本实用新型提供的真空吸附平台及系统，用于与抽真空装置连接，以吸附晶片，其包括：平台本体，包括用于承载晶片的承载位，且在真空吸附平台中设置有吸附通孔，吸附通孔的一端位于承载位中，吸附通孔的另一端与抽真空装置连接；封堵件；以及，驱动机构，与...

本实用新型提供一种加热装置，用于将放置晶片的载具加热至设定温度，包括腔体结构和加热部件，加热部件设置在腔体结构内部，载具也用于设置在腔体结构内部，加热部件用于围设在载具外围，以对载具进行加热；腔体结构包括腔体和顶盖，腔体一端开口，顶盖用...

本实用新型提供了一种载板变形量监控和补偿装置，包括：腔体，载板通过腔体并进行加工；测距组件，测距组件设置在载板正下方，且固定在腔体底部；距离补偿组件，距离补偿组件设在载板正下方，且固定在腔体底部。本实用新型的技术方案有效地解决了现有技术...

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种砷烷气体吸收过滤系统。该砷烷气体吸收过滤系统包括电解槽、气体过滤装置和手套箱，所述电解槽设置于所述手套箱中，所述电解槽通过第一输送管路与所述气体过滤装置的进气口相连，所述手套箱通过第二输送管路与...

本实用新型提供了一种反应炉。反应炉包括：反应炉本体，反应炉本体具有进液孔、连通部及出液孔，进液孔通过连通部与出液孔连通，冷媒在连通部内流通，以实现冷媒与反应炉本体之间的换热，连通部包括第一换热通道和多个依次连通的第二换热通道，间隔设置的...

本实用新型提供了一种电解制砷烷装置。该电解制砷烷装置包括：阴极室，阴极室的阴极电解液为三氧化二砷饱和水溶液；阳极室，电解制砷烷装置还包括：三氧化二砷饱和水溶液供应单元，与阴极室相连。采用三氧化二砷饱和水溶液作为阴极电解液，并且采用三氧化...

本实用新型提供了一种砷烷电解装置。该砷烷电解装置包括：电解槽，具有通过离子半透膜隔离的阴极室和阳极室，阴极室电解产生砷烷和氢气，阳极室电解产生氧气；阴极气体输送管路，与阴极室相连；阳极气体输送管路，与阳极室相连；阴极气体输送管路和阳极气...

本实用新型涉及磷烷制备技术领域，公开了一种电解法制磷烷用电解装置，包括至少一组电解槽，每组所述电解槽中设有被质子膜隔离的阴极室和阳极室，所述阴极室设有阴极，所述阳极室设有阳极，所述质子膜的两端设有开口，所述电解槽的进液口与电解液供液器连...

本实用新型提供了种电解制砷烷系统。该电解制砷烷系统包括：电解池，电解池具有电解电源、阳极室和阴极室；阳极气体输送管路，与阳极室相连；阴极气体输送管路，与阴极室相连，电解制砷烷系统还包括：安全箱体，电解池、阳极气体输送管路和阴极气体输送管...

本实用新型提供了一种电解制砷烷装置。该电解制砷烷装置包括：阴极室，阴极室的阴极电解液为三氧化二砷饱和水溶液，阴极室的阴极为非牺牲性金属，阴极室电解产生包含砷烷和氢气的混合气；阳极室，阳极室的阳极为非牺牲性金属，阳极室电解产生氧气；电解制...

本实用新型提供了一种加热载板组件及具有其的MOCVD设备，其中，加热载板组件，包括：石英载板和中心载板，中心载板设置在石英载板上，中心载板和石英载板的接触面之间设置有隔热结构。本实用新型的技术方案有效地解决了现有技术中的石英载板和中心载...

本实用新型涉及一种搁架、承载盘、托盘、缓冲腔、装载腔及基片传输系统，其中，基片传输系统包括缓冲腔、装载腔、第一机械手和第二机械手，缓冲腔中包括的每个第一搁架还用于承放多个承载盘。第一机械手用于将多个基片装载在第一搁架的每个承载盘上，第二...

本实用新型提供了一种MOCVD装置，包括：壳体；承载组件，承载组件位于壳体内，承载组件包括支撑托盘和承载单元，承载单元用于承载基片，承载单元为多个，多个承载单元相间隔地分布在支撑托盘上；喷淋组件，喷淋组件设置在壳体内并位于承载组件的上方...

本实用新型涉及载板技术领域，尤其涉及一种载板。该载板包括具有N个侧面的承载区域和N个边缘区域，所述N个边缘区域分别对应设置在所述承载区域的N个侧面，所述N个边缘区域中的X个边缘区域与所述承载区域弹性连接，所述N为大于等于2的正整数，X为...

本实用新型实施例提供一种旋转靶材在线打磨装置，所述装置包括遮挡构件及打磨构件；在打磨状态，所述遮挡构件及打磨构件形成封闭空间用于包围旋转靶材；其中，所述打磨构件与所述旋转靶材相接触；在非打磨状态，所述遮挡构件及打磨构件远离所述旋转靶材。...

本实用新型公开了一种尾气处理装置，通过将尾气输送管路连接冲洗装置，实现对尾气输送管路末端处附着的颗粒物进行冲洗；而且，在尾气输送管路末端设置负压发生装置，提供动力，保证冲洗装置的清洗液和尾气的流动速度；另外，在尾气输送管路的末端通过管路...

本实用新型提供一种电池外延结构和太阳能电池。该电池外延结构包括衬底和电池层，衬底包括一个翘曲的面，还包括翘曲调节层，翘曲调节层设置于衬底与电池层之间，翘曲调节层为含铝材料和/或含铟材料，翘曲调节层中铝的含量和/或铟的含量根据衬底的翘曲面...

本实用新型公开了一种太阳能电池模组的检测装置及系统，检测装置包括：光致发光检测模组，用于对待测太阳能电池模组中的电池芯片进行检测，并输出第一检测结果；电致发光检测模组，用于待测太阳能电池模组中的电池芯片之间的连接进行检测，并输出第二检测...

本实用新型公开了一种用于测试光伏组件温度系数的控制装置，包括：复合加热板，所述复合加热板具有导热缓冲层，所述导热缓冲层用于与待测光伏组件相固定；盖板，扣设在所述光伏组件上；所述盖板与所述复合加热板共同夹持所述光伏组件。本实用新型提供的控...

本实用新型公开了一种测温连接器、测温载板及测温系统。测温连接器包括伸缩密封结构、第一引线连接器和多条第一引线；伸缩密封结构用于穿过需要测温的密封腔室设置并与腔室可移动地密封连接；第一引线连接器设置在伸缩密封结构腔室内一端，第一引线连接器...