一种自动导片上料机构制造技术

本实用新型专利技术属于晶圆上下料领域，提供了一种自动导片上料机构，适用于晶圆甩干机的上料，包括：机架，横向排列在机架上、且可纵向位移的多个第一晶圆托篮，在机架上、并与第一晶圆托篮并排的第二晶圆托篮，在第一晶圆托篮和第二晶圆托篮上的抱片机构，在抱片机构正下方、且可上下位移的举片机构，移动连接于机架、用于监测第二晶圆托篮上晶圆的监测机构，以及在机架上位移、用于将第二晶圆托篮送入晶圆甩干机内的气爪机构。本实用新型专利技术的自动导片上料机构，通过机械化实现晶圆的上下料，传输稳定，避免了人工搬运，降低人员成本的同时，降低了因人工操作导致晶圆破损、污染的风险。污染的风险。污染的风险。

【技术实现步骤摘要】
一种自动导片上料机构


[0001]本技术涉及晶圆上下料领域，尤其涉及一种自动导片上料机构。

技术介绍

[0002]目前，在湿法清洗工序中，需要先由工人利用晶圆导片机构，将一个晶圆拖篮内的晶圆片取出放置到另一专用的晶圆托篮内，然后将新的拖篮放置到晶圆清洗机构中；清洗之后，由人工取出，放入导片机构中，换回原来的拖篮里，进行下一道工序。
[0003]这会导致以下几个问题，首先需要人工搬，会因为工人操作的失误导致晶圆的破损、污染，造成重大损失；其次，人工进行所有的流程大概需要一个小时，就需要至少一个工人全程跟踪，费时费力。

技术实现思路

[0004]本技术的一种自动导片上料机构，用于解决
技术介绍
中晶圆在湿法清洗工序中自动化上下料的技术问题。
[0005]本技术提供的技术方案如下：一种自动导片上料机构，适用于晶圆甩干机的上料，包括：机架，横向排列在机架上、且可纵向位移的多个第一晶圆托篮，在机架上、并与第一晶圆托篮并排的第二晶圆托篮，在第一晶圆托篮和第二晶圆托篮上的抱片机构，在抱片机构正下方、且可上下位移的举片机构，移动连接于机架上、用于监测第二晶圆托篮内晶圆的监测机构，以及在机架上位移、用于将第二晶圆托篮送入晶圆甩干机内的气爪机构；
[0006]机架上连接有、用于气爪机构上下位移的第四丝杆机构，第四丝杆机构上连接有、用于气爪机构倾斜上料的抬升机构，连接于抬升机构和气爪机构之间、用于纵向位移的第五丝杆机构。
[0007]进一步的，抱片机构通过第一丝杆机构实现横向位移；抱片机构包括：与第一丝杆机构连接的第一抱片支架，连接于第一抱片支架顶部的第二抱片支架，以及连接于第二抱片支架顶部的抱片机构本体。
[0008]进一步的，举片机构通过第二丝杆机构连接于第一抱片支架上；举片机构包括：与第二丝杆机构连接的第一举片支架，竖直连接于第一举片支架上的第二举片支架，以及连接于第二举片支架顶部的举片机构本体。
[0009]进一步的，第一晶圆托篮通过第三丝杆机构连接于机架上，第一晶圆托篮包括：连接于第三丝杆机构上的第一托篮支架，以及插接在第一托篮支架上的第一托篮本体。
[0010]进一步的，第二晶圆托篮包括：连接于机架上的第二托篮支架，以及插接在第二托篮支架上的第二托篮本体。
[0011]进一步的，监测机构通过十字滑动机构连接于机架上，监测机构包括：光电传感器，以及竖直连接于十字滑动机构上、用于连接光电传感器的监测支架。
[0012]进一步的，抬升机构包括：连接于第五丝杆机构底部前后两侧位置的两组轴接机构，以及与一侧轴接机构连接的、用于上下位移的第六丝杆机构。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014](1)本技术的自动导片上料机构，通过机械化实现晶圆的上下料，传输稳定，避免了人工搬运，降低人员成本的同时，降低了因人工操作导致晶圆的破损、污染的风险。
[0015](2)本技术的自动导片上料机构，通过设置抱片机构和举片机构的配合，使晶圆在传输换位时更为便捷，且避免了人员的触碰，避免了污染的风险。
[0016](3)本技术的自动导片上料机构，通过设置第四丝杆机构、抬升机构和第五丝杆机构的配合，使气爪机构在上下料时，与清洗甩干设备的进料口更为契合，从而保证上下料的稳定，避免晶圆摆放不规范导致破损的风险。
附图说明
[0017]图1是本技术自动导片上料机构的整体结构示意图；
[0018]图2是本技术自动导片上料机构的后视图；
[0019]图3是本技术自动导片上料机构的右视图；
[0020]图4是本技术自动导片上料机构的俯视图；
[0021]图5是本技术图4中A
‑
A的剖视图；
[0022]图6是本技术自动导片上料机构的主视图；
[0023]图7是本技术自动导片上料机构的左视图；
[0024]图8是本技术中第一托篮本体的结构示意图。
[0025]附图标记如下：1、机架，2、第一丝杆机构，21、第一滑轨，22、第一滑块，23、第一丝杆，24、第一丝杆螺母，25、第一电机，3、抱片机构，31、第一抱片支架，32、第二抱片支架，33、抱片机构本体，4、第二丝杆机构，41、第二滑轨，42、第二滑块，43、第二丝杆，44、第二丝杆螺母，45、第二电机，5、第一晶圆托篮，51、第一托篮支架，52、第一托篮本体，6、举片机构，61、第一举片支架， 62、第二举片支架，63、举片机构本体，7、第二晶圆托篮，71、第二托篮支架，72、第二托篮本体，8、监测机构，81、光电传感器， 82、监测支架，9、第四丝杆机构，91、第四滑轨，92、第四滑块， 93、第四丝杆，94、第四电机，10、抬升机构，101、框架，102、第六丝杆，1021、第六电机，103、第六丝杆螺母，104、限位板，105、支撑柱， 106、第一轴接座，107、第一连接件，108、连接板，109、第二轴接座，110、第二连接件，11、第五丝杆机构，111、倾斜平台，112、第五滑轨，113、第五滑块，114、第五丝杆，115、第五丝杆螺母， 116、第五电机，117、第二气爪支架，12、气爪机构，121、平行开闭型气爪，122、第一气爪支架，13、第三丝杆机构，131、第三滑轨， 132、第三滑块，133、第三丝杆，134、第三丝杆螺母，135、第三电机，14、十字滑动机构，141、第六滑轨，142、移动板，143、气缸， 144、第七滑轨，145、第七丝杆，146、第七丝杆螺母，147、第七电机。
具体实施方式
[0026]以下结合附图和实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0027]如图1
‑
8所示，本技术是一种自动导片上料机构，适用于晶圆甩干机的上料，包括：机架1，横向排列在机架1上、且可纵向位移的多个第一晶圆托篮5，在机架1上、并与第一晶圆托篮5并排的第二晶圆托篮7，在第一晶圆托篮5和第二晶圆托篮7上的抱片机构 3，
在抱片机构3正下方、且可上下位移的举片机构6，移动连接于机架1上、用于监测第二晶圆托篮7内晶圆的监测机构8，以及在机架1上位移、用于将第二晶圆托篮7送入晶圆甩干机内的气爪机构 12；
[0028]机架1上连接有、用于气爪机构12上下位移的第四丝杆机构9，第四丝杆机构9上连接有、用于气爪机构12倾斜上料的抬升机构10，连接于抬升机构10和气爪机构12之间、用于纵向位移的第五丝杆机构11。
[0029]本实施例的机架1外部包覆有钣金，用于设备防护。
[0030]如图2所示，抱片机构3通过第一丝杆机构2实现横向位移；抱片机构3包括：与第一丝杆机构2连接的第一抱片支架31，连接于第一抱片支架31顶部的第二抱片支架32，以及连接于第二抱片支架 32顶部的抱片机构本体33。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动导片上料机构，适用于晶圆甩干机的上料，其特征在于，包括：机架(1)，横向排列在所述机架(1)上、且可纵向位移的多个第一晶圆托篮(5)，在所述机架(1)上、并与所述第一晶圆托篮(5)并排的第二晶圆托篮(7)，在所述第一晶圆托篮(5)和所述第二晶圆托篮(7)上的抱片机构(3)，在所述抱片机构(3)正下方、且可上下位移的举片机构(6)，移动连接于所述机架(1)上、用于监测所述第二晶圆托篮(7)内晶圆的监测机构(8)，以及在所述机架(1)上位移、用于将所述第二晶圆托篮(7)送入晶圆甩干机内的气爪机构(12)；所述机架(1)上连接有、用于所述气爪机构(12)上下位移的第四丝杆机构(9)，所述第四丝杆机构(9)上连接有、用于所述气爪机构(12)倾斜上料的抬升机构(10)，连接于所述抬升机构(10)和所述气爪机构(12)之间、用于纵向位移的第五丝杆机构(11)。2.如权利要求1所述的一种自动导片上料机构，其特征在于，抱片机构(3)通过第一丝杆机构(2)实现横向位移；所述抱片机构(3)包括：与所述第一丝杆机构(2)连接的第一抱片支架(31)，连接于所述第一抱片支架(31)顶部的第二抱片支架(32)，以及连接于所述第二抱片支架(32)顶部的抱片机构本体(33)。3.如权利要求2所述的一种自动导片上料机构，其特征在于，所述举片机构(6)通过第二丝杆机构(...

【专利技术属性】
技术研发人员：金志刚，陶朝清，袁诗雯，
申请(专利权)人：谷微半导体科技江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：