本实用新型涉及一种MO源蒸汽产生装置，包括本体、载气管和出气管，本体包括用于容纳MO源的腔体，腔体上设有物料进口，载气管与腔体的上部连接，出气管与腔体的下部连接。本实用新型中的MO源蒸汽产生装置采用载气上进下出的气路方式，能够使载气和上...

本实用新型涉及真空室气体引入技术领域，公开了一种真空室气体引入系统，包括真空室侧壁、封盖和转接机构，所述转接机构包括转接本体，所述转接本体内部设有变向通道，所述变向通道的第一端口与所述真空室侧壁密封连接，所述变向通道的第二端口与所述封盖...

本实用新型提供了一种伸缩块组件及开关门装置，其中，伸缩块组件，包括：基座，基座包括容纳腔，容纳腔的开口位于基座的侧面；移动块结构，移动块结构包括移动块和弹性件，移动块至少部分地位于容纳腔内，弹性件位于容纳腔内并抵顶在移动块和容纳腔的内壁...

本实用新型涉及锗烷制备技术领域，公开了一种电解法制锗烷用电解装置，包括电解槽，所述电解槽的出液口与电解液回流净化器的进液口连接，所述电解液回流净化器的出液口与所述电解槽的进液口连接，构成电解液循环回路；所述电解槽内设有电解液、电解正极和...

本实用新型涉及一种平板加热装置，包括加热板、内圈加热器、外圈加热器和边条，内圈加热器和外圈加热器均设在加热板的下表面，边条固定在加热板的上表面，外圈加热器围绕内圈加热器的外周布置，外圈加热器包括拐角，拐角相对于外圈加热器的主体结构向外突...

本实用新型涉及太阳能电池生产技术领域，尤其涉及一种MOCVD设备。该MOCVD设备包括反应腔壳体、气体喷淋装置、基片载台和加热器，所述反应腔壳体中设有反应腔室，所述加热器、基片载台和气体喷淋装置从内向外依次套设于所述反应腔室中；其中所述...

本实用新型提供了一种输送装置及加工设备，输送装置包括：第一输送机构，第一输送机构用于向第一方向输送载具；第二输送机构，设置在第一输送机构的下方，第二输送机构用于向第二方向输送载具，第二方向与第一方向相反。这样可通过第一输送机构和第二输送...

本实用新型提供了一种料卷固定装置及胶阀擦拭机构，一种料卷固定装置，包括带有挡块的转轴、用于固定料卷的弹簧夹头、推块和螺母；在转轴上，自转轴第一端至转轴第二端的方向上依次设置挡块、推块和螺母，推块与转轴滑动连接，弹簧夹头套设在挡块和推块上...

本实用新型提供一种环境试验箱，包括箱体和至少一个样品架，所述箱体包括两个相对的侧壁，所述至少一个样品架设置在所述箱体的两个侧壁之间，所述至少一个样品架在所述箱体内沿重力方向延伸；与所述样品架相对的所述侧壁上或与所述侧壁相对的所述样品架上...

本实用新型提供了一种电子气体的安全生产系统。该电子气体的安全生产系统包括：电子气体产生装置；安全箱体，电子气体产生装置设置在安全箱体的容纳腔中；气体循环装置，与安全箱体相连形成密闭回路以使安全箱体中的气体循环，气体循环装置具有第一吸附设...

本实用新型提供了一种砷烷气体的除水装置。该除水装置包括：电解装置、至少一个冷凝单元和用于向冷凝单元供应冷媒的冷媒供应装置。电解装置设置有砷烷混合气出口；冷凝单元与电解装置上的砷烷混合气出口相连；冷媒供应装置与冷凝单元相连，冷凝单元包括：...

本实用新型公开了一种光学检测设备，包括承载平台，用于承载被测物体；第一图像采集器，被配置在所述承载平台的上方，以采集所述被测物体顶面的图像数据；第二图像采集器，被配置在所述承载平台的侧方，以采集所述被测物体侧面的图像数据。在需要对被测物...

本实用新型公开了一种真空腔室用输送装置和半导体处理设备。输送装置包括若干个并排间隔设置的输送滚轮；至少一个纠偏机构，位于待输送件的外侧，纠偏机构包括水平纠偏组件，其包括第一安装座、第一水平导向轮、第一水平轴、第二安装座、第二水平导向轮和...

本实用新型公开了一种真空红外加热装置，包括：腔体；载板，设置在所述腔体内；红外加热灯，设置在所述腔体内，用于加热所述载板；调整组件，用于调整所述红外加热灯在所述腔体内的位置。本实用新型提供的真空红外加热装置通过设置调整组件来调整红外加热...

本实用新型提供一种干燥处理系统，包括输送装置、烘烤处理装置及湿法处理装置，所述输送装置用于输送待干燥处理产品，所述输送装置沿输送方向依次穿过所述烘烤处理装置与所述湿法处理装置。本实用新型可有效使残留在塑料层的多余药液和水汽蒸发，解决了薄...

本实用新型实施例提供一种太阳能电池及其背电极，该背电极包括：上下设置的背金属层和背金属阻挡层，还包括：设置在所述背金属阻挡层和所述背金属层之间且能够与所述背金属层相接触的表面产生位错强化的背金属界面整合层。本实用新型实施例提供的太阳能电...

本实用新型提供了一种晶片吸附垫，吸附垫主体，吸附垫主体上设置有晶片固定腔体和晶片取放结构，晶片固定在晶片固定腔体内；晶片取放结构包括多个竖直孔和横向槽，多个竖直孔为设置在固定腔体的内壁上的向远离晶片凹陷的凹槽，横向槽设置在固定腔体的底壁...

本实用新型提供了一种检漏工装，包括：外管结构，外管结构包括相互连接的第一连接部和第二连接部，第一连接部用于与待检设备的真空腔体连接，第二连接部用于与检漏仪连接。检漏工装还可以包括内管结构，穿设在外管结构中，内管结构与外管结构之间具有空腔...

本实用新型提供了一种高效节能的抽真空装置，包括：第一腔体；第二腔体，第一腔体和第二腔体通过第一管路相连通，第一管路上设置有第一阀门；第一驱动管路，第一驱动管路的一端与第一腔体相连通；第二驱动管路，第二驱动管路的一端与第二腔体相连通；抽真...

本实用新型涉及一种真空设备，其包括：真空设备本体、门轴、门板和驱动装置，门轴包括沿径向延伸的门轴压板，门轴压板一端与门轴固定连接，另一端与门板转动连接；真空设备本体包括开口、门板与开口相对设置，门轴在驱动装置的驱动下带动门轴压板将门板密...