The cooling device and the exhaust gas treatment system provided by the utility model include a cooling chamber, a cooling structure and a cleaning structure, in which a passage is arranged to enter the cooling gas to be cooled. The cooling structure includes at least one cooling plate, which is arranged in the passage, and the passage is divided into several sub-passages, and the cleaning structure is arranged in the sub-passage for cleaning the cooling gas. The condensate condensed on the inner wall of the subchannel during the process. By setting the clearing structure, the condensate can be avoided accumulating in the sub-channel, thus prolonging the service life of the cooling device and improving the treatment effect of waste gas.
【技术实现步骤摘要】
冷却装置及废气处理系统
本技术属于废气处理领域，具体涉及一种冷却装置及废气处理系统。
技术介绍
GaAs薄膜太阳能电池需要通过MOCVD方式生产制造，太阳能电池片的晶体生长源的材料包含AsH3和PH3等。MOCVD设备在工艺过程中，产生的尾气含有大量未参加反应的AsH3、PH3以及含砷化合物，因而需要对尾气中的AsH3、PH3以及含砷化合物进行废气处理。作为一种常见的废气处理方法，先通过高温热分解的方式使废气中的AsH3和PH3分解，分别分解为As和H2、P和H2，然后对生成物冷却降温，使气体中的As和P等粉尘冷凝，以清理废气中的有毒物质。图1为现有技术中一种常见的冷却装置的结构示意图。如图1所示，冷却装置包括冷却腔体100和设置在冷却腔体外周壁上的冷却水道200，通过向冷却水道中通入冷却介质，以对流经冷却腔体的流体进行冷却，使热分解后的冷凝物凝结在冷却腔体的内壁上。但是，上述冷却装置存在如下问题：随着使用时长的累积，凝结在冷却腔体的内壁上的冷凝物逐渐增多，冷凝物的增加阻碍了冷却水道对通道中的流体的冷却效果，导致通过冷却装置的气体中的有毒物质不能被充分冷凝，导致有...
【技术保护点】
1.一种冷却装置，其特征在于，包括：冷却腔体，所述冷却腔体中设置有通道，用以通入待冷却气体；冷却结构，所述冷却结构包括至少一个冷却板，所述冷却板设置在所述通道中，且将所述通道分割为多个子通道；清除结构，设置在所述子通道中，用于清除在冷却过程中凝结在所述子通道的内壁上的冷凝物。
【技术特征摘要】
1.一种冷却装置，其特征在于，包括：冷却腔体，所述冷却腔体中设置有通道，用以通入待冷却气体；冷却结构，所述冷却结构包括至少一个冷却板，所述冷却板设置在所述通道中，且将所述通道分割为多个子通道；清除结构，设置在所述子通道中，用于清除在冷却过程中凝结在所述子通道的内壁上的冷凝物。2.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述清除结构包括：清除件，设置在所述子通道中；驱动源，用于驱动所述清除件移动，并在移动过程中刮除所述冷凝物。3.根据权利要求2所述的冷却装置，其特征在于，所述驱动源为旋转驱动源，所述清除结构还包括旋转轴，所述旋转驱动源通过所述旋转轴连接所述清除件；或者，所述驱动源为直线驱动源，用于驱动所述清除件在所述通道中往复移动。4.根据权利要求3所述的冷却装置，其特征在于，所述通道的侧壁为平面，所述清除件在平行于所述通道的侧壁的平面内旋转。5.根据权利要求2所述的冷却装置，其特征在于，所述冷却板中设置有第...
【专利技术属性】
技术研发人员：张新云，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11
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