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本实用新型属于晶圆清洗甩干设备领域，具体涉及一种晶圆冲洗甩干机的密封预紧机构。本实用新型提供了一种晶圆冲洗甩干机的密封预紧机构，包括基板、门板、旋转组件、密封组件；所述基板和所述门板通过所述旋转组件活动连接；所述密封组件和所述门板固定连接。...
该专利属于谷微半导体科技（江苏）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过谷微半导体科技（江苏）有限公司授权不得商用。

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