一种晶圆清洗机自动升降倾斜进料机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆清洗机自动升降倾斜进料机构，竖直升降机构设置在机架上，升降支架设置在竖直升降机构上由竖直升降机构驱动沿竖直方向升降，转动支架转动设置在升降支架上，倾斜板驱动机构设置在转动支架上，倾斜板的一侧铰接在升降支架上，倾斜板的另一侧设置在倾斜板驱动机构上由倾斜板驱动机构驱动沿铰点倾斜翻转，夹具平移机构设置在倾斜板上，夹具支架设置在夹具平移机构上由夹具平移机构驱动沿倾斜板上侧横向移动，晶圆夹具设置在夹具支架上。本实用新型专利技术实现了晶圆清洗机的自动进料，操作效率高且不易出错，节约了企业成本。业成本。业成本。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆清洗机自动升降倾斜进料机构


[0001]本技术涉及一种进料机构，特别是一种晶圆清洗机自动升降倾斜进料机构，属于晶圆清洗


技术介绍

[0002]目前晶圆清洗机的进料主要依靠人工进行，人工将晶圆框放置到晶圆清洗机中清洗，操作的效率比较低下，而且一旦操作失误，则一筐晶圆直接报废，会造成巨大的损失。因此，有必要开发一种能够自动将晶圆装入清洗机中进行清洗的进料系统，以实现晶圆倾斜进料的自动化。待清洗的晶圆是放置在晶圆框内，上料时需要将晶圆框内的晶圆整体取出然后自动放置到清洗机内，由于清洗机的进料口是向上倾斜的，然而晶圆取料机构只能够进行晶圆的水平取料，因此如何将晶圆取料放置到进料机构的夹具内后，还要放置到倾斜的清洗机入口内是目前需要解决的技术问题。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题是提供一种晶圆清洗机自动升降倾斜进料机构，实现对晶圆的水平取料并将晶圆倾斜送入清洗机内。
[0004]为解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案是：
[0005]一种晶圆清洗机自动升降倾斜进料机构，其特征在于：包含机架、竖直升降机构、升降支架、倾斜板、倾斜板驱动机构、转动支架、晶圆夹具、夹具支架和夹具平移机构，竖直升降机构设置在机架上，升降支架设置在竖直升降机构上由竖直升降机构驱动沿竖直方向升降，转动支架转动设置在升降支架上，倾斜板驱动机构设置在转动支架上，倾斜板的一侧铰接在升降支架上，倾斜板的另一侧设置在倾斜板驱动机构上由倾斜板驱动机构驱动沿铰点倾斜翻转，夹具平移机构设置在倾斜板上，夹具支架设置在夹具平移机构上由夹具平移机构驱动沿倾斜板上侧横向移动，晶圆夹具设置在夹具支架上。
[0006]进一步地，所述竖直升降机构包含竖直螺杆、两根竖直轨道、竖直驱动电机和竖直电机支架，竖直螺杆沿竖直方向转动设置在机架侧面并且竖直螺杆的下端与竖直驱动电机连接由竖直驱动电机驱动旋转，竖直驱动电机固定在竖直电机支架上，竖直电机支架垂直固定在机架下侧，两根竖直轨道竖直固定在竖直螺杆两侧的机架上，升降支架滑动设置在两根竖直轨道上，升降支架通过螺母套设在竖直螺杆上与竖直螺杆螺纹连接。
[0007]进一步地，所述竖直驱动电机与竖直螺杆下端通过皮带传动，竖直驱动电机的底面上开有腰圆孔，竖直电机支架上侧开有与竖直驱动电机腰圆孔对应的螺孔，螺栓穿过竖直驱动电机的腰圆孔并旋紧固定在竖直电机支架的螺孔内。
[0008]进一步地，所述倾斜板驱动机构包含驱动螺杆、螺杆驱动电机、滑板、两根驱动杆和连接板，驱动螺杆沿竖直方向设置并且转动设置在转动支架内，驱动螺杆的下端与螺杆驱动电机连接由螺杆驱动电机驱动旋转，滑板通过螺母套设在驱动螺杆上与驱动螺杆螺纹连接，两根驱动杆竖直固定在滑板上侧两端，升降支架上侧对对应两根驱动杆位置开有供
驱动杆穿过的腰圆孔，连接板固定在两根驱动杆上端，倾斜板的另一侧铰接在连接板上。
[0009]进一步地，所述升降支架的上侧面的前后两侧设置有向下延伸的侧板，转动支架的上端两侧通过转轴转动设置在升降支架的前后侧板上。
[0010]进一步地，所述晶圆夹具包含第一夹板、第二夹板和平行开闭气缸，第一夹板固定在平行开闭气缸的一侧驱动板上，第二夹板固定在平行开闭气缸的另一侧驱动板上，第一夹板和第二夹板对称设置在平行开闭气缸两侧并且第一夹板和第二夹板内侧开有用于夹持晶圆的弧形凹槽，平行开闭气缸与夹具支架的一端侧面连接。
[0011]进一步地，所述平行开闭气缸通过一根转轴转动设置在夹具支架一端的侧面，夹具支架上在转轴的外侧设置有若干个沿转轴周向设置的腰圆孔，平行开闭气缸侧面开有与夹具支架上腰圆孔位置一一对应的螺纹孔，螺栓穿过夹具支架上的腰圆孔并旋紧固定在平行开闭气缸的螺纹孔内。
[0012]进一步地，所述夹具平移机构包含齿条、齿轮、齿轮驱动电机、两根平移轨道，齿条沿倾斜板的长度方向固定在倾斜板的上侧，两根平移轨道平行于齿条设置并固定在齿条两侧的倾斜板上，夹具支架另一端的下侧面滑动设置在两根平移轨道上，齿轮设置在齿轮驱动电机上由齿轮驱动电机驱动旋转，齿轮驱动电机固定在夹具支架内侧，齿轮位于夹具支架下侧且与齿条相互啮合。
[0013]进一步地，所述平行开闭气缸面向晶圆清洗机的一侧侧面的中间位置设置有一个压力传感器。
[0014]本技术与现有技术相比，具有以下优点和效果：本技术的晶圆清洗机自动升降倾斜进料机构通过晶圆夹具将顶升机构从晶圆框顶出的晶圆夹持固定后，向上抬升至清洗机的进料口，然后倾斜板驱动使晶圆夹具翻转至与清洗机进料口倾斜度一致，然后将晶圆倾斜送入清洗机内，实现了晶圆清洗机的自动进料，操作效率高且不易出错，节约了企业成本。
附图说明
[0015]图1是本技术的一种晶圆清洗机自动升降倾斜进料机构的示意图。
[0016]图2是本技术的竖直升降机构的示意图。
[0017]图3是本技术的倾斜板驱动机构的示意图。
[0018]图4是本技术的夹具平移机构的示意图。
具体实施方式
[0019]为了详细阐述本技术为达到预定技术目的而所采取的技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清晰、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的部分实施例，而不是全部的实施例，并且，在不付出创造性劳动的前提下，本技术的实施例中的技术手段或技术特征可以替换，下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0020]如图1所示，本技术的一种晶圆清洗机自动升降倾斜进料机构，包含机架1、竖直升降机构2、升降支架3、倾斜板4、倾斜板驱动机构5、转动支架6、晶圆夹具7、夹具支架8和夹具平移机构9。机架1为竖直面板且机架1固定在晶圆清洗机底座支架上。竖直升降机构2
设置在机架1上，升降支架3设置在竖直升降机构2上由竖直升降机构2驱动沿竖直方向升降，转动支架6转动设置在升降支架3上，倾斜板驱动机构5设置在转动支架6上，倾斜板4的一侧铰接在升降支架3上，倾斜板6的另一侧设置在倾斜板驱动机构5上由倾斜板驱动机构5驱动沿铰点倾斜翻转，夹具平移机构9设置在倾斜板4上，夹具支架8设置在夹具平移机构9上由夹具平移机构驱动9沿倾斜板4上侧横向移动，晶圆夹具7设置在夹具支架8上。工作的时候，将装满晶圆的晶圆框放置在工作平台上，顶升机构从晶圆框下侧将晶圆框内的晶圆向上顶出并上升至晶圆夹具7位置，晶圆夹具7将顶升机构顶出的晶圆夹持取料，然后竖直升降机构2驱动升降支架3上升使晶圆夹具8到达晶圆清洗机的进口位置，然后倾斜板驱动机构5驱动倾斜板4翻转倾斜从而使得晶圆夹具8的倾斜角度与晶圆清洗机的进口的倾斜角度相同，此时，夹具平移机构9驱动将晶圆夹具7倾斜送入到晶圆清洗机的进口内进行清洗。
[0021]如图2所示，竖直升降机构2包含竖直螺杆10、两根竖直轨道11、竖直驱动电机12和竖直电机支架13，竖直螺杆10沿竖直方向转动设置在机架1侧面并且竖直螺杆10的下端与竖直驱本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆清洗机自动升降倾斜进料机构，其特征在于：包含机架、竖直升降机构、升降支架、倾斜板、倾斜板驱动机构、转动支架、晶圆夹具、夹具支架和夹具平移机构，竖直升降机构设置在机架上，升降支架设置在竖直升降机构上由竖直升降机构驱动沿竖直方向升降，转动支架转动设置在升降支架上，倾斜板驱动机构设置在转动支架上，倾斜板的一侧铰接在升降支架上，倾斜板的另一侧设置在倾斜板驱动机构上由倾斜板驱动机构驱动沿铰点倾斜翻转，夹具平移机构设置在倾斜板上，夹具支架设置在夹具平移机构上由夹具平移机构驱动沿倾斜板上侧横向移动，晶圆夹具设置在夹具支架上。2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗机自动升降倾斜进料机构，其特征在于：所述竖直升降机构包含竖直螺杆、两根竖直轨道、竖直驱动电机和竖直电机支架，竖直螺杆沿竖直方向转动设置在机架侧面并且竖直螺杆的下端与竖直驱动电机连接由竖直驱动电机驱动旋转，竖直驱动电机固定在竖直电机支架上，竖直电机支架垂直固定在机架下侧，两根竖直轨道竖直固定在竖直螺杆两侧的机架上，升降支架滑动设置在两根竖直轨道上，升降支架通过螺母套设在竖直螺杆上与竖直螺杆螺纹连接。3.根据权利要求2所述的一种晶圆清洗机自动升降倾斜进料机构，其特征在于：所述竖直驱动电机与竖直螺杆下端通过皮带传动，竖直驱动电机的底面上开有腰圆孔，竖直电机支架上侧开有与竖直驱动电机腰圆孔对应的螺孔，螺栓穿过竖直驱动电机的腰圆孔并旋紧固定在竖直电机支架的螺孔内。4.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗机自动升降倾斜进料机构，其特征在于：所述倾斜板驱动机构包含驱动螺杆、螺杆驱动电机、滑板、两根驱动杆和连接板，驱动螺杆沿竖直方向设置并且转动设置在转动支架内，驱动螺杆的下端与螺杆驱动电机连接由螺杆驱动电机驱动旋转，滑板通过螺母套设在驱动螺杆上与驱动螺杆螺纹连接，两根驱动杆竖直...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶朝清，金志刚，徐槿尧，袁诗雯，
申请(专利权)人：谷微半导体科技江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：