【技术实现步骤摘要】
检漏工装
本技术涉及设备检漏
，具体而言，涉及一种检漏工装。
技术介绍
金属有机气相沉积设备(MOCVD)中的喷淋头(showerhead)部件真空结构复杂，整体位于真空腔室内部，且与腔室外部的多根管路相连。通常在进行检漏时，需要将金属有机气相沉积设备的腔体打开，并拆除内部的大部分装置，才能露出腔体内部的喷淋头，以对喷淋头和其他部件的连接处或进气、进水管与上盖连接处进行检漏，操作繁琐。
技术实现思路
本技术提供了一种检漏工装，以解决现有技术中对设备内部的部件进行检漏不方便操作的问题。为了解决上述问题，本技术提供了一种检漏工装，包括：外管结构，外管结构包括相互连接的第一连接部和第二连接部，第一连接部用于与待检设备的真空腔体连接，第二连接部用于与检漏仪连接；第一连接部包括顺次连接的第一接头、柔性管和第二接头，其中，第一接头用于与真空腔体连接，第二接头用于与第二连接部连接，柔性管可伸缩。进一步地，第一接头为刀口法兰，和/或第二接头为刀口法兰。进一步地，第一接头用于与真空腔体连接的一端为第一连接端，第二接头用于与第二连接部连接的一端为第二连接端，第一连接端的外径大于第二连接...
【技术保护点】
1.一种检漏工装，其特征在于，包括：外管结构，所述外管结构包括相互连接的第一连接部(10)和第二连接部(20)，所述第一连接部(10)用于与待检设备的真空腔体连接，所述第二连接部(20)用于与检漏仪连接；所述第一连接部(10)包括顺次连接的第一接头(11)、柔性管(12)和第二接头(13)，其中，所述第一接头(11)用于与所述真空腔体连接，所述第二接头(13)用于与所述第二连接部(20)连接，所述柔性管(12)可伸缩。
【技术特征摘要】
1.一种检漏工装，其特征在于，包括：外管结构，所述外管结构包括相互连接的第一连接部(10)和第二连接部(20)，所述第一连接部(10)用于与待检设备的真空腔体连接，所述第二连接部(20)用于与检漏仪连接；所述第一连接部(10)包括顺次连接的第一接头(11)、柔性管(12)和第二接头(13)，其中，所述第一接头(11)用于与所述真空腔体连接，所述第二接头(13)用于与所述第二连接部(20)连接，所述柔性管(12)可伸缩。2.根据权利要求1所述的检漏工装，其特征在于，所述第一接头(11)为刀口法兰，和/或所述第二接头(13)为刀口法兰。3.根据权利要求1所述的检漏工装，其特征在于，所述第一接头(11)用于与所述真空腔体连接的一端为第一连接端，所述第二接头(13)用于与所述第二连接部(20)连接的一端为第二连接端，所述第一连接端的外径大于所述第二连接端的外径。4.根据权利要求1所述的检漏工装，其特征在于，所述柔性管(12)为波纹管。5.根据权利要求1所述的检漏工装，其特征在于，所述柔性管(12)的两端分别与所述第一接头(11)和所述第二接头(13)焊接。6.根据权利要求1所述的检漏工装，其特征在于，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：梁旭，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11
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