一种晶圆冲洗甩干机的密封预紧机构制造技术

本实用新型专利技术属于晶圆清洗甩干设备领域，具体涉及一种晶圆冲洗甩干机的密封预紧机构。本实用新型专利技术提供了一种晶圆冲洗甩干机的密封预紧机构，包括基板、门板、旋转组件、密封组件；所述基板和所述门板通过所述旋转组件活动连接；所述密封组件和所述门板固定连接。本实用新型专利技术提供的一种晶圆冲洗甩干机的密封预紧机构，采用全新的进气方式对晶圆冲洗甩干机进行密封，改变了目前广泛采用的从门轴进气的方式，而是将SMC的标准旋转快插接头安装到门上，不影响转动的同时保证通入密封圈的压缩空气正常流通。本实用新型专利技术采用的全新进气结构，减少零件数量，降低加工难度，遇到故障可以直接采购标准件降低维修难度，极大降低了晶圆冲洗甩干机的制造难度和制造成本。的制造难度和制造成本。的制造难度和制造成本。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆冲洗甩干机的密封预紧机构


[0001]本技术属于晶圆清洗甩干设备领域，具体涉及一种晶圆冲洗甩干机的密封预紧机构。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的电子元器件产品。在集成电路加工工艺中，对晶圆进行清洗是其中比较重要的一个步骤流程，这是因为在化学工艺制程之后会有一些残留或微尘落在晶圆表面，如果此种尘粒缺陷(P/D，Particle Defect)不及时去除，会严重影响良率。湿法清洗工艺是晶圆较为常用的清洗工艺，该清洗工艺完成后需要对晶圆进行干燥，晶圆冲洗甩干机用于将潮湿的晶圆通过旋转及干燥使晶圆表面干燥。为了提高干燥洁净效果，业内采用往密封的甩干机筒体内通入洁净氮气，使设备具有强制干燥功能，晶圆在甩干的同时，附加氮气干燥作用，彻底去除晶圆表面的尘粒，让晶圆表面干燥。
[0003]因此，甩干机筒体的密封性显得尤为重要，直接影响到晶圆的干燥效果和最终的产品质量。现有的晶圆冲洗甩干设备的门处有个密封圈，关闭门后要通入本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆冲洗甩干机的密封预紧机构，其特征在于，包括基板(1)、门板(2)、旋转组件(3)、密封组件(4)；所述基板(1)和所述门板(2)通过所述旋转组件(3)活动连接；所述密封组件(4)和所述门板(2)固定连接。2.根据权利要求1所述的晶圆冲洗甩干机的密封预紧机构，其特征在于，所述密封组件(4)包括安装块(401)、旋转快插接头(402)、密封圈(403)，所述安装块和所述门板(2)固定连接，所述旋转快插接头(402)和所述安装块(401)固定连接，所述安装块(401)内部设置有通气孔道(4011)，所述通气孔道(4011)连接所述旋转快插接头(402)和所述密封圈(403)。3.根据权利要求1或2所述的晶圆冲洗甩干机的密封预紧机构，其特征在于，所述旋转组件(3)包括门轴安装座(301)和门轴(302)，所述门轴(302)的两端分别插入所述门轴安装座(301)和所述门板(2)，所述门轴(302)分别和所述门轴安装座(301)和所述门板(2)转动连接。4.根据权利要求3所述的晶圆冲洗甩干机的密封预紧机构，其特征在于，所述门轴(302)的轴心和所述旋转快插接头(402)的旋转轴心重合。5.根据权利要求3所述的晶圆冲...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈双宇，涂辉，
申请(专利权)人：谷微半导体科技江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：