本实用新型属于领域，提供了一种晶圆盒夹取工装，包括：呈矩形阵列设置的四个卡槽件，在一侧的两个卡槽件外部、竖直设置的第一卡板，在矩形之间、与第一卡板相对设置的第二卡板，以及在另一侧的两个卡槽件的中部、且可横向弹性位移的压板；第一卡板内侧壁...

本实用新型属于晶圆技术领域，公开了一种晶圆旋转固定爪，包括晶圆支撑平台，晶圆支撑平台上均匀地开有若干个对称的活动槽，活动槽内安装有夹持机构；夹持机构包括安装在圆支撑平台底部的固定板和转动板，以及设置在固定板上的转动轴，转动板通过转动轴与...

本实用新型公开了一种晶圆清洗机自动升降倾斜进料机构，竖直升降机构设置在机架上，升降支架设置在竖直升降机构上由竖直升降机构驱动沿竖直方向升降，转动支架转动设置在升降支架上，倾斜板驱动机构设置在转动支架上，倾斜板的一侧铰接在升降支架上，倾斜...

本发明公开了一种气动隔膜阀，包含阀体，阀体下端设置有阀门出口，阀体一侧设置有阀门进口且阀门进口垂直于阀门出口设置，阀门出口上端与圆柱容腔下端连接，阀门进口一端与圆柱容腔一侧连接，阀芯沿竖直方向滑动设置在阀门出口上端且阀芯的直径与阀门出口...

本实用新型属于晶圆上下料领域，提供了一种自动导片上料机构，适用于晶圆甩干机的上料，包括：机架，横向排列在机架上、且可纵向位移的多个第一晶圆托篮，在机架上、并与第一晶圆托篮并排的第二晶圆托篮，在第一晶圆托篮和第二晶圆托篮上的抱片机构，在抱...

本实用新型属于半导体清洗工艺技术领域，公开了一种带有晶圆旋转机构的BOE槽，一种带有晶圆旋转机构的BOE槽，包括外壳，外壳底部设有底座，底座上固定有用于带动晶圆转动的旋转机构，旋转机构内侧设有用于限位放置花篮的花篮支架，旋转机构包括设置...

本发明属于晶圆加工设备领域，提供了一种托篮转换装置，包括：两个导料设备，两个导料设备配合使用，导料设备包括：带动托篮上下的位移机构，在托篮进出料侧的输送机构，在托篮下侧、用于监测托篮内晶圆的两个第一传感器，以及与第一传感器、位移机构和输...

本实用新型属于领域，提供了一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构，连接于伸缩机构上、用于夹取花篮，包括：对称设置、且可实现张闭的两个夹持机构，以及连接在伸缩机构上、用于带动夹持机构张闭的动力机构；动力机构包括：用于连接夹持机构的两个传动杆，连接...

本实用新型公开了一种气动隔膜阀，包含阀体，阀体下端设置有阀门出口，阀体一侧设置有阀门进口且阀门进口垂直于阀门出口设置，阀门出口上端与圆柱容腔下端连接，阀门进口一端与圆柱容腔一侧连接，阀芯沿竖直方向滑动设置在阀门出口上端且阀芯的直径与阀门...

本实用新型属于阀门检测技术领域，公开了一种阀门测试平台，包括壳体，壳体内设有测试平台，测试平台下方设置有管路系统，测试平台一侧设有若干根与测温管道连接的进水管道，另一侧设有连通至水箱的若干根出水管道，测试平台上方设有控制柜，测试平台包括...

本发明涉及智能制造技术领域，且公开了一种晶圆去胶机及其使用方法，包括主轨道，主轨道安装于去胶机若干清洗舱顶部，所述主轨道的底部活动安装有吊滑块，吊滑块的底部设置有升降机构，升降机构的活动部固定连接有搬送机构，搬送机构包括设置用于跟随移动...

本实用新型属于阀门领域，提供了一种气液双通隔膜阀，包括：第一阀体，连接在第一阀体内的第一阀芯，与第一阀体连通的第二阀体，以及连接在第二阀体内的第二阀芯，第一阀体内设有通过第一阀芯位移实现连通或闭合的进液口和气液出口，第二阀体内开设有通过...

本发明涉及隔膜阀技术领域，且公开了一种耐腐蚀隔膜阀，包括阀块，阀块的两侧分别固定连接有进水管和出水管，进水管和出水管位于阀块的内部连通，进水管位于阀块的内部的进水口竖直设计，进水管的内顶部设计有平面环形顶口，进水管和出水管通过平面环形顶...

本实用新型属于晶圆清洗设备领域，公开了一种腐蚀液体加料小推车，包括底板，底板的下方设有若干个行走轮，底板上方设有箱体，箱体内限位放置有存液桶，存液桶上方在箱体的表面设有出液口，存液桶和出液口之间设有液泵，并通过管子相连，本实用新型的优点...

本实用新型公开了一种晶圆甩干机自动移门，包含门板、移门门体、锁门气缸、滑块、导轨和竖直气缸，移门门体固定在门板内侧，门板的两侧与锁门气缸连接由锁门气缸驱动沿水平方向移动，锁门气缸固定在滑块上，导轨竖直设置，滑块滑动设置在导轨上，滑块与竖...

本发明属于阀门检测技术领域，公开了一种阀门测试平台，包括壳体，壳体内设有测试平台，测试平台下方设置有管路系统，测试平台一侧设有若干根与测温管道连接的进水管道，另一侧设有连通至水箱的若干根出水管道，测试平台上方设有控制柜，测试平台包括托板...

本实用新型公开了一种三联两相阀门，包括第一阀体，第二阀体与第三阀体，第一阀通气道板，设置于所述第一阀体与所述第二阀体的下方，且所述第一阀体与所述第二阀体通过所述第一阀通气道板上开设的第四通道以及第五通道与下方第三阀通气道板中开设的第六通...

本实用新型公开了一种适应多种尺寸晶圆的导片夹持装置，包含平行开闭型气爪、连接件和晶圆夹持机构，两个连接件分别固定在平行开闭型气爪的两侧爪体上，一组晶圆夹持机构可拆卸设置在一个连接件上，另一组晶圆夹持机构可拆卸设置在另一个连接件上，两组晶...

本发明公开了一种一体化隔膜阀加工平台，包含平台板、纵向驱动机构、横向驱动机构、若干隔膜阀夹具和隔膜阀夹具径向驱动机构，平台板设置在纵向驱动机构上由纵向驱动机构驱动沿水平面纵向移动，纵向驱动机构设置在横向驱动机构上由横向驱动机构驱动沿水平...

本发明公开了一种具有平衡效果的隔膜阀及其制造方法，包括阀体、驱动组件、推杆、阀杆和隔膜片；阀体为竖直设置的三通状结构，且其两端水平设置；在阀体的水平部分竖直设有隔板，并通过隔板左右分割成第一腔体和第二腔体；推杆同轴心套接在阀体的竖直部分...