The utility model provides a novel silicon rod rod fixture includes a movable door frame fixed door frame, door frame and fixed connection, the arm assembly is connected with moving door frame, the lifting arm assembly comprises a lifting arm with beams and stringers, the crane beam is arranged below there are slide, also includes a bracket assembly, a bracket assembly includes a bracket, roller mounting plate, roller, supporting guide rail, the wheel mounting plate is fixedly connected to the bracket two relative frame, the roller is fixedly connected with the roller mounting plate, the roller and the crane beam below the slide is matched with the the support rail is also fixedly connected on the bracket two relative frame. Rolling bracket assembly for mobile bracket assembly on the slide rails in the slide arm through the roller, change the traditional bar tooling sliding friction to rolling friction, reduce friction resistance, easy to clamp the workpiece smoothly push and pull, so as to ensure the quality of silicon wafers.
【技术实现步骤摘要】
一种新型硅棒上下棒工装
本技术属于晶硅切片
,具体涉及一种新型硅棒上下棒工装。
技术介绍
目前,切片机在切割硅片时,需要将硅棒放入切片机里面,切割完成后将硅片取下进入下道工序。硅棒上下切片机需要使用硅棒上下棒工装,本专利申请针对现有硅棒上下棒工装存在的各种问题进行创新性改进。传统切片机存在如下问题:比如专利文献(CN205043987U)公开了一种硅棒上下棒装置,其包括固定架,移动支架,移动支架可滑动地连接与所述固定架上。从说明书附图中不难看出移动支架的滑台其一滑动面与夹板为面接触,滑动摩擦很大,会导致夹持硅棒推拉困难。再比如专利文献(CN204844535U)公开了一种切片机自动上下硅棒的智能运输装置,其夹持硅棒的工装与悬臂梁之间使用万向联轴器连接,虽然使用万向联轴器在一定范围内能使工装活动,但不能依靠工装夹持着硅棒将硅棒送入切割位置,这样的上下棒工装在上下棒时还需支撑柱辅助,导致上下棒操作困难。除所述万向联轴器的连接方式,市面上还有一些工装和悬臂梁之间是滑动摩擦的,使用时,因滑动阻力大,夹持工件推拉困难,切割好的硅片会因为突然的加减速产生晃动,造成硅片崩边、亮边等,影响硅片质量。该专利文献虽然也公开了废料槽,用于盛接切削液,但该废料槽安装位置固定,如果离工装太近会影响硅棒上下棒操作,安装位置太远,切削液落入废料槽也会存在往外飞溅的可能,操作使用不方便。
技术实现思路
本技术提供了一种新型硅棒上下棒工装,克服现有技术的上下棒工装存在的粘贴硅棒的夹持工件与工装之间存在较大的滑动摩擦阻力,硅片下片时易因工装突然的加减速造成崩边、亮边的问题,以及现有工装没有设计 ...
【技术保护点】
一种新型硅棒上下棒工装,包括固定门架、与固定门架活动连接的活动门架,与活动门架活动连接的吊臂组件,所述吊臂组件包括具有横梁和纵梁的吊臂,所述吊臂横梁下面设有滑轨,其特征在于:还包括托架组件,所述托架组件包括托架、滚轮安装板、滚轮、支撑导轨,所述滚轮安装板固定连接在托架两相对边框上,所述滚轮固定连接在滚轮安装板上,所述滚轮与吊臂横梁下面的滑轨相适配,所述支撑导轨也固定连接在托架两相对边框上。
【技术特征摘要】
1.一种新型硅棒上下棒工装,包括固定门架、与固定门架活动连接的活动门架,与活动门架活动连接的吊臂组件,所述吊臂组件包括具有横梁和纵梁的吊臂,所述吊臂横梁下面设有滑轨,其特征在于:还包括托架组件,所述托架组件包括托架、滚轮安装板、滚轮、支撑导轨,所述滚轮安装板固定连接在托架两相对边框上,所述滚轮固定连接在滚轮安装板上,所述滚轮与吊臂横梁下面的滑轨相适配,所述支撑导轨也固定连接在托架两相对边框上。2.根据权利要求1所述的新型硅棒上下棒工装,其特征在于:所述固定门架和活动门架上分别固定连接有安装座,一丝杠通过所述固定门架和活动门架上的安装座将活动门架与固定门架连接起来。3.根据权利要求1所述的新型硅棒上下棒工装,其特征在于:还包括接水盘组件,所述接水盘组件位于托架组件的下方,具有可抽拉嵌套式接水盘,所述接水盘组件还具有安装座,所述接水盘与安装座可拆卸式连接,所述安装座与所述吊臂纵梁活动连接。4.根据权利要求1所述的新型硅棒上下棒工装,其特征在于:所述吊臂纵梁通过吊臂支...
【专利技术属性】
技术研发人员:张璐,张秀涛,宫云庆,
申请(专利权)人:青岛高测科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:山东,37
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