锁定部340，分别在锁定位置和锁定解除位置之间进行位置变更，所述锁定位置为进行锁定对象的位置固定，所述锁定解除位置为使所述锁定对象能够移动；至少一个连接部件，用于将所述驱动部310的驱动力传递于所述第一锁定部330和第二锁定部340。所述第一锁定部330和第二锁定部340为以垂直方向为基准彼此相向地配置，并且分别接触于所述锁定对象的两侧，进而可进行锁定。所述第一锁定部330由第一锁定部件331和第一连接杆332构成，所述第一锁定部件331接触于所述锁定对象的一侧以处于锁定状态，所述第一连接杆332铰链连接于所述第二连接部件322的另一侧端部；所述第二锁定部340可由第二锁定部件341和第二连接杆342构成，所述第二锁定部件341接触于所述锁定对象的另一侧以处于锁本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于供应化学制剂的锁定装置，包括：/n驱动部，提供驱动力；/n第一锁定部(330)和第二锁定部(340)，分别在锁定位置和锁定解除位置之间进行位置变更，所述锁定位置为进行锁定对象的位置固定，所述锁定解除位置为使所述锁定对象能够移动；/n至少一个连接部件，用于将所述驱动部(310)的驱动力传递于所述第一锁定部(330)和第二锁定部(340)。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20181214 KR 10-2018-01623111.一种用于供应化学制剂的锁定装置，包括：
驱动部，提供驱动力；
第一锁定部(330)和第二锁定部(340)，分别在锁定位置和锁定解除位置之间进行位置变更，所述锁定位置为进行锁定对象的位置固定，所述锁定解除位置为使所述锁定对象能够移动；
至少一个连接部件，用于将所述驱动部(310)的驱动力传递于所述第一锁定部(330)和第二锁定部(340)。


2.根据权利要求1所述的用于供应化学制剂的锁定装置，其特征在于，
所述第一锁定部(330)和第二锁定部(340)为以垂直方向为基准彼此相向地配置，并且分别接触于所述锁定对象的两侧，进而进行锁定。


3.根据权利要求2所述的用于供应化学制剂的锁定装置，其特征在于，
所述第一锁定部(330)由第一锁定部件(331)和第一连接杆(332)构成，所述第一锁定部件(331)接触于所述锁定对象的一侧以处于锁定状态，所述第一连接杆(332)铰链连接于所述第二连接部件(322)的另一侧端部；
所述第二锁定部(340)由第二锁定部件(341)和第二连接杆(342)构成，所述第二锁定部件(341)接触于所述锁定对象的另一侧以处于锁定状态，所述第二连接杆(342)铰链连接于所述第三连接部件(323)的另一侧端部。


4.根据权利要求3所述的用于供应化学制剂的锁定装置，其特征在于，具有：
第二连接销(334)，形成有第一铰链轴(334c)和第一插入槽(334b)，所述第一铰链轴(334c)铰链连接于所述第二连接部件(322)，所述第一插入槽(334b)以垂直地方向形成在所述第一铰链轴(334c)并插入所述第一连接杆(332)；
第一结合部件(335)，覆盖插入所述第一连接杆(332)的所述第一插入槽(334b)的上部，以防止所述第一连接杆(332)从所述第一插入槽(334b)脱离；
第三连接销(344)，形成有第二铰链轴和第二插入槽，所述第二铰链轴铰链连接于所述第三连接部件(323)；所述第二插入槽以垂直方向形成在所述第二铰链轴并插入所述第二连接杆(342)；
第二结合部件(345)，覆盖插入所述第二连接杆(342)的所述第二插入槽的上部，用于防止所述第二连接杆(342)从所述第二插入槽脱离。


5.根据权利要求4所述的用于供应化学制剂的锁定装置，其特征在于，
所述第一连接杆(332)的端部与直径大于所述第一连接杆(332)的第一连接销结合部(333)形成一体；
所述第二连接杆(342)的端部与直径大于所述第二连接杆(342)的第二连接销结合部(343)形成一体；
所述第一连接销结合部(333)卡在所述第一结合部件(335)，以通过所述第一插入槽(334b)防止脱离；
所述第二连接销结合部(343)卡在所述第二结合部件(335)以防止从所述第二插入槽脱离。


6.根据权利要求1所述的用于供应化学制剂的锁定装置，其特征在于，还包括：
第一连接销(324)，通过所述驱动部进行直线运动；
所述至少一个连接部件由第二连接部件(322)和第三连接部件(323)构成，所述第二连接部件(322)和第三连接部件(323)通过所述第一连接销(324)的直线运动进行旋转运动。


7.根据权利要求6所述的用于供应化学制剂的锁定装置，其特征在于，
所述第一锁定部(330)和第二锁定部(340)分别为接触于所述锁定对象的一侧端部的固定的位置为旋转中心，
通过所述第二连接部件(322)和第三连接部件(323)的旋转运动，所述第一锁定部(330)和第二锁定部(340)以所述固定的位置为中心进行旋转，进而在所述锁定位置和锁定解除位置之间进行变更。


8.根据权利要求6所述的用于供应化学制剂的锁定装置，其特征在于，还包括：
第一连接部件(321)，通过所述驱动部以水平方向进行直线运动；
通过所述第一连接部件(321)的直线运动所述第一连接销(324)进行垂直方向的直线运动，通过所述第一连接销(324)的直线运动所述第二连接部件(322)和第三连接部件(323)进行旋转运动。


9.根据权利要求8所述的用于供应化学制剂的锁定装置，其特征在于，
在所述第一连接部件(321)形成有插槽(321a)，所述插槽(321a)具有针对水平方向倾斜的方向的长度；所述第一连接销(324)移动于所述插槽(321a)中的一侧和另一侧之间。


10.根据权利要求9所述的用于供应化学制剂的锁定装置，其特征在于，
在所述插槽(321a)的上侧端部以与水平方向并列的方向形成直线部(321b)，在所述第一锁定部(330)和第二锁定部(340)在锁定位置的情况下，所述第一连接销(324)位于所述直线部(321b)。


11.根据权利要求6所述的用于供应化学制剂的锁定装置，其特征在于，
所述第二连接部件(322)和第三连接部件(323)以垂直方向为基准彼此对称地进行旋转运动。


12.根据权利要求11所述的用于供应化学制剂的锁定装置，其特征在于，
所述第二连接部件(322)和第三连接部件(323)的一侧端部通过所述第一连接销(324)铰链连接；
在进行所述锁定位置和锁定解除位置之间的位置变更的情况下，所述第二连接部件(322)和第三连接部件(323)以所述第一连接销(324)为中心彼此对称地进行旋转运动。


13.根据权利要求6所述的用于供应化学制剂的锁定装置，其特征在于，
所述第一连接销(324)的直线运动被具有垂直方向的长度的引导部(350)引导。


14.根据权利要求6所述的用于供应...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋勇益，尹炳春，赵济东，蔡熙峯，崔鎭圭，金正坤，
申请(专利权)人：系统科技公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR