一种腐蚀液体加料小推车制造技术

本实用新型专利技术属于晶圆清洗设备领域，公开了一种腐蚀液体加料小推车，包括底板，底板的下方设有若干个行走轮，底板上方设有箱体，箱体内限位放置有存液桶，存液桶上方在箱体的表面设有出液口，存液桶和出液口之间设有液泵，并通过管子相连，本实用新型专利技术的优点是，通过液泵和调压开关阀的设置，存液桶可以通过小推车对晶圆清洗机清洗液储存装置直接进行自动加料，通过小推车底板上限位块和存液桶底部的凹槽的配合，使存液桶在移动的过程中不会在小推车上随意移动，防止在给晶圆清洗机清洗液储存装置发生意外，威胁生产安全。威胁生产安全。威胁生产安全。

【技术实现步骤摘要】
一种腐蚀液体加料小推车


[0001]本技术属于晶圆清洗设备领域，具体涉及一种腐蚀液体加料小推车。

技术介绍

[0002]在半导体芯片的制造过程中，由于集成电路内各元件及连线相当微细，因此制造过程中，如果遭到尘粒、金属的污染，很容易造成晶片内电路功能的损坏，形成短路或断路等，导致集成电路的失效以及影响几何特征的形成。
[0003]因此，在制作过程中除了要排除外界的污染源外，集成电路制造步骤如高温扩散、离子植入前等均需要进行湿法清洗或干法清洗工作。干、湿法清洗工作是在不破坏晶圆表面特性及电特性的前提下，有效地使用化学溶液或气体清除残留在晶圆上之微尘、金属离子及有机物之杂质。
[0004]其中，有机物杂质在IC制程中以多种形式存在，如人的皮肤油脂、净化室空气、机械油、硅树脂真空脂、光致抗蚀剂、清洗溶剂等。每种污染物对IC制程都有不同程度的影响，通常在晶片表面形成有机物薄膜阻止清洗液到达晶片表面。因此有机物的去除常常在清洗工序的第一步进行。
[0005]硫酸是典型用于去除有机污染物的清洗液。硫酸可以使有机物脱水而碳化，而双氧水可将碳化产物氧化成一氧化碳或二氧化碳气体。
[0006]但是硫酸也是一种强腐蚀剂，人体沾上会对皮肤造成损伤，严重的话会危及生命。同时硫酸泄漏也会对加工生产环境造成影响。
[0007]在晶圆加工厂中，传统的硫酸运输，就是将硫酸桶放在小推车上，推到晶圆清洗机旁边，由人工将硫酸倒入晶圆清洗机清洗液储存装置里。
[0008]这种硫酸运输方式存在较大隐患，首先，小推车在推送的路上，有可能会因为路面倾斜，急停急走，人员碰撞等因素，导致硫酸桶从小推车上发生倾倒等事故。其次，硫酸桶比较重，人力添加的时候会因为失误等原因造成泄漏，飞溅的情况，威胁生产安全。

技术实现思路

[0009]为解决上述问题，本技术提供了一种腐蚀液体加料小推车，通过液泵和调压开关阀的设置，存液桶可以通过小推车对晶圆清洗机清洗液储存装置直接进行自动加料，通过小推车底板上限位块和存液桶底部的凹槽的配合，使存液桶在移动的过程中不会在小推车上随意移动，防止在给晶圆清洗机清洗液储存装置发生意外，威胁生产安全。
[0010]本技术提供的技术方案如下：
[0011]一种腐蚀液体加料小推车，包括底板，底板的下方设有若干个行走轮，底板上方设有箱体，箱体内限位放置有存液桶，存液桶上方在箱体的表面设有出液口，存液桶和出液口之间设有液泵，并通过管子相连。
[0012]进一步的，存液桶的顶部设有盖子，盖子上固定有导液管，导液管从盖子外侧延伸至存液桶内部。
[0013]进一步的，导液管上方与管子连接，导液管的直径大于管子的直径。
[0014]进一步的，底板上设有凸起的限位块，存液桶底部设有与限位块配合的凹槽，存液桶顶部设有提手。
[0015]进一步的，导液管与液泵之间的管子上设有手动阀门。
[0016]进一步的，箱体顶部设有进气口，进气口与液泵通过管子相连，液泵与进气口之间靠近箱体顶部一侧的管子上设有调压开关阀。
[0017]进一步的，调压开关阀的顶部设有调压旋钮，调压开关阀的一侧设有压力显示器。
[0018]进一步的，箱体在调压旋钮和压力显示器的上方开有操作口并设有盖板，箱体在靠近存液桶的一侧设有操作门，箱体在存液桶顶部开有观察门。
[0019]进一步的，箱体一侧的箱壁上设有扶手。
[0020]综上所述，本技术的有益效果如下：
[0021](1)本技术通过液泵和调压开关阀的设置，存液桶可以通过小推车对晶圆清洗机清洗液储存装置直接进行自动加料，还可以通过调压开关阀对出液的流速进行控制，避免了人工直接接触，防止液体飞溅，威胁生产安全。
[0022](2)本技术通过小推车底板上限位块和存液桶底部的凹槽的配合，使存液桶在移动的过程中不会在小推车上随意移动，同时箱体对存液桶四周有保护限位的作用，防止存液桶倾倒发生意外。
附图说明
[0023]图1为本技术结构示意图；
[0024]图2为本技术箱体内部结构示意图；
[0025]图3为本技术主视剖面结构示意图；
[0026]图4为本技术盖子结构示意图；
[0027]图5为本技术底板结构示意图。
[0028]附图标记如下：
[0029]1、底板；2、行走轮；3、箱体；4、存液桶；5、出液口；6、液泵；7、管子；8；盖子；9、导液管；10、限位块；11、提手；12、手动阀门；13、进气口；14、调压开关阀；15、调压旋钮；16、压力显示器；17、盖板；18、操作门；19、观察门；20、扶手。
具体实施方式
[0030]为了加深对本技术的理解，下面将结合实施例和附图对本技术作进一步详述，该实施例仅用于解释本技术，并不构成对本技术保护范围的限定。
[0031]如图1
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3所示，一种腐蚀液体加料小推车，包括底板1，底板1的下方设有若干个行走轮2，底板1上方设有箱体3，箱体3内限位放置有存液桶4，存液桶4上方在箱体3的表面设有出液口5，存液桶4和出液口5之间设有液泵6，并通过管子7相连，箱体3一侧的箱壁上设有扶手20。
[0032]具体的，液体存于存液桶4内，在液泵6的作用下，通过管子7将液体从出液口5处带出，出液口5处可连接管子，将液体添加进晶圆清洗机清洗液储存装置里，扶手20用于手扶推动小推车。
[0033]请参考图1,和图4，在本实施例中，存液桶4顶部设有提手11，提手11方便运输存液桶4，存液桶4的顶部设有盖子8，盖子8上固定有导液管9，导液管9从盖子8外侧延伸至存液桶4内部，用于将存液桶4内的液体导出至管子7内，导液管9上方与管子7连接，导液管9的直径大于管子7的直径，管子7的底部套有密封胶条，密封性好，导液管9可以套住管子7上下移动，方便将取下盖子8进行加料或清洗。
[0034]请参考图5，在本实施例中，底板1上设有凸起的限位块10，存液桶4底部设有与限位块10配合的凹槽，限位块10可以和存液桶4底部的凹槽相嵌合，保证存液桶4不会随意滑动。
[0035]在一些实施例中，限位块10还可以设置在存液桶4的底部的外侧，从而对存液桶4进行限位，保证存液桶4不会随意滑动。
[0036]优选的，导液管9与液泵6之间的管子7上设有手动阀门12，手动阀门12用于控制存液桶4内液体的流出，防止关闭液泵6后，存液桶4内的液体会在压力的作用下少部分流出，造成安全隐患。
[0037]请参考图2，在本实施例中，箱体3顶部设有进气口13，进气口13与液泵6通过管子7相连，液泵6与进气口13之间靠近箱体3顶部一侧的管子7上设有调压开关阀14，调压开关阀14用于控制液泵6的出液压力，调压开关阀14可以通过压力调节液体的流速，调压开关阀14的顶部设有调压旋钮15，调压开关阀14的一侧设有压力显示器16。
[0038]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种腐蚀液体加料小推车，包括底板(1)，所述底板(1)的下方设有若干个行走轮(2)，其特征在于，所述底板(1)上方设有箱体(3)，箱体(3)内限位放置有存液桶(4)，所述存液桶(4)上方在箱体(3)的表面设有出液口(5)，所述存液桶(4)和出液口(5)之间设有液泵(6)，并通过管子(7)相连。2.根据权利要求1所述的一种腐蚀液体加料小推车，其特征在于，所述存液桶(4)的顶部设有盖子(8)，所述盖子(8)上固定有导液管(9)，所述导液管(9)从盖子(8)外侧延伸至存液桶(4)内部。3.根据权利要求2所述的一种腐蚀液体加料小推车，其特征在于，所述导液管(9)上方与管子(7)连接，所述导液管(9)的直径大于管子(7)的直径。4.根据权利要求3所述的一种腐蚀液体加料小推车，其特征在于，所述底板(1)上设有凸起的限位块(10)，所述存液桶(4)底部设有与限位块(10)配合的凹槽，所述存液桶(4)顶部设有提手(11)。5.根据权利要求3所述的一种腐蚀液体加料小...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶朝清，黄维，陈吉福，
申请(专利权)人：谷微半导体科技江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：