本实用新型提供了一种柔性锂离子电池。该电池由下至上依次包括外层正极集流体、外层正极、外层电解质层、中间功能层、外层负极以及外层负极集流体；外层正极集流体的材料为第一柔性电路板，且外层正极与第一柔性电路板中的金属箔接触设置；外层负极集流体...

本实用新型涉及清洗设备技术领域，尤其涉及一种用于刻蚀工艺的喷淋机构。该喷淋机构包括喷头组件和喷头安装组件，喷头组件包括稳压腔，稳压腔的进口端与出口端错开设置，出口端设有条形喷嘴口，喷头安装组件中包括有方形连接件和插入件，各插入件分别插入...

本实用新型的实施例公开了一种精准测量温度的层结构元件和半导体器件加工设备，包括元件基体、薄膜热电偶层和温度测量点，通过薄膜热电偶层的测温单元对元件基体的测温区域进行温度测量。薄膜热电偶层作为层结构紧贴元件基体，相比于红外测量的非接触测量...

本实用新型提供了一种物料自动装卸载控制装置，包括：确定模块，用于确定载具模板，所述载具模板包括晶片在载具中放置位置信息和晶片的类型信息；装载模块，用于根据所述载具模板将目标晶片从第一栏具按照所述载具模板装载至载具的对应位置，所述目标晶片...

本实用新型公开了一种泄漏检测装置，属于泄漏检测技术领域。该泄漏检测装置包括信号处理器和振动体；所述信号处理器与所述振动体之间通过振动发生机构和振动检测机构连接；所述信号处理器连接有远程控制器。本实用新型提供的泄漏检测装置通过振动原理进行...

本实用新型涉及真空度测量技术领域，尤其涉及一种CVD反应腔室真空度测量装置。该CVD反应腔室真空度测量装置包括反应腔室、真空测量机构、移动机构、传动机构以及驱动机构，所述驱动机构通过所述传动机构与所述移动机构的一端相连，所述移动机构的另...

本实用新型公开了一种直管安装结构及真空容器，该直管安装结构包括板件、外管、第一法兰、内管和第二法兰；所述板件上设有安装孔，所述外管的一端与所述安装孔密封连接；所述外管的另一端与所述第一法兰固定连接；所述内管的一端安装在所述安装孔内，且所...

本实用新型提供一种加热分区装置，至少包括：腔室和设置于所述腔室内的加热模块，所述加热模块包括至少一个加热分区，每个所述加热分区包括相对所述腔室对称设置的两个加热单元，所述两个加热单元分别与一个温度控制器连接。本实用新型提供的实施例可以使...

本实用新型涉及半导体制造技术领域，公开一种喷淋单元及喷淋模块，该喷淋单元包括相互独立设置的喷淋通道和温控通道，喷淋通道用于通入工艺气体并喷出，温控通道用于对工艺气体进行热交换并使其均匀喷出，喷淋单元侧壁上设置有连接装置。该喷淋模块包括多...

本实用新型公开了一种基片加热传输装置，包括：加热板，设置在基片载板的下表面；隔热背板，设置在所述加热板的下方；夹紧件，将所述基片载板、加热板和隔热背板夹持固定；传输组件，与所述夹紧件相连，用于驱动所述夹紧件移动。本实用新型提供的基片加热...

本实用新型公开了一种磁控溅射设备，包括柔性连接机构、第一工艺腔、第二工艺腔和控制机构；柔性连接机构包括柔性连接管，柔性连接管的两端分别与第一工艺腔的腔壁和第二工艺腔的腔壁相连接；控制机构被设置为用于控制柔性连接管伸缩，以改变第一工艺腔和...

本实用新型公开了一种易撕胶带，包括：基材；双面胶带本体，所述双面胶带本体的一面粘贴在所述基材上；保护膜，与所述双面胶带本体的另一面粘贴固定；所述保护膜的一端具有端头，所述端头相对于所述双面胶带本体向外伸出。本实用新型通过在保护膜的一端设...

本实用新型提供了一种化学机械研磨设备。该化学机械研磨设备包括传输机构、载板、研磨装置以及设置于载板上的研磨液供液装置，载板用于装载待处理晶片，载板或研磨装置设置于传输机构上。该化学机械研磨设备通过传输机构实现了晶片的连续研磨生产，单台设...

本实用新型提供了一种冷凝腔室，其包括腔室本体，其还包括驱动件和刮板，所述腔室本体内具有冷凝腔，所述刮板的初始位置设置为位于所述冷凝腔的顶部，所述刮板的尺寸与所述冷凝腔的尺寸相适配；所述驱动件与所述刮板相连并带动所述刮板在所述冷凝腔中上下...

本实用新型提供一种MOCVD设备尾气热解处理系统，包括：热解装置、冷凝装置和吸附装置。MOCVD设备的排气口通过管道依序与所述热解装置、所述冷凝装置和所述吸附装置串接。MOCVD尾气通过所述热解装置进行热分解后，经过所述冷凝装置进行冷却...

本实用新型提供一种含硅废液的处理系统，包括浓缩沉淀箱和渗透过滤装置，所述浓缩沉淀箱包括上清液出口；所述渗透过滤装置包括上清液入口、目标清液出口、目标浓液出口和设置在所述渗透过滤装置内的渗透膜；所述浓缩沉淀箱的上清液出口与所述渗透过滤装置...

本实用新型公开了一种印刷刮刀装置和一种丝网印刷设备。包括：固定件；刮刀，与所述固定件连接；配重件，可移动地设置在所述固定件上，以调整所述刮刀的印刷角度，以使得所述刮刀对网版施加的垂直方向的印刷压力满足预设印刷压力。这样，在刮刀出现异常状...

本实用新型提供一种传送装置和加工设备。该传送装置包括导轮、导轨和驱动件，导轮与驱动件活动连接，导轮在驱动件的驱动下转动；导轨活动设置在导轮上，导轨随导轮的转动而移动；导轨用于设置待传送件；传送装置还包括减震机构，导轮设置在减震机构上。该...

本实用新型提供的载板翻转装置，用于翻转载板，其包括翻转机构和用于承载翻转机构的支架：翻转机构包括翻转框架、旋转轴及翻转驱动结构，其中，翻转框架用于支撑载板，旋转轴水平设置并分别与翻转框架和支架连接，翻转驱动机构用于驱动翻转框架围绕旋转轴...

本实用新型提供一种钙钛矿电池。该钙钛矿电池包括基底、电池层和封装层，电池层和封装层沿远离基底的方向依次设置，封装层对电池层形成封装，封装层包括隔离层，隔离层能阻挡外界水和氧进入电池层。该钙钛矿电池通过在封装层中设置采用六甲基二硅醚(HM...