本发明属于晶圆加工设备技术领域，具体涉及一种晶圆冲洗甩干机及清洗甩干方法。本发明提供了一种晶圆冲洗甩干机，包括至少一个功能模块和结构组件所述功能模块包括腔体、腔门、所述腔体和腔门相对设置，所述腔体的表面设置有伺服电机、喷水装置、加热装置...

本实用新型公开了一种自动出料型晶圆冲洗真空干燥机，包括：固定腔体、转子、晶圆盒、伺服电机和取料机构，固定腔体包括氮气干燥装置、喷水装置、抽真空机构和静电消除器，氮气干燥装置设于腔体上的氮气喷口，喷水装置设于腔体上的喷水口，抽真空机构与腔...

本实用新型公开了一种防止二次污染的安全型晶圆盒自动出料机构，包括：固定腔体、转子、晶圆盒、伺服电机和至少一个取料机构，所述转子设于固定腔体的内部，所述晶圆盒设于转子内，所述伺服电机设于固定腔体的一侧，且所述伺服电机的输出端与转子连接，所...

本实用新型公开了一种防护型晶圆冲洗真空干燥机，包括：腔体，所述腔体上设有氮气干燥装置、喷水装置、抽真空机构和静电消除器，所述氮气干燥装置设于腔体上的氮气喷口，所述喷水装置设于腔体上的喷水口，所述抽真空机构与腔体的抽气口连接，所述静电消除...

本实用新型公开了一种抗干扰型晶圆旋转冲洗甩干设备，包括：基座、腔体支座、一组腔体支架、腔体、外壳、控制装置、显示屏和伺服电机，基座设于外壳内，腔体支座设于基座上，腔体设于腔体支座上方，腔体支架一侧与腔体支座连接，另一侧与腔体连接，伺服电...

本实用新型公开了本实用新型提供了一种高精度、稳定型晶圆旋转冲洗甩干设备，包括：基座、腔体支座、一组腔体支架、腔体和伺服电机，所述腔体支座设于基座上，所述腔体设于腔体支座的上方，且所述腔体支架一侧与腔体支座连接，另一侧与腔体连接，所述伺服...

本实用新型公开了一种多腔模块化晶圆旋转冲洗甩干设备，包括：至少一个腔体、至少一个腔体外壳和底座，所述腔体设于腔体外壳内部，所述腔体外壳设于底座上。本实用新型中所述的一种多腔模块化晶圆旋转冲洗甩干设备，其结构简单、设计合理、易于生产，通过...

本实用新型公开了本实用新型提供了一种晶圆旋转冲洗甩干设备，包括：腔体、腔体外壳、底座和伺服电机，所述腔体通过支架设于腔体外壳内，所述腔体外壳设于底座的上方，所述伺服电机设于腔体的一侧，且所述伺服电机的输出端与腔体内的晶圆支架连接。本实用...

本实用新型涉及半导体清洗设备领域，具体为一种晶圆去胶机便于安装的滤芯，包括滤芯本体、铰链、顶盖和固定块，所述固定块的一侧开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内部活动连接有螺栓组件，所述顶盖的内壁开设有卡接球槽，所述顶盖的内部活动连接有第一连接头，...

本实用新型涉及联锁装置技术领域，具体为一种晶圆去胶机的联锁机构，包括操作台本体、控制灯、显示屏本体和功能块、保护圈和凹槽，所述操作台本体的内底壁设置有支撑板，所述支撑板的顶端固定连接有第一操作筒本体，所述第一操作筒本体的表面设置有左卡扣...

本实用新型公开了一种SST外置式转速辅助检测系统，包括马达和接近开关，所述马达的输出轴固定连接有转轴，所述转轴的外侧固定安装有强磁铁，所述接近开关的外侧设置有电源线一。该SST外置式转速辅助检测系统，启动马达，马达带动转轴转动，通过强磁...

本实用新型公开了一种组合式塑料隔膜阀，包括阀通气道板，所述阀通气道板的左上端设置有阀体，所述阀通气道板的内部位于第二密封活塞的上端设置有第二活塞杆，所述阀通气道板的内部位于第二活塞杆的上端设置有第二阀活塞，所述气罐活塞与气罐阀体之间设置...

本实用新型涉及半导体晶片处理技术领域，具体为一种晶圆去胶机触摸屏控制防护机构，包括装置本体，所述装置本体包括机体，所述机体的底端连接有底座，所述机体的外表面固定连接有屏幕，所述机体的外表面固定连接有防护结构，所述防护结构包括连接槽，所述...

本实用新型涉及半导体晶圆处理技术领域，具体为一种具有稳定支撑机构的晶圆去胶机，包括主体和操作面板，所述主体包括机架，所述机架的表面通过合页活动连接有封板，所述机架的表面固定连接有操作面板，所述机架的外侧表面固定连接有腔门，所述机架的内侧...

本实用新型属于晶圆清洗甩干设备领域，具体涉及一种晶圆冲洗甩干机的密封预紧机构。本实用新型提供了一种晶圆冲洗甩干机的密封预紧机构，包括基板、门板、旋转组件、密封组件；所述基板和所述门板通过所述旋转组件活动连接；所述密封组件和所述门板固定连...