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本实用新型公开了本实用新型提供了一种高精度、稳定型晶圆旋转冲洗甩干设备，包括：基座、腔体支座、一组腔体支架、腔体和伺服电机，所述腔体支座设于基座上，所述腔体设于腔体支座的上方，且所述腔体支架一侧与腔体支座连接，另一侧与腔体连接，所述伺服电机...
该专利属于谷微半导体科技（江苏）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过谷微半导体科技（江苏）有限公司授权不得商用。

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