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东泰高科装备科技有限公司专利技术
东泰高科装备科技有限公司共有370项专利
抛光头真空吸附结构及抛光头制造技术
本实用新型公开了一种抛光头真空吸附结构及抛光头,其中,该吸附结构包括主体,主体的吸附面上设置有环形吸附槽和多个直线吸附槽,每个直线吸附槽的一端均设置在环形吸附槽的中心,每个直线吸附槽的另一端与环形吸附槽相连,相邻两个直线吸附槽之间的夹角...
一种柔性太阳能电池制造技术
本实用新型提供一种柔性太阳能电池。该太阳能电池包括衬底和沿远离衬底的方向依次设置在衬底上的第一电极层、第一载流子传输层、光电转换层、第二载流子传输层、第二电极层和顶膜,光电转换层中包含有纳米金属线。该太阳能电池通过在光电转换层中加入纳米...
一种三甲基铟鼓泡装置和太阳能电池制造设备制造方法及图纸
本实用新型提供一种三甲基铟鼓泡装置和太阳能电池制造设备。该三甲基铟鼓泡装置包括用于容纳固态三甲基铟的钢瓶、用于向钢瓶中输入载气的输入管和用于将钢瓶中产生的三甲基铟蒸汽输出的输出管;输入管的一端位于钢瓶外,用于通入载气,另一端延伸至钢瓶内...
工艺腔室和半导体处理设备制造技术
本实用新型公开了一种工艺腔室和半导体处理设备。包括腔室本体;基座,设置在所述腔室本体内;加热件,位于所述基座和所述腔室本体的腔室壁之间,所述加热件能够向外辐射加热光线,以加热所述基座;反射组件,位于所述加热件和所述腔室本体的腔室壁之间,...
冷却装置及废气处理系统制造方法及图纸
本实用新型提供的冷却装置和废气处理系统,包括冷却腔体、冷却结构和清除结构,其中,冷却腔体中设置有通道,用以通入待冷却气体,冷却结构包括至少一个冷却板,冷却板设置在通道中,且将通道分割为多个子通道,清除结构设置在子通道中,用于清除在冷却过...
工艺腔室和半导体处理设备制造技术
本实用新型公开了一种工艺腔室和半导体处理设备。包括腔室本体;腔室上盖,上盖设在腔室本体上;喷淋头,吊装在腔室上盖下侧,且喷淋头上设置有若干个匀流接口;若干个外转接管组件,每个外转接管组件对应至少一个匀流接口,外转接管组件的第一端用于与供...
吸附装置制造方法及图纸
本实用新型提供了一种吸附装置,包括:吸附结构,吸附结构上具有多个通气孔;覆膜透气纺织材料,设置在吸附结构上并覆盖住多个通气孔,吸附结构能够产生负压,以通过多个通气孔将产品吸附在覆膜透气纺织材料上。通过本实用新型提供的技术方案,能够解决现...
一种传输装置制造方法及图纸
本实用新型涉及气相外延设备技术领域,尤其涉及传输装置,包括传输组件和调整组件,传输组件包括腔室和位于腔室内用于输送载板的传送件,调整组件沿载板的传输方向设置于腔室的内侧壁上;调整组件包括调整轮和调整轮支撑台,调整轮支撑台与腔室的内侧壁通...
一种砷烷气体制备设备的安全控制运行系统技术方案
本实用新型提供一种砷烷气体制备设备的安全控制运行系统,包括:所述系统包括:箱体、微负压保持装置和气体处理装置,所述箱体为全密闭结构,所述箱体中设有电解装置;气体处理装置位于箱体外部,且与箱体中的电解装置管路连接;微负压保持装置位于箱体外...
一种太阳能电池单元和太阳能电池制造技术
本实用新型提供一种太阳能电池单元,所述太阳能电池单元包括太阳能电池本体和设置在太阳能电池本体的外表面上的透光抗辐射层,所述透光抗辐射层能够阻止波长小于紫外线的辐射波穿过该透光抗辐射层进入太阳能电池本体,并将上述辐射波的能量以紫外线、红外...
一种砷化镓电池外延结构制造技术
本实用新型提供一种砷化镓电池外延结构。该砷化镓电池外延结构包括衬底和设置在衬底上的牺牲层和电池层,沿远离衬底的方向,牺牲层和电池层依次叠置,牺牲层能通过湿法腐蚀辅助衬底与电池层分离,牺牲层从边缘区域向中心区域厚度逐渐降低。该砷化镓电池外...
腔室用介质引入结构和半导体处理设备制造技术
本实用新型公开了一种腔室用介质引入结构和半导体处理设备。包括:引入管,具有介质引入端,所述介质引入端用于伸入所述腔室内;弹性连接组件,套设在所述引入管外部,所述弹性连接组件的第一端用于与所述腔室密封连接,所述弹性连接组件的第二端与所述引...
一种清洗机溶液检测装置和控制系统制造方法及图纸
本实用新型提供一种清洗机溶液检测装置和控制系统,该检测装置包括溶液样品获取模块和反应处理模块;所述溶液样品获取模块用于获取定量的清洗机溶液的样品,并将所述样品传输给所述反应处理模块;述反应处理模块包括第一反应槽、第二反应槽和滴定液存储仓...
砷化镓电池外延结构制造技术
本实用新型提供一种砷化镓电池外延结构。该砷化镓电池外延结构包括衬底和设置在衬底上的牺牲层和电池层,牺牲层和电池层沿远离衬底的方向依次叠置,牺牲层包括叠层单元,叠层单元包括能被湿法腐蚀液腐蚀的膜层和夹设在膜层中的不能被湿法腐蚀液腐蚀的量子...
工艺腔室和半导体处理设备制造技术
本实用新型公开了一种工艺腔室和半导体处理设备。包括腔室本体、以及位于腔室本体内的喷淋件,还包括至少一个吊装装置,每个吊装装置包括吊装主体以及若干个调整件,吊装主体的第一端穿出腔室本体并与所述腔室本体可移动地密封连接,第二端与喷淋件密封连...
叠层太阳能电池制造技术
本实用新型公开了一种叠层太阳能电池,包括从下到上依次层叠设置的第一子电池和第二子电池,所述第一子电池采用砷化镓子电池,所述第二子电池采用至少一层钙钛矿子电池;在所述第一子电池背离所述第二子电池的一侧设置有第一引出端子;在所述第二子电池背...
一种太阳能电池制造技术
本实用新型提供一种太阳能电池。该太阳能电池包括衬底和设置在衬底上的反射层和电池层,沿远离衬底的方向,反射层和电池层依次设置,反射层包括至少一个叠层单元,沿远离衬底的方向,各叠层单元依次叠置,叠层单元包括相互叠置的砷化镓层和砷化铝层,砷化...
一种太阳能电池外延结构制造技术
本实用新型提供一种太阳能电池外延结构。该太阳能电池外延结构包括待剥离衬底和设置在待剥离衬底上的牺牲层和电池层,沿远离待剥离衬底的方向,牺牲层和电池层依次设置,牺牲层包括至少一个叠层单元,各叠层单元依次叠置,叠层单元包括相互叠置的第一砷化...
一种基片定位装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种基片定位装置,通过在基片周侧设置多组定位夹持组件,每组定位夹持组件包括:驱动机构、弹性缓冲件、夹持机构,或者驱动轴是具有轴线方向弹性伸缩的结构,通过弹性缓冲件或者本身弹性伸缩的驱动轴,可使得驱动机构的作用力得以缓冲,...
一种全封闭式手套箱制造技术
本实用新型涉及一种手套箱,尤其涉及一种全封闭式手套箱。全封闭式手套箱包括下腔体,下腔体为密封结构,所述下腔体内设有气体处理装置;所述气体处理装置包括通过管路依次连接的单向阀、负压风机和至少一个吸附装置。本申请将气体处理装置设置在密闭的下...
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