一种新型硅棒上下棒工装制造技术

技术编号:15775739 阅读:271 留言:0更新日期:2017-07-08 09:21
本实用新型专利技术提供了一种新型硅棒上下棒工装,包括固定门架、与固定门架活动连接的活动门架,与活动门架活动连接的吊臂组件,所述吊臂组件包括具有横梁和纵梁的吊臂,所述吊臂横梁下面设有滑轨,还包括托架组件,所述托架组件包括托架、滚轮安装板、滚轮、支撑导轨,所述滚轮安装板固定连接在托架两相对边框上,所述滚轮固定连接在滚轮安装板上,所述滚轮与吊臂横梁下面的滑轨相适配,所述支撑导轨也固定连接在托架两相对边框上。托架组件通过滚轮在吊臂的滑轨上滚动实现托架组件在滑轨上的移动,改变传统上下棒工装滑动摩擦为滚动摩擦,减少摩擦阻力,方便夹持工件的顺畅推拉,从而确保硅片质量。

A new type of upper and lower rod assembly for silicon bar

The utility model provides a novel silicon rod rod fixture includes a movable door frame fixed door frame, door frame and fixed connection, the arm assembly is connected with moving door frame, the lifting arm assembly comprises a lifting arm with beams and stringers, the crane beam is arranged below there are slide, also includes a bracket assembly, a bracket assembly includes a bracket, roller mounting plate, roller, supporting guide rail, the wheel mounting plate is fixedly connected to the bracket two relative frame, the roller is fixedly connected with the roller mounting plate, the roller and the crane beam below the slide is matched with the the support rail is also fixedly connected on the bracket two relative frame. Rolling bracket assembly for mobile bracket assembly on the slide rails in the slide arm through the roller, change the traditional bar tooling sliding friction to rolling friction, reduce friction resistance, easy to clamp the workpiece smoothly push and pull, so as to ensure the quality of silicon wafers.

【技术实现步骤摘要】
一种新型硅棒上下棒工装
本技术属于晶硅切片
,具体涉及一种新型硅棒上下棒工装。
技术介绍
目前,切片机在切割硅片时,需要将硅棒放入切片机里面,切割完成后将硅片取下进入下道工序。硅棒上下切片机需要使用硅棒上下棒工装,本专利申请针对现有硅棒上下棒工装存在的各种问题进行创新性改进。传统切片机存在如下问题:比如专利文献(CN205043987U)公开了一种硅棒上下棒装置,其包括固定架,移动支架,移动支架可滑动地连接与所述固定架上。从说明书附图中不难看出移动支架的滑台其一滑动面与夹板为面接触,滑动摩擦很大,会导致夹持硅棒推拉困难。再比如专利文献(CN204844535U)公开了一种切片机自动上下硅棒的智能运输装置,其夹持硅棒的工装与悬臂梁之间使用万向联轴器连接,虽然使用万向联轴器在一定范围内能使工装活动,但不能依靠工装夹持着硅棒将硅棒送入切割位置,这样的上下棒工装在上下棒时还需支撑柱辅助,导致上下棒操作困难。除所述万向联轴器的连接方式,市面上还有一些工装和悬臂梁之间是滑动摩擦的,使用时,因滑动阻力大,夹持工件推拉困难,切割好的硅片会因为突然的加减速产生晃动,造成硅片崩边、亮边等,影响硅片质量。该专利文献虽然也公开了废料槽,用于盛接切削液,但该废料槽安装位置固定,如果离工装太近会影响硅棒上下棒操作,安装位置太远,切削液落入废料槽也会存在往外飞溅的可能,操作使用不方便。
技术实现思路
本技术提供了一种新型硅棒上下棒工装,克服现有技术的上下棒工装存在的粘贴硅棒的夹持工件与工装之间存在较大的滑动摩擦阻力,硅片下片时易因工装突然的加减速造成崩边、亮边的问题,以及现有工装没有设计便于上下棒操作的接切削液的装置等问题。本技术提供的新型硅棒上下棒工装,包括固定门架、与固定门架活动连接的活动门架,与活动门架活动连接的吊臂组件,所述吊臂组件包括具有横梁和纵梁的吊臂,所述吊臂横梁下面设有滑轨。在现有技术的基础上,本技术还作出如下改进:还包括托架组件,所述托架组件包括托架、滚轮安装板、滚轮、支撑导轨,所述滚轮安装板固定连接在托架两相对边框上,所述滚轮固定连接在滚轮安装板上,所述滚轮与吊臂横梁下面的滑轨相适配,所述支撑导轨也固定连接在托架两相对边框上。进一步的,所述固定门架和活动门架上分别固定连接有安装座,一丝杠通过所述固定门架和活动门架上的安装座将活动门架与固定门架连接起来。进一步的,还包括接水盘组件,所述接水盘组件位于托架组件的下方,具有可抽拉嵌套式接水盘,所述接水盘组件还具有安装座,所述接水盘与安装座可拆卸式连接,所述安装座与所述吊臂纵梁活动连接。进一步的,所述吊臂纵梁通过吊臂支座与活动门架连接,所述吊臂支座具有一端插入吊臂支座、另一端贯穿活动门架的轴Ⅰ,所述吊臂支座还具有贯穿吊臂支座和吊臂纵梁的轴Ⅱ。更进一步的,所述活动门架上固定有若干排滚轮在固定门架上滚动。更进一步的,所述接水盘组件还包括两个固定连接在安装座上的磁吸支架,所述磁吸支架可通过磁铁吸附在吊臂纵梁的磁吸支架上。更进一步的,所述滚轮安装板上固定连接有挡块,所述吊臂横梁上固定连接有弹簧搭扣,所述挡块与弹簧搭扣相配合。更进一步的,所述吊臂组件还包括锁紧手柄,所述锁紧手柄穿过活动门架的耳板与吊臂纵梁下部接触。更进一步的,所述吊臂组件还包括一调整螺钉,所述调整螺钉设置在吊臂纵梁的下部。更进一步的,所述丝杠一端部连接手轮。本技术的有益效果:1、活动门架在固定门架上可左右移动,而且通过滚轮组辅助移动,摩擦阻力大大减小,提高定位效率。2、轴Ⅰ与轴Ⅱ的设置,可以使吊臂实现角度和水平位置的微调,并且调整结束可通过锁紧手柄和调整螺钉进行锁紧,使得吊臂的定位更为精准,方便上下棒操作。3、托架组件通过滚轮在吊臂的滑轨上滚动实现托架组件在滑轨上的移动,改变传统上下棒工装粘贴硅棒的夹持工件与工装之间滑动摩擦为滚动摩擦,减少摩擦阻力,方便夹持工件的顺畅推拉,减轻硅片下棒时的晃动,减少硅片崩边、亮边的几率,从而确保硅片质量。4、接水盘采用抽拉嵌套式的结构,可根据实际需求随意抽拉调整接水盘长度,避免切削液滴落在地面上,接水盘组件通过合页与吊臂连接,可实现90°旋转,便于夹持工件的安装、拆卸,而且接水盘定位后通过磁铁吸附稳固,使用更加可靠。附图说明图1是实施例一中上下棒工装整体结构示意图,图2是实施例一中活动门架与固定门架连接关系示意图,图3是实施例一中吊臂与活动门架连接关系示意图,图4是实施例一中托架组件整体结构示意图,图5是实施例二中上下棒工装整体结构示意图,图6是实施例二中接水盘组件整体结构示意图,图7是实施例二中上下棒工装使用时的结构剖面图。附图标注:1、固定门架,2、活动门架,3、安装座,4、安装座,5、丝杠,6、手轮,7、滚轮,8、吊臂组件,9、吊臂,10、滑轨,11、吊臂支座,12、轴Ⅰ,13、轴Ⅱ,14、调整螺钉,15、锁紧手柄,16、弹簧搭扣,17、定位板,18、托架组件,19、夹持工件,20、接水盘组件,21、磁吸支架Ⅰ,22、磁吸支架Ⅱ,23、切片机,24、吊轨支座,25、夹紧基座,26、夹紧缸,27、托架滑轨,28、耳板;181、托架,182、滚轮安装板,183、滚轮,184、支撑导轨,185、限位块,186、挡块;201、接水盘,202、接水盘,203、安装座,204、固定销,205、合页,206、磁吸支架,207、磁吸支架,208、磁铁。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本技术进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术,不能理解为对本技术具体保护范围的限定。实施例一参照图1,所述新型硅棒上下棒工装,包括固定门架1、活动门架2,所述固定门架1和活动门架2上分别固定连接有安装座,如图1所示的固定门架1上的安装座3以及如图2所示的活动门架2上的安装座4,一丝杠5通过所述固定门架1和活动门架2上的安装座3、4将活动门架2与固定门架1连接起来,丝杠5一端部连接手轮6,通过旋转手轮6可实现活动门架2在固定门架1上的左右移动。参照图2,活动门架2上固定有四排滚轮7,每排有两个滚轮7,其中最上排和最下排滚轮7在固定门架1的上下凹槽内,中间两排的滚轮7分别在固定门架1上一横板的上下两侧。所述四排滚轮7在固定门架1上滚动辅助活动门架2的左右移动。置于安装座3、4的个数、位置,滚轮7的个数、位置均不局限于本实施例所述,任意可实现活动门架2在固定门架1上左右移动的丝杠5及滚轮7,丝杠5、滚轮7与固定门架1和活动门架2的位置、连接关系均在本专利技术的保护之内。参照图1-3,所述新型硅棒上下棒工装,还包括吊臂组件8,所述吊臂组件8包括具有横梁和纵梁的吊臂9,所述吊臂9横梁下面设有滑轨10。所述吊臂9纵梁通过吊臂支座11与活动门架2连接,所述吊臂支座11具有一端插入吊臂支座11、另一端贯穿活动门架2的轴Ⅰ12,吊臂9可以围绕轴Ⅰ12转动,实现角度的微调。所述吊臂支座11还具有贯穿吊臂支座11和吊臂9纵梁的轴Ⅱ13,通过轴Ⅱ13可以实现吊臂9的水平调整。所述吊臂组件8还包括一调整螺钉14,所述调整螺钉14设置在吊臂9纵梁的下部,所述调整螺钉14的一端可穿过吊臂9纵梁与活动门架2接本文档来自技高网...
一种新型硅棒上下棒工装

【技术保护点】
一种新型硅棒上下棒工装,包括固定门架、与固定门架活动连接的活动门架,与活动门架活动连接的吊臂组件,所述吊臂组件包括具有横梁和纵梁的吊臂,所述吊臂横梁下面设有滑轨,其特征在于:还包括托架组件,所述托架组件包括托架、滚轮安装板、滚轮、支撑导轨,所述滚轮安装板固定连接在托架两相对边框上,所述滚轮固定连接在滚轮安装板上,所述滚轮与吊臂横梁下面的滑轨相适配,所述支撑导轨也固定连接在托架两相对边框上。

【技术特征摘要】
1.一种新型硅棒上下棒工装,包括固定门架、与固定门架活动连接的活动门架,与活动门架活动连接的吊臂组件,所述吊臂组件包括具有横梁和纵梁的吊臂,所述吊臂横梁下面设有滑轨,其特征在于:还包括托架组件,所述托架组件包括托架、滚轮安装板、滚轮、支撑导轨,所述滚轮安装板固定连接在托架两相对边框上,所述滚轮固定连接在滚轮安装板上,所述滚轮与吊臂横梁下面的滑轨相适配,所述支撑导轨也固定连接在托架两相对边框上。2.根据权利要求1所述的新型硅棒上下棒工装,其特征在于:所述固定门架和活动门架上分别固定连接有安装座,一丝杠通过所述固定门架和活动门架上的安装座将活动门架与固定门架连接起来。3.根据权利要求1所述的新型硅棒上下棒工装,其特征在于:还包括接水盘组件,所述接水盘组件位于托架组件的下方,具有可抽拉嵌套式接水盘,所述接水盘组件还具有安装座,所述接水盘与安装座可拆卸式连接,所述安装座与所述吊臂纵梁活动连接。4.根据权利要求1所述的新型硅棒上下棒工装,其特征在于:所述吊臂纵梁通过吊臂支...

【专利技术属性】
技术研发人员:张璐张秀涛宫云庆
申请(专利权)人:青岛高测科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:山东,37

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