一种三联两相阀门制造技术

本实用新型专利技术公开了一种三联两相阀门，包括第一阀体，第二阀体与第三阀体，第一阀通气道板，设置于所述第一阀体与所述第二阀体的下方，且所述第一阀体与所述第二阀体通过所述第一阀通气道板上开设的第四通道以及第五通道与下方第三阀通气道板中开设的第六通道以及第八通道相连通，所述第三阀体通过第二阀通气道板中的第七通道与所述第三阀通气道板的第九通道相连通。该装置相较于现有的两组阀门需要使用的四个阀体和四个控制阀，成本更低，同时本装置结构简单，不易损坏，在与外部连接时，可以减少漏气的风险。可以减少漏气的风险。可以减少漏气的风险。

【技术实现步骤摘要】
一种三联两相阀门


[0001]本技术涉及阀门的
，尤其涉及一种三联两相阀门。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
[0003]加工后的晶圆通常需要晶圆冲洗甩干设备对其进行清洗处理，现有的晶圆冲洗甩干设备的清洗工艺环节是：1、冲洗；2、电阻率监控；3、吹净；4、烘干。流程结束后，需要向纯水的管道通入氮气，将管道的水汽去除干净，防止产生水渍，影响后期纯水清洗的质量。
[0004]传统的阀门需要用到两组组合阀门，一组阀门控制纯水；一组阀门控制氮气并且能控制氮气通入纯水阀门，而两组阀门需要四个阀体和四个控制阀，造成单个的阀门成本较高，成本投入也较大，同时因为存在两组阀体，需要多接多条管线，造成阀门的结构较为复杂，在连接的时候，会增加漏气的风险。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种三联两相阀门。
[0006]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种三联两相阀门，包括第一阀体，第二阀体与第三阀体；
[0007]第一阀通气道板，设置于所述第一阀体与所述第二阀体的下方，且所述第一阀体与所述第二阀体通过所述第一阀通气道板上开设的第四通道以及第五通道与下方第三阀通气道板中开设的第六通道以及第八通道相连通；
[0008]所述第三阀体通过第二阀通气道板中的第七通道与所述第三阀通气道板的第九通道相连通。
[0009]进一步地，所述第一阀通气道板的内部还设置有第三通道，且所述第三通道与所述第四通道以及所述第五通道相连通。
[0010]进一步地，所述第二阀通气道板内部开设有与第一通道相连通的第二通道。
[0011]进一步地，所述第六通道与所述第九通道分别社会在所述第三阀通气道板的两端。
[0012]进一步地，所述第七通道与所述第八通道均与所述第九通道相连通。
[0013]进一步地，所述第一阀通气道板与所述第二阀通气道板相互独立。
[0014]进一步地，所述第一通道，所述第四通道以及所述第五通道的内径相同。
[0015]进一步地，所述第一阀体，所述第二阀体以及所述第三阀体通过螺栓与下方的阀通气道板相连接，且两者之间设置有密封圈。
[0016]进一步地，所述第二通道与所述第三通道处于第三阀通气道板的同侧。
[0017]进一步地，所述第二通道与所述第三通道处于第三阀通气道板的不同侧。
[0018]本技术具有如下有益效果：
[0019]1、本技术通过各个阀体与阀通气道板的组合使用，减少了阀组和控制阀的使用，简化了晶圆甩干机的结构，同时本装置只需要三个阀体以及三个阀通气道板，相较于现有的两组阀门需要使用的四个阀体和四个控制阀，成本更低，同时本装置结构简单，不易损坏，在与外部连接时，可以减少漏气的风险。
附图说明
[0020]图1为本技术提出的一种三联两相阀门的主视图；
[0021]图2为本技术提出的一种三联两相阀门的后侧剖视图；
[0022]图3为本技术提出的一种三联两相阀门的第二阀通气道板的示意图；
[0023]图4为本技术提出的一种三联两相阀门的第一阀通气道板的俯视图。
[0024]图例说明：
[0025]1、第一阀体；2、第二阀体；3、第三阀体；4、第一阀通气道板；5、第二阀通气道板；6、第三阀通气道板；7、第一通道；8、第二通道；9、第三通道；10、第四通道；11、第五通道；12、第六通道；13、第七通道；14、第八通道；15、第九通道。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0028]参照图1
‑
图4，本技术提供的一种实施例：一种三联两相阀门，包括第一阀体1，第二阀体2与第三阀体3；
[0029]第一阀通气道板4，设置于第一阀体1与第二阀体2的下方，且第一阀体1与第二阀体2通过第一阀通气道板4上开设的第四通道10以及第五通道11与下方第三阀通气道板6中开设的第六通道12以及第八通道14相连通；
[0030]第三阀体3通过第二阀通气道板5中的第七通道13与第三阀通气道板6的第九通道15相连通。
[0031]根据上述技术方案，该阀在工作时，第一阀体1打开第一通道7，第八通道14、第六
通道12关闭，纯水从第二通道8进入，从第九通道15出来，进入腔体，冲洗晶圆，在冲洗结束后，控制第三阀体3将第七通道13关闭，第一阀体1将第六通道12关闭，控制第二阀体2将第八通道14打开，氮气从第三通道9进入后从第九通道15及后续管道里的参与纯水冲干净，然后控制第一阀体1将第六通道12打开，控制第二阀体2将第八通道14关闭，第三阀体将第七通道12关闭，氮气从第三通道9进入从第六通道12出来，而第六通道12与放置晶圆的腔室相连通，从而使氮气吹入到腔室中，将晶圆上的以及其余杂质吹干。
[0032]本装置相较于现有的阀体，通过各个阀体与阀通气道板的组合使用，减少了阀组和控制阀的使用，简化了晶圆甩干机的结构，同时本装置只需要三个阀体以及三个阀通气道板，相较于现有的两组阀门需要使用的四个阀体和四个控制阀，成本更低，同时本装置结构简单，不易损坏，在与外部连接时，可以减少漏气的风险。
[0033]进一步地，第一阀通气道板4的内部还设置有第三通道9，且第三通道9与第四通道10以及第五通道11相连通。
[0034]进一步地，第二阀通气道板5内部开设有与第一通道7相连通的第二通道8。
[0035]进一步地，第六通道12与第九通道15分别社会在第三阀通气道板6的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种三联两相阀门，其特征在于：包括第一阀体(1)，第二阀体(2)与第三阀体(3)；第一阀通气道板(4)，设置于所述第一阀体(1)与所述第二阀体(2)的下方，且所述第一阀体(1)与所述第二阀体(2)通过所述第一阀通气道板(4)上开设的第四通道(10)以及第五通道(11)与下方第三阀通气道板(6)中开设的第六通道(12)以及第八通道(14)相连通；所述第三阀体(3)通过第二阀通气道板(5)中的第七通道(13)与所述第三阀通气道板(6)的第九通道(15)相连通。2.根据权利要求1所述的一种三联两相阀门，其特征在于：所述第一阀通气道板(4)的内部还设置有第三通道(9)，且所述第三通道(9)与所述第四通道(10)以及所述第五通道(11)相连通。3.根据权利要求2所述的一种三联两相阀门，其特征在于：所述第二阀通气道板(5)内部开设有与第一通道(7)相连通的第二通道(8)。4.根据权利要求1所述的一种三联两相阀门，其特征在于：所述第六通道(12)与所述第九通...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶朝清，
申请(专利权)人：谷微半导体科技江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：