一种高精度、稳定型晶圆旋转冲洗甩干设备制造技术

本实用新型专利技术公开了本实用新型专利技术提供了一种高精度、稳定型晶圆旋转冲洗甩干设备，包括：基座、腔体支座、一组腔体支架、腔体和伺服电机，所述腔体支座设于基座上，所述腔体设于腔体支座的上方，且所述腔体支架一侧与腔体支座连接，另一侧与腔体连接，所述伺服电机设于腔体的一侧，并通过一组电机连接架与腔体支座连接。本实用新型专利技术中所述的一种高精度、稳定型晶圆旋转冲洗甩干设备，其结构简单、设计合理、易于生产，通过伺服电机代替普通电机，用伺服电机的制动功能取代气缸凸轮制动功能，取消制动气缸、凸轮、外置编码器和读取齿盘，降低产品的成本，提高装配效率和维修性能，同时也提高了改设备工作的稳定性，降低晶圆加工的破损率。降低晶圆加工的破损率。降低晶圆加工的破损率。

【技术实现步骤摘要】
一种高精度、稳定型晶圆旋转冲洗甩干设备


[0001]本技术属于晶圆加工
，特别涉及一种高精度、稳定型晶圆旋转冲洗甩干设备。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
[0003]加工后的晶圆通常需要对其表面清洗。现有的晶圆冲洗甩干设备往往采用外置编码器，通过读取齿盘的刻度，反馈腔体的旋转方向，转速。帮助制动系统将腔体停止在预定位置，而其在使用的过程中，容易存在以下问题：
[0004]1，编码器容易受到外界环境干扰。油污，电磁场等影响工作精度；
[0005]2，编码器安装需要定制非标支架。非标产品成本比较高；
[0006]3，配做齿盘，和安装齿盘的涨套等。这些都是非标定制，成本比较高；
[0007]4，非标件安装对工人技术水平的要求比较高。会增加人力成本。和维修难度。
[0008]与此同时，现有的晶圆冲洗甩干设备大多采用普通的电机和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高精度、稳定型晶圆旋转冲洗甩干设备，其特征在于：包括：基座（1）、腔体支座（2）、一组腔体支架（3）、腔体（4）和伺服电机（5），所述腔体支座（2）设于基座（1）上，所述腔体（4）设于腔体支座（2）的上方，且所述腔体支架（3）一侧与腔体支座（2）连接，另一侧与腔体（4）连接，所述伺服电机（5）设于腔体（4）的一侧，并通过一组电机连接架（51）与腔体支座（2）连接。2.根据权利要求1所述的高精度、稳定型晶圆旋转冲洗甩干设备，其特征在于：还包括喷水装置（6）、加热装置（7）和静电消除器（8），所述喷水装置（6）通过安装座与腔体（4）连接，且所述喷水装置（6）与水管（9）连接，所述加热装置（7）两端与腔体（4）连接，所述静电消除器（8）设于腔体（4）的表面。3.根据权利要求2所述的高精度、稳定型晶圆旋转冲洗甩干设备，其特征在于：所述喷水装置（6）靠近水管（9）的一侧设有第一气动阀（62），且所述喷水装置（6）通过一组PFA接头与第一气动阀（62）连接，所述水管（9）远离喷水装置（6）的一端设有一组分支管道（63）；所述加热装置（7）的一端设有过滤器（71）和第三气动阀（72）。4.根据权利要求3所述的高精度、稳定型晶圆旋转冲洗甩干设备，其特征在于：所述分支管道（63）包括第一分支管道和第二分支管道，所述第一分支管道上设有压力传感器（631），所述第二分支管道上设有第二气动阀（632），所述第二气动阀（632）通过固定架与腔体（4）连接，且位于第二气动阀（632）的下方设有分气块（633），所述分气块（633）的一侧设有压力传感器（631）。5.根据权利要求1所述的高精度、稳定型晶圆旋转冲洗甩干设备，其特征在于：还包括电磁阀（10），所述电磁阀（10）通过电磁阀安装支架（11）与腔体（4）连接；所述电磁阀安装支架（11）包括支撑箱架（111）和辅助支架（112）...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈双宇，涂辉，
申请(专利权)人：谷微半导体科技江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：