一种基板位置检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种基板位置检测装置，该基板位置检测装置包括滚轮、摆杆、磁块、导接部、第一回路、第二回路，所述摆杆的一端连接所述滚轮，其另一端连接所述磁块，所述导接部镂空套设在所述摆杆上，所述第一回路连接所述导接部，包括第一信号灯和信号处理器，所述第二回路置于所述磁块下方，包括第二信号灯、线圈和信号处理器。本实用新型专利技术提供的基板位置检测装置，基板运动带动摆杆和磁块摆动，所述摆杆与导接部相接触，第一回路导通，第一信号灯亮起，所述磁块摆动切割磁感线产生电场，第二回路导通，第二信号灯亮起，可根据信号灯的亮灭快速判断装置异常区域，单一回路出现异常机台仍可正常工作，有效提高产能。有效提高产能。有效提高产能。

【技术实现步骤摘要】
一种基板位置检测装置


[0001]本技术涉及显示
，且特别是涉及一种基板位置检测装置。

技术介绍

[0002]通常，在制造液晶显示面板或OLED的过程中，需要在反应腔内对基板进行清洗蚀刻等处理，当基板被传送至反应腔内时，需要对基板的位置进行检测，来判断基板是否达到指定位置。传统的清洗或蚀刻设备中采用磁性摆锤和磁力开关设备，当有基板在磁性摆锤上方走过时，磁性摆锤与磁力开关产生夹角，磁力开关闭合，检测到此处有基板。当磁性摆锤或磁力开关出现异常时，均会使回路失效，导致机台停机，且不能快速判断磁性摆锤和磁力开关哪个区域出现异常，需要全部进行更换清理，增加人力成本，造成机台产能损失。
[0003]图1为现有技术中基板位置检测装置无基板流过时的结构示意图，图2为现有技术中基板位置检测装置基板流过时的结构示意图，结合图1和图2所示，基板位置检测装置包括滚轮61
’
、磁性摆锤51、磁力开关52和信号处理器68
’
，磁力开关52位于磁性摆锤51的下方，且磁力开关52连接有信号处理器68
>’
。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板位置检测装置，其特征在于，包括摇摆组件、第一回路和第二回路；所述摇摆组件包括滚轮、摆杆、磁块，所述摆杆一端连接所述滚轮，所述摆杆另一端连接所述磁块；所述第一回路包括导接部，所述导接部为内部镂空结构，套设于所述摆杆上；所述第二回路包括线圈，所述线圈设置在所述磁块下方，所述第一回路和所述第二回路中设置有提醒组件以及信号处理器，所述信号处理器用于接收电压信号。2.根据权利要求1所述的基板位置检测装置，其特征在于，所述摆杆包括主体部和分体部，所述主体部的一端连接所述滚轮，所述主体部的另一端连接所述分体部，所述分体部的一端连接所述主体部，所述分体部的另一端连接所述磁块。3.根据权利要求2所述的基板位置检测装置，其特征在于，所述导接部为金属材料。4.根据权利要求3所述的基板位...

【专利技术属性】
技术研发人员：李雷，
申请(专利权)人：昆山龙腾光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：