一种晶圆盒夹取工装制造技术

本实用新型专利技术属于领域，提供了一种晶圆盒夹取工装，包括：呈矩形阵列设置的四个卡槽件，在一侧的两个卡槽件外部、竖直设置的第一卡板，在矩形之间、与第一卡板相对设置的第二卡板，以及在另一侧的两个卡槽件的中部、且可横向弹性位移的压板；第一卡板内侧壁上设有第一凸起和第二凸起。本实用新型专利技术的一种晶圆盒夹取工装，用于解决清洗设备夹取工装适配性单一的技术问题。术问题。术问题。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆盒夹取工装


[0001]本技术涉及晶圆设备领域，尤其涉及一种晶圆盒夹取工装。

技术介绍

[0002]晶圆盒在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，为了简化运输和尽可能降低被污染的风险，芯片制造商利用晶圆盒来搬运和储存晶圆。
[0003]在晶圆的生产刻蚀过程中，产生的副产物往往会沉积在晶圆背面的边缘，从而污染到晶圆盒，因此，通常会对晶圆盒进行清洗。
[0004]晶圆盒现有的规格有很多，通常有立式和花篮式，现有的清洗设备大都匹配花篮式的夹取工装，通用性不强。

技术实现思路

[0005]本技术的一种晶圆盒夹取工装，用于解决
技术介绍
中清洗设备夹取工装适配性单一的技术问题。
[0006]本技术提供的技术方案如下：一种晶圆盒夹取工装，包括：呈矩形阵列设置的四个卡槽件，在一侧的两个卡槽件外部、竖直设置的第一卡板，在矩形之间、与第一卡板相对设置的第二卡板，以及在另一侧的两个卡槽件的中部、且可横向弹性位移的压板；第一卡板内侧壁上设有第一凸起和第二凸起。
[0007]进一步的，还包括：框架，以及连接在框架上的多个安装杆。
[0008]进一步的，纵向的两个卡槽件底部连接有第一支撑板，第一支撑板下侧设有与安装杆连接的第一连接部。
[0009]进一步的，第二卡板底部连接有第二支撑板，第二支撑板下侧连接有与安装杆连接的第二连接部。
[0010]进一步的，第二支撑板上两侧相对设置有两个L型的卡件，一侧的卡件上延伸有限位部。
[0011]进一步的，第一支撑板中部连接有滑动座，滑动座内滑动连接有两个滑杆，滑杆的端部连接有压板，滑杆上、于滑动座和压板之间套接有弹簧。
[0012]进一步的，第一卡板连接于框架一内侧壁上。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]本技术的晶圆盒夹取工装，通过设置呈矩形阵列设置的四个卡槽件，用于适配立式的晶圆盒，当立式晶圆盒卡设在四个卡槽内后，通过压板抵住立式晶圆盒的一侧，使其夹取更为稳定。
[0015]本技术的晶圆盒夹取工装，通过设置第一卡板和第二卡板，用于适配花篮式晶圆盒，同时，与卡槽件错开，使其适配性更强。
附图说明
[0016]图1是本技术晶圆盒夹取工装的整体结构示意图；
[0017]图2是本技术中局部部件的结构示意图；
[0018]图3是本技术中立式晶圆盒安装结构示意图；
[0019]图4是本技术中立式晶圆盒安装剖视图；
[0020]图5是本技术中花篮式晶圆盒安装结构示意图。
[0021]附图标记如下：1、框架，11、安装杆，2、第一支撑板，21、第一连接部，3、第一卡板，31、第一凸起，32、第二凸起，4、第二支撑板，41、第二连接部，5、卡件，51、限位部，61、滑动座，62、滑杆，63、压板，64、弹簧，7、第二卡板，8、卡槽件，100、立式晶圆盒，200、花篮式晶圆盒。
具体实施方式
[0022]以下结合附图和实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0023]如图1
‑
5所示，本技术是一种晶圆盒夹取工装，包括：呈矩形阵列设置的四个卡槽件8，在一侧的两个卡槽件8外部、竖直设置的第一卡板3，在矩形之间、与第一卡板3相对设置的第二卡板7，以及在另一侧的两个卡槽件8的中部、且可横向弹性位移的压板63；第一卡板3内侧壁上设有第一凸起31和第二凸起32。
[0024]本实施例的一个夹取工装上一次仅能安装一个晶圆盒，可根据实际情况安装多组夹取工装。
[0025]如图4所示，本实施例的卡槽件8的形成的矩形尺寸A*B为289*325.5cm，本实施例的立式晶圆盒100的外部最大尺寸为278.5*278.5cm。
[0026]具体的，如图3所示，立式晶圆盒100放置时，先将立式晶圆盒100的一侧边倾斜后放入至一侧的卡槽件8的卡槽内，再将另一侧边放入至另一侧的卡槽件8的卡槽内，同时，推开压板63，当立式晶圆盒100放置完成后，再松开压板63，利用其弹性复位、抵住立式晶圆盒100，使其立式晶圆盒100与第一卡板3抵住，其中第二卡板7被罩在立式晶圆盒100内。
[0027]具体的，立式晶圆盒100通过插入一侧的卡槽件8的卡槽内、一提，下侧边再向另一侧的卡槽件8的卡槽内、一拉，即可完成安装，安装简单、快捷，且横向再通过弹性的压板63将其抵住，使其固定更为稳定，适配性更高。
[0028]本实施例的第二卡板7如图2所示，为兔耳状，不仅可以匹配花篮式晶圆盒200侧壁上的卡槽内，同时，可以在立式晶圆盒100安装时被罩在其内部，不会引起干涉。
[0029]具体的，如图5所示，花篮式晶圆盒200安装时，花篮式晶圆盒200一侧壁倾斜后，先卡接在第一凸起31和第二凸起32之间，另一侧壁在插接到第二卡板7上。
[0030]进一步的，还包括：框架1，以及连接在框架1上的多个安装杆11。
[0031]具体的，框架1的数量可根据清洗机内的实际尺寸进行设计，本实施例中，框架1为2件。
[0032]本实施例的框架1呈竖直安装于清洗机内，可随清洗机的工作进行旋转，使其内夹取的晶圆盒进行清洗。
[0033]进一步的，纵向的两个卡槽件8底部连接有第一支撑板2，第一支撑板2下侧设有与
安装杆11连接的第一连接部21。
[0034]本实施例的第一支撑板2用于连接纵向的两个卡槽件8，同时通过第一连接部21与框架1上的安装杆11连接。
[0035]本实施例的第一连接部21为卡箍结构，可通过螺纹件与安装杆11进行固定。
[0036]进一步的，第二卡板7底部连接有第二支撑板4，第二支撑板4下侧连接有与安装杆11连接的第二连接部41。
[0037]进一步的，第二支撑板4上两侧相对设置有两个L型的卡件5，一侧的卡件5上延伸有限位部51。
[0038]本实施例的卡件5和限位部51用于在立式晶圆盒100的中部位置对其进行限位，使其连接更为稳定，可以避免其发生较大偏移。
[0039]本实施例的第二支撑板4用于连接卡件5和第二卡板7，同时通过第二连接部41与框架1上的安装杆11连接。
[0040]本实施例的第二连接部41为卡箍结构，可通过螺纹件与安装杆11进行固定。
[0041]进一步的，第一支撑板2中部连接有滑动座61，滑动座61内滑动连接有两个滑杆62，滑杆62的端部连接有压板63，滑杆62上、于滑动座61和压板63之间套接有弹簧64。
[0042]具体的，松弛状态下，压板63在弹簧64的作用下，凸在卡槽件8内侧、干涉立式晶圆盒100的安装；因此，在立式晶圆盒100安装时，需要先将压板63推开，当立式晶圆盒100完全卡接在四个卡槽件8内时，松开压板63即可，压板63在弹簧64的张力下抵住立式本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒夹取工装，其特征在于，包括：呈矩形阵列设置的四个卡槽件（8），在一侧的两个所述卡槽件（8）外部、竖直设置的第一卡板（3），在矩形之间、与所述第一卡板（3）相对设置的第二卡板（7），以及在另一侧的两个所述卡槽件（8）的中部、且可横向弹性位移的压板（63）；所述第一卡板（3）内侧壁上设有第一凸起（31）和第二凸起（32）。2.如权利要求1所述的一种晶圆盒夹取工装，其特征在于，还包括：框架（1），以及连接在所述框架（1）上的多个安装杆（11）。3.如权利要求2所述的一种晶圆盒夹取工装，其特征在于，纵向的两个所述卡槽件（8）底部连接有第一支撑板（2），所述第一支撑板（2）下侧设有与所述安装杆（11）连接的第一连接部（21）。4.如权利要求2所述的一种晶圆盒夹取工装，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：高林飞，
申请(专利权)人：谷微半导体科技江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：