本实用新型公开了一种抛光机，包括：第一本体、第二本体和吊装组件；所述第一本体和第二本体均为具有上顶面和下底面的中空结构；所述第一本体下底面和第二本体上顶面之间设有支撑柱；所述吊装组件第一部分置于第一本体外部，第二部分穿过第一本体的中空结...

本实用新型公开了一种工艺腔室和半导体处理设备。该腔室包括腔室本体、工艺载台、驱动所述工艺载台进入所述腔室本体内的驱动机构以及检测所述工艺载台是否到位的第一到位传感器，所述工艺腔室还包括测距仪，所述测距仪位于所述工艺载台前进方向的一侧，所...

本实用新型提供了一种蒸镀源遮挡机构，包括挡片、转轴和驱动件，转轴穿过蒸镀室设置；蒸镀室上设置转轴的一面还设置了N个蒸镀源；转轴的第一端位于蒸镀室内，转轴的第二端位于蒸镀室外；第二端与驱动件相连；挡片与转轴的第一端固定连接；挡片在穿过转轴...

本实用新型公开了一种晶片自动收料系统，包括：晶片传输单元、晶片装载单元以及晶匣缓存单元；晶片传输单元用于将上游设备提供的晶片传输并装载至晶片装载单元中的空载的晶匣内；晶匣缓存单元用于暂存待转移至晶片装载单元或下游设备的多个晶匣；晶片装载...

本发明涉及真空镀膜设备密封隔离装置技术领域，尤其涉及一种门阀组件及真空镀膜设备。门阀组件包括底座、阀体、驱动机构和导向机构，驱动机构和导向机构分别设置在底座和阀体之间，导向机构包括至少两个，驱动机构设置在至少两个导向机构之间，驱动机构用...

本实用新型提供了一种基片固定装置，其包括载板、基片、压紧装置以及用于固定载板与压紧装置的锁紧装置，载板的一面上设有用于容纳基片的安装凹槽，压紧装置包括顶板、压片以及弹性件，顶板的一面上设置有与安装凹槽大小相对应的凸台，弹性件设置在凸台与...

本实用新型公开了一种太阳能外延结构及太阳能电池，通过将基层生长为具有V型槽的外延层，然后生长发射层、窗口层和接触层，这种V型槽结构有利于减小空穴从基层向发射层传输的距离，从而降低载流子复合几率，同时，这种V型槽结构，又能减少光的反射，增...

本实用新型公开了一种PVD设备总成，包括PVD设备、第一传送带、X射线检测仪和第一机械手；PVD设备上设置有反应腔室；第一传送带用于从反应腔室将镀膜完成的膜片进行传送；第一机械手用于将镀膜完成的膜片在第一传送带X射线检测仪之间转移；X射...

本发明公开了一种光伏电池的最大功率点跟踪方法及装置、存储介质。其中，该光伏电池的最大点功率跟踪方法包括：获取MPPT控制器的不同占空比分别对应的多个功率点，找到多个功率点中的值最大的功率点对应的第一占空比；以第一占空比作为初始值采用单峰...

本发明公开了一种派送处理方法及系统。其中，该系统包括：设备，用于将第一请求信号发送至制造执行系统，所述第一请求信号携带有请求载具数量及设备标识；所述制造执行系统，用于根据所述请求载具数量及所述设备标识生成多载具派送指令，所述多载具派送指...