一种冷凝泵制造技术

技术编号:12399009 阅读:84 留言:0更新日期:2015-11-26 04:24
本发明专利技术公开一种冷凝泵,包括外筒体、泵体、主轴和电机支座,所述泵体和主轴设在外筒体内,所述泵体外侧设置有拉杆螺栓,所述泵体通过拉杆螺栓与外筒体固定连接,所述主轴上依次设置有首级叶轮、次级叶轮、轴承和联轴器,所述首级叶轮下方设置有吸入口,所述次级叶轮外侧设置有导叶和中段,所述轴承外侧设置有压水接管,所述压水接管与中段密封连接,所述压水接管顶端设置有轴封,所述压水接管两侧分别设置减压管和排出弯管,所述电机支座设在外筒体上,所述电机支座与外筒体固定连接,该冷凝泵冷凝效果好,安装方便,结构紧凑,使用寿命长,密封性能好。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种栗体
,特别是涉及一种冷凝栗。
技术介绍
冷凝栗是利用低温表面冷凝气体的真空栗,又称冷凝栗。冷凝栗是获得清洁真空的极限压力最低、抽气速率最大的真空栗,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。因其洁净无污染、效率高、抽速大、高可靠性等突出优势,被广泛的应用于科学研究实验室、乃至工业生产等众多领域,如半导体材料制作、平板显示器生产/测试设备、太阳能制造业、真空镀膜、热真空系统等。冷凝栗支承部分主要件有托架、前后铀承压盖和铀组合定位在托架上的前后径向滚珠铀承上,滚球铀承亦承受未被平衡的铀向力。用稀油润滑,油量可从油标看出。前后铀承压盖均装有毛毡密封圈做为铀封以防漏油。管堵处的孔用来灌油。清洗换油时从丝孔将油放出。栗采用软填料密封,在铀封处装有可更换的铀套。栗通过弹性联铀器由电动机驱动,从传动方向看,栗为逆时针方向旋转。单级:主要件有硅黄铜80-3铸成的叶轮通过键固定由45号优质碳素制成的轴上,叶轮装在由耐磨铸铁HT20-40铸成的栗体、栗盖所构成的栗工作室内,动力机通过联轴器带动支在轴承中的轴和叶轮,栗就工作,耐磨铸铁HT20-40制成的轴套,与衬套(6N6和4N6X2)之间有着水润滑的滑动轴承的作用,栗体后的填料函内装有填料环,及填料油浸石墨石棉绳,开口填料压盖,借助加长双头螺栓压紧填料,并可调整松紧,外部引入高于大气压的密封水,通过接管对准填料环,并在整个填料函内就形成隔绝空气侵入栗内的密封腔,同时阻止栗内水向外流,仅有少量的润滑水滴出。在叶轮上开有平衡孔,使高压区与进口低压区沟通从而消除轴向推力,为了防止磨损栗体和栗盖,于修理,达到良好密封,在栗体、栗盖上装有密封环,栗体上部备有丝孔做为放气用,停车检修时,栗中之水从丝孔放出,为了方便栗体和栗盖的拆卸备有起盖螺钉(盖、体通用)进出口均备有测压孔。两级:其余与单级相同,仅栗盖、栗体和中间导叶构成两个工作室,在两室内相应装有硅黄铜80-3铸成的第一级叶轮和铸铁HT20-40CuMo制成的叶轮。低温栗是利用低温表面冷凝气体的真空栗,又称冷凝栗。低温栗是获得清洁真空的极限压力最低、抽气速率最大的真空栗,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。在低温栗内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板。它使气体凝结,并保持凝结物的蒸汽压力低于栗的极限压力,从而达到抽气作用。低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。①低温冷凝:气体分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的气体层上,其平衡压力基本上等于冷凝物的蒸气压。抽空气时,冷板温度必须低于25K;抽氢时,冷板温度更低。低温冷凝抽气冷凝层厚度可达10毫米左右。②低温吸附:气体分子以一个单分子层厚(10-8厘米数量级)被吸附到涂在冷板上的吸附剂表面上。吸附的平衡压力比相同温度下的蒸气压力低得多。如在20K时氢的蒸气压力等于大气压力,用20K的活性炭吸氢时吸附平衡压力则低于10-8帕。这样就可能在较高温度下通过低温吸附来进行抽气。③低温捕集:在抽气温度下不能冷凝的气体分子,被不断增长的可冷凝气体层埋葬和吸附,一般说来,栗的极限压力就是冷板温度下的被冷凝气体的蒸气压力。温度为120K时,水的蒸气压已低于10-8帕。温度为20K时,除氦、氖和氢外,其他气体的蒸气压也低于10-8帕。但由于被抽容器和低温冷板的温度不同,栗的极限压力高于冷凝物的蒸气压。对于室温下的容器,低温板为20K时,栗的极限压力约为冷凝物蒸气压力的4倍。目前现有的冷凝栗结构复杂,安装不方便,运行稳定性能不高。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种冷凝效果好,安装方便,结构紧凑,使用寿命长,密封性能好的冷凝栗。为解决上述问题,本专利技术采用如下技术方案: 一种冷凝栗,包括外筒体、栗体、主轴和电机支座,所述栗体和主轴设在外筒体内,所述栗体外侧设置有拉杆螺栓,所述栗体通过拉杆螺栓与外筒体固定连接,所述主轴上依次设置有首级叶轮、次级叶轮、轴承和联轴器,所述首级叶轮下方设置有吸入口,所述次级叶轮外侧设置有导叶和中段,所述轴承外侧设置有压水接管,所述压水接管与中段密封连接,所述压水接管顶端设置有轴封,所述压水接管两侧分别设置减压管和排出弯管,所述电机支座设在外筒体上,所述电机支座与外筒体固定连接,所述电机支座上设置有电机和推力轴承,所述电机通过推力轴承与主轴传动连接。作为优选,所述减压管底部连接有平衡管,将外筒体内的空气排至冷凝器,从而平衡外筒体与冷凝器之间的真空度,稳定水栗的吸入条件,保证水栗的运行性能。作为优选,所述外筒体一侧设置有冷却管,能够通入冷却介质,保持冷却效果好。作为优选,所述外筒体底部设置有安装座,方便外筒体的安装固定。作为优选,所述安装座与外筒体固定连接,保持结构稳定。 作为优选,所述安装座设有两个,安装方便稳固。作为优选,所述首级叶轮和次级叶轮分别与主轴固定连接。本专利技术要解决的另一技术问题是提供一种冷凝栗栗体的加工工艺。为解决上述技术问题,本专利技术采用如下技术方案:包括以下步骤: 1)采用砂型铸造栗体外轮廓,进行人工时效处理,消除内应力,使用喷涂机进行喷漆,完成喷漆后进行30min在80°C进行烤漆处理; 2)铣栗体底面,钻底座的通孔,铣后端面,清洗,去毛刺,倒角。本专利技术的有益效果是:设置的首级叶轮和次级叶轮保持冷凝栗高效的吸入性能,减压管能够降低压水接管内的压力,推力轴承能够保持主轴运行稳定,冷却管能够通入冷却介质,保持冷凝效果,轴封保持栗内的当前第1页1 2 本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种冷凝泵,其特征在于:包括外筒体、泵体、主轴和电机支座,所述泵体和主轴设在外筒体内,所述泵体外侧设置有拉杆螺栓,所述泵体通过拉杆螺栓与外筒体固定连接,所述主轴上依次设置有首级叶轮、次级叶轮、轴承和联轴器,所述首级叶轮下方设置有吸入口,所述次级叶轮外侧设置有导叶和中段,所述轴承外侧设置有压水接管,所述压水接管与中段密封连接,所述压水接管顶端设置有轴封,所述压水接管两侧分别设置减压管和排出弯管,所述电机支座设在外筒体上,所述电机支座与外筒体固定连接,所述电机支座上设置有电机和推力轴承,所述电机通过推力轴承与主轴传动连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张天松胡仁农
申请(专利权)人:芜湖环球汽车配件有限公司
类型:发明
国别省市:安徽;34

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