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本实用新型公开了一种晶圆清洗机自动升降倾斜进料机构，竖直升降机构设置在机架上，升降支架设置在竖直升降机构上由竖直升降机构驱动沿竖直方向升降，转动支架转动设置在升降支架上，倾斜板驱动机构设置在转动支架上，倾斜板的一侧铰接在升降支架上，倾斜板的...
该专利属于谷微半导体科技（江苏）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过谷微半导体科技（江苏）有限公司授权不得商用。

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