一种冷凝腔室制造技术

本实用新型专利技术提供了一种冷凝腔室，其包括腔室本体，其还包括驱动件和刮板，所述腔室本体内具有冷凝腔，所述刮板的初始位置设置为位于所述冷凝腔的顶部，所述刮板的尺寸与所述冷凝腔的尺寸相适配；所述驱动件与所述刮板相连并带动所述刮板在所述冷凝腔中上下运动。本实用新型专利技术的冷凝腔室，其通过驱动件带动刮板上下运动，使得冷凝腔室的内壁面上的冷凝物被清理掉，由于刮板是进行上下运动，而不是现有技术中的旋转运动，因此使得冷凝腔室的内壁面边角位置处的冷凝物也能够被清理掉，从而将冷凝腔室内壁面上的冷凝物清理的较为彻底，较好地避免了冷凝腔室内壁面的边角位置处出现冷凝物的堆积，进而有效地提高了冷凝腔室的冷凝效率。

A Condensation Chamber

【技术实现步骤摘要】
一种冷凝腔室
本技术涉及薄膜太阳能电池制造过程中的尾气处理
，具体涉及一种冷凝腔室。
技术介绍
砷化镓(GaAs)薄膜太阳能电池，是以GaAs为主的多膜层结构，需要通过有机金属化合物化学气相沉积法(英文简称为MOCVD)的方式生产制造。太阳能电池片的晶体生长源的材料包含砷化氢(AsH3)和磷化氢(PH3)等。MOCVD设备在工艺过程中产生的尾气会含有大量未参加反应的AsH3\PH3\以及含砷化合物。目前，处理尾气中的AsH3\PH3等有毒气体的方法主要为湿法处理和干式吸附处理以及高温分解。其中湿法处理会产生含有有毒的废水，一般因为环保要求不采用该处理方法；而干式吸附处理会消耗干式吸附剂，导致成本的增加。故现在通常采用高温分解的方式对MOCVD设备在工艺过程中产生的尾气进行处理，因为AsH3和PH3在高温状态下会发生热分解反应，分别分解为砷和氢气，磷和氢气，通过对生成物冷却降温，使砷和磷等粉尘颗粒冷凝在冷凝腔室的内壁面上，减少了废气中的砷和磷等粉尘颗粒，但是需要对冷凝腔室的内壁面进行清理，以避免影响冷凝效率。目前通常是使用能够旋转的刮板对冷凝腔室的内壁面进行清理，由于要保证气流的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种冷凝腔室，其包括腔室本体，其特征在于，其还包括驱动件和刮板，所述腔室本体内具有冷凝腔，所述刮板的初始位置设置为位于所述冷凝腔的顶部，所述刮板的尺寸与所述冷凝腔的尺寸相适配；所述驱动件与所述刮板相连并带动所述刮板在所述冷凝腔中上下运动。

【技术特征摘要】
1.一种冷凝腔室，其包括腔室本体，其特征在于，其还包括驱动件和刮板，所述腔室本体内具有冷凝腔，所述刮板的初始位置设置为位于所述冷凝腔的顶部，所述刮板的尺寸与所述冷凝腔的尺寸相适配；所述驱动件与所述刮板相连并带动所述刮板在所述冷凝腔中上下运动。2.根据权利要求1所述的冷凝腔室，其特征在于，所述腔室本体的外壁面上设置有凸出部，所述凸出部的延伸方向与所述腔室本体的延伸方向相同；所述凸出部内设置有与所述冷凝腔相连通的容纳腔，所述驱动件设置在所述容纳腔中。3.根据权利要求2所述的冷凝腔室，其特征在于，其还包括闸板阀和收集桶，所述腔室本体的底部为开口结构，所述闸板阀设置在所述腔室本体的底部；所述收集桶设置在所述闸板阀的下方，所述收集桶的开口朝向所述闸板阀。4.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：张新云，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11