测温连接器、测温载板及测温系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种测温连接器、测温载板及测温系统。测温连接器包括伸缩密封结构、第一引线连接器和多条第一引线；伸缩密封结构用于穿过需要测温的密封腔室设置并与腔室可移动地密封连接；第一引线连接器设置在伸缩密封结构腔室内一端，第一引线连接器上设置有多个第一接触端子；多条第一引线分别设置在伸缩密封结构内，多条第一引线分别与对应的第一接触端子电连接；伸缩密封结构能够带动第一引线连接器沿腔室移动，以使得各第一接触端子与测温载板上的第二引线连接器上对应的第二接触端子电连接或分离。采用分体式的引线连接结构，可以简化测温系统的结构。采用将温度传感器直接内嵌在载板本体中的测温方式，可以提高测量温度的准确性。

Temperature Connector, Temperature Carrier and Temperature Measurement System

【技术实现步骤摘要】
测温连接器、测温载板及测温系统
本技术涉及半导体设备
，具体涉及一种测温连接器、一种测温载板以及一种测温系统。
技术介绍
一般地，半导体处理设备，例如，金属有机化合物化学气相沉积(Metal-organicChemicalVaporDeposition，MOCVD)设备，在工作时，其腔室内的载板的温度可以高达900℃，通常需要采用非接触式的红外高温传感器测量载板的温度，该红外高温传感器的测温原理是红外高温传感器的探头通过接收载板的辐射光间接测量其温度。但是，当半导体处理设备被不充裕的内部空间或复杂运行工况等条件限制时，必须将红外高温传感器与加热灯管安装在同一侧，红外高温传感器的探头在测量载板底部温度时会穿过加热灯管的间隙，这样，在测温时，探头除了接收载板底部的辐射光还会接收到其他物体如加热灯管的杂散光，这会产生不可控的干扰，导致测量的温度不准。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种测温连接器、一种测温载板以及一种测温系统。为了实现上述目的，本技术的第一方面，提供了一种测温连接器，包括伸缩密封结构、第一引线连接器和多条第一引线；所述伸缩密封结构穿过需要测温的密封腔室设置并与所述腔室可移动地密封连接；所述第一引线连接器设置在所述伸缩密封结构腔室内一端，所述第一引线连接器上设置有多个第一接触端子；所述多条第一引线分别设置在所述伸缩密封结构内，所述多条第一引线分别与对应的所述第一接触端子电连接；所述伸缩密封结构能够带动所述第一引线连接器沿所述腔室移动，以使得各所述第一接触端子与测温载板上的第二引线连接器上对应的第二接触端子电连接或分离。可选地，所述伸缩密封结构腔室内的一端通过摆动副与所述第一引线连接器摆动连接。可选地，所述摆动副包括对称设置在所述第一引线连接器上的两个第一安装件、对称设置在所述伸缩密封结构腔室内一端的两个第二安装件以及穿设在所述第一安装件与对应的所述第二安装件上的销轴。可选地，所述伸缩密封结构包括连接组件和弹性密封套筒，其中，所述连接组件的第一端与所述第一引线连接器连接，所述连接组件的第二端穿出所述腔室，并且，在所述腔室的径向方向上，所述连接组件与所述腔室之间具有间隙；所述弹性密封套筒套设在所述连接组件的外侧，所述弹性密封套筒的第一端与所述腔室密封连接，所述弹性密封套筒的第二端与所述连接组件的第二端固定连接。可选地，所述弹性密封套筒包括波纹管，所述波纹管的第一端经由安装法兰组件与所述腔室密封连接，所述波纹管的第二端与所述连接组件的第二端固定密封连接。可选地，所述连接组件包括引线套管和真空连接器；其中，所述引线套管的第一端与所述第一引线连接器连接，所述引线套管的第二端穿出所述腔室并与所述真空连接器连接；所述真空连接器包括若干个引入插针以及若干个引出插针；所述弹性密封套筒套设在所述引线套管的外侧并与所述真空连接器固定连接；每条所述第一引线穿过所述引线套管并与对应的所述引入插针电连接。可选地，所述引线套管包括第一引线子套管和第二引线子套管，所述伸缩密封结构还包括弹性件；所述第一引线子套管的第一端与所述第一引线连接器连接，所述第一引线子套管的第二端与所述弹性件的第一端连接；所述第二引线子套管的第一端与所述弹性件的第二端连接，所述第二引线子套管的第二端穿出所述腔室并与所述真空连接器连接。本技术的第二方面，提供了一种测温载板，包括载板本体、多个温度传感器、多条第二引线和第二引线连接器；多个所述温度传感器分别内嵌在所述载板本体中；所述第二引线连接器位于所述载板本体沿其厚度方向的一个表面，所述第二引线连接器上设置有多个第二接触端子，多个所述第二接触端子用于与测温连接器中的第一引线连接器上对应的第一接触端子电连接；每条所述第二引线的第一端与对应的所述温度传感器电连接，每条所述第二引线的第二端与对应的所述第二接触端子电连接。可选地，所述载板本体内设置有若干个引线槽以及填充在所述引线槽内的回填密封层，每条所述第二引线的第二端穿过对应的所述引线槽与对应的所述第二接触端子电连接。可选地，所述载板本体沿其厚度方向的另一个表面上间隔设置有若干个卡扣，每条所述第二引线的第二端依次穿过各所述卡扣与对应的所述第二接触端子电连接。本技术的第三方面，提供了一种测温系统，包括测温连接器和测温载板，所述测温连接器采用前文记载的所述的测温连接器，所述测温载板采用前文记载的所述的测温载板。可选地，所述第二接触端子的横截面尺寸大于对应的所述第一接触端子的横截面尺寸。本技术的测温连接器、测温载板及测温系统，采用分体式的引线连接结构，位于测温载板上的温度传感器、第二引线和第二引线连接器可以随测温载板一起移动，同时，位于测温连接器上的伸缩密封结构可以配合测温载板的移动，驱动第一引线连接器沿腔室移动，以便使得第一接触端子与第二接触端子电连接或分离，从而可以准确地测量移动式的测温载板的温度。此外，采用将温度传感器直接内嵌在载板本体中的测温方式，可以直接测量反馈载板本体的实时温度，不受其他环境因素影响，从而可以进一步提高测量温度的准确性。附图说明附图是用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本技术，但并不构成对本技术的限制。在附图中：图1为本技术第一实施例中测温系统的结构示意图；图2为本技术第二实施例中第一引线连接器与第二引线连接器处的局部装配示意图；图3为图2中所示的第一引线连接器与第二引线连接器处的剖视图；图4为本技术第三实施例中测温载板的结构示意图；图5为本技术第四实施例中测温连接器中的伸缩密封结构的局部示意图；图6为图5中所示的伸缩密封结构的剖视图；图7为图5中所示的伸缩密封结构的俯视图；图8图5中所示的伸缩密封结构中的波纹管的结构示意图；图9为图5中所示的伸缩密封结构中的真空连接器的结构示意图；图10为本技术第五实施例中第二引线的走线示意图；图11为本技术第六实施例中第二引线的走线示意图。具体实施方式以下结合附图对本技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本技术，并不用于限制本技术。请参阅图1，一种测温系统300，该测温系统300包括测温连接器100，该测温连接器100包括伸缩密封结构110、第一引线连接器120和多条第一引线(图中并未示出)。其中，伸缩密封结构110穿过需要测温的密封腔室400设置并与腔室400可移动地密封连接。第一引线连接器120设置在伸缩密封结构110位于腔室400内的一端，请一并参阅图2和图3，该第一引线连接器120上设置有多个第一接触端子121。多条第一引线分别设置在伸缩密封结构110内，多条第一引线分别与对应的第一接触端子121电连接。请参阅1和图4，测温系统300还包括测温载板200，该测温载板200包括载板本体210、多个温度传感器220、多条第二引线230和第二引线连接器240。其中，载板本体210的表面可以承载多个基片600。多个温度传感器220分别内嵌在载板本体210中，每个温度传感器220可以对应一个基片600，并且，该温度传感器220可以对应基片600的中心位置设置。第二引线连接器240本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种测温连接器，其特征在于，包括伸缩密封结构、第一引线连接器和多条第一引线；所述伸缩密封结构穿过需要测温的密封腔室设置并与所述腔室可移动地密封连接；所述第一引线连接器设置在所述伸缩密封结构腔室内一端，所述第一引线连接器上设置有多个第一接触端子；所述多条第一引线分别设置在所述伸缩密封结构内，所述多条第一引线分别与对应的所述第一接触端子电连接；所述伸缩密封结构能够带动所述第一引线连接器沿所述腔室移动，以使得各所述第一接触端子与测温载板上的第二引线连接器上对应的第二接触端子电连接或分离。

【技术特征摘要】
1.一种测温连接器，其特征在于，包括伸缩密封结构、第一引线连接器和多条第一引线；所述伸缩密封结构穿过需要测温的密封腔室设置并与所述腔室可移动地密封连接；所述第一引线连接器设置在所述伸缩密封结构腔室内一端，所述第一引线连接器上设置有多个第一接触端子；所述多条第一引线分别设置在所述伸缩密封结构内，所述多条第一引线分别与对应的所述第一接触端子电连接；所述伸缩密封结构能够带动所述第一引线连接器沿所述腔室移动，以使得各所述第一接触端子与测温载板上的第二引线连接器上对应的第二接触端子电连接或分离。2.根据权利要求1所述的测温连接器，其特征在于，所述伸缩密封结构腔室内的一端通过摆动副与所述第一引线连接器摆动连接。3.根据权利要求1所述的测温连接器，其特征在于，所述伸缩密封结构包括连接组件和弹性密封套筒，其中，所述连接组件的第一端与所述第一引线连接器连接，所述连接组件的第二端穿出所述腔室，并且，在所述腔室的径向方向上，所述连接组件与所述腔室之间具有间隙；所述弹性密封套筒套设在所述连接组件的外侧，所述弹性密封套筒的第一端与所述腔室密封连接，所述弹性密封套筒的第二端与所述连接组件的第二端固定连接。4.根据权利要求3所述的测温连接器，其特征在于，所述连接组件包括引线套管和真空连接器；其中，所述引线套管的第一端与所述第一引线连接器连接，所述引线套管的第二端穿出所述腔室并与所述真空连接器连接；所述真空连接器包括若干个引入插针以及若干个引出插针；所述弹性密封套筒套设在所述引线套管的外侧并与所述真空连接器固定连接；每条所述第一引线穿过所述引线套管并与对应的所述引入插针电连接。5.根据权利要求4所述的测温连...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱磊，倪志松，尹翔，刘彦佐，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11