一种多腔模块化晶圆旋转冲洗甩干设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多腔模块化晶圆旋转冲洗甩干设备，包括：至少一个腔体、至少一个腔体外壳和底座，所述腔体设于腔体外壳内部，所述腔体外壳设于底座上。本实用新型专利技术中所述的一种多腔模块化晶圆旋转冲洗甩干设备，其结构简单、设计合理、易于生产，通过将腔体、腔体外壳和底座分为三个模块，让其能够根据用户对于腔体个数的需要对其进行组装，形成单腔或者多腔结构，降低了改设备的制作难度和投入成本，让用户有更多的选择空间，从而让其能够更好的满足客户的需要。满足客户的需要。满足客户的需要。

【技术实现步骤摘要】
一种多腔模块化晶圆旋转冲洗甩干设备


[0001]本技术属于晶圆加工
，特别涉及一种多腔模块化晶圆旋转冲洗甩干设备。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
[0003]加工后的晶圆通常需要对其表面清洗，现有的晶圆冲洗甩干设备通常为单腔或者双腔，无论是单腔还是双腔的设备其支架和外壳需要分别设计和生产。设计生产成本加大。且在后期使用的过程中，用户无法根据实际的需要选择单腔或者双腔，用户选用不灵活，买了双腔的想变成单腔的变不了。买了双腔的想变成单腔的同样变不了，从而导致企业的生产设备的投入增加；
[0004]与此同时，现有的双腔设备在使用过程中其大多都是需要同步工作的，然而在实际的使用过程中，可能只需要使用一个腔体，这就会导致资源的浪费，因而现有的晶圆冲洗甩干设备有待于提高。

技术实现思路

[0005]技术目的：为了克服以上不足，本技术的目的是提供一种多本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多腔模块化晶圆旋转冲洗甩干设备，其特征在于：包括：至少一个腔体（1）、至少一个腔体外壳（2）和底座（3），所述腔体（1）设于腔体外壳（2）内部，所述腔体外壳（2）设于底座（3）上。2.根据权利要求1所述的多腔模块化晶圆旋转冲洗甩干设备，其特征在于：所述腔体外壳（2）包括第一腔体外壳（201）和第二腔体外壳（202），所述第一腔体外壳（201）和第二腔体外壳（202）呈上、下设置；且所述第一腔体外壳（201）和第二腔体外壳（202）均包括背板（21）、盖板（22）、一组侧板（23）、一组支撑架（24）和一组用于安装腔体（1）的支撑座（25），所述背板（21）和盖板（22）相对设置，所述侧板（23）设于背板（21）和盖板（22）的两侧，所述支撑架（24）设于腔体外壳（2）的四个角上，所述支撑座（25）的两侧与支撑架（24）连接，所述腔体（1）下方的支架（5）设于支撑座（25）上；所述盖板（22）上设有开口，开口处设有门板（221）。3.根据权利要求2所述的多腔模块化晶圆旋转冲洗甩干设备，其特征在于：所述腔体（1）包括第一腔体（101）和第二腔体（102），所述第一腔体（101）和第二腔体（102）分别通过支架（5）与第一腔体外壳（201）和第二腔体外壳（202）内的支撑座（25）连接；所述第一腔体（101）和第二腔体（102）的一端均与伺服电机（4）连接，且所述第一腔体（101）和第二腔体（102）的上均设有喷水装置（6）、加热装置（7）和静电消除器（8）。4.根据权利要求3所述的多腔模块化晶圆旋转冲洗甩干设备，其特征在于：所述喷水装置（6）通过安装座与第一腔体（101）和第二腔体（102）连接，所述喷水装置（6）与水管（9）连接，且所述喷水装置（6）的一端设有一组PFA接头（62），所述PFA接头（62）与水管（9）的连接处设有第一气动阀（61），且所述水管（9）远离喷水装置（6）的一端设有一组分支管道；所述分支管道包括第一分支管道和第二分支管道，所述第一分支管道上设有压力传感器，所述第二分支管道上设有第二气动阀（63），所述第二气动阀（63）通过固定架与腔体（1）连接，且位于第二气动阀（63）的下方设有分气块（64），所述分气块（64）的一侧设有压力传感器；所述加热装置（7）的一端设有过滤器（71）和第三气动阀（72）。5.根据权利要求3所述的多腔模块化晶圆旋转冲洗甩干设备，其特征在于：还包括电磁阀（10），所述电磁阀（10）通过电磁阀安装支架（11）与腔体（1）连接，所述电磁阀安装支架（11）包括支撑箱架（111）和辅助支架（112），所述支撑箱架（111）一端固定于腔体（1）上，所述辅助支架（112）一端与支撑箱架（111）连接，另一端与喷水装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：涂辉，
申请(专利权)人：谷微半导体科技江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：