一种基片定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种基片定位装置，通过在基片周侧设置多组定位夹持组件，每组定位夹持组件包括：驱动机构、弹性缓冲件、夹持机构，或者驱动轴是具有轴线方向弹性伸缩的结构，通过弹性缓冲件或者本身弹性伸缩的驱动轴，可使得驱动机构的作用力得以缓冲，从而使得夹持机构对基片实现夹紧定位的同时，又不易损坏基片；本实用新型专利技术结构简单，成本较低，且可适用于大小各种基片，实用性较强。

A Substrate Positioning Device

【技术实现步骤摘要】
一种基片定位装置
本技术涉及基片加工领域，尤其涉及一种基片定位装置。
技术介绍
在半导体和太阳能等领域的生产设备中，越来越多采用自动化的方式进行基片的传送和装卸载，自动化装置准确、高效，可以完成一些复杂动作和一些重复性的工作，对解放人力、提高效率、降低成本，都有积极的作用，应用也越来越广泛。在自动化传送基片的过程中，经常会出现如下场景：基片传送到达指定位置后，需要设计定位机构对基片进行定位，完成定位后，以便于为下一步的抓取、翻转、ID读取、碎片检测等动作做好准备，此类定位机构应用较为普遍。目前定位机构一般包括基片的支撑件，驱动气缸，驱动气缸所推动的推杆，用于推动和定位基片；定位柱作为基片定位的一个基准；具体地，基片放置到支撑件上之后，气缸带动推杆推动基片，将其往右侧推动到和定位柱紧密接触，从而实现基片的准确定位，为下一步的其它动作做好准备。对常规应用或精度要求不高的应用而言，此类机构是简便和有效的，但是对于基片之间尺寸存在变化的要求高精度定位的应用，此类机构无法完成准确定位的目的。对于尺寸恰好匹配的基片，如上述描述的过程，该机构可以实现基片的准确定位。但是对于尺寸偏小的基片，此机构偏松，无法完成准确定位的目的；对于尺寸偏大的基片，该机构又偏紧，会造成基片的挤压变形甚至破碎，无法完成定位任务。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种基片定位装置，以解决现有技术中的问题，对基片实现准确、合适的定位。一方面，本技术提供一种基片定位装置，所述基片定位装置包括支撑平台和设置在所述支撑平台上的多组定位夹持组件，所述定位夹持组件用于夹持设置在所述支撑平台上的基片；所述定位夹持组件包括驱动机构和夹持机构，所述驱动机构包括驱动轴和弹性缓冲件，所述弹性缓冲件套设在所述驱动轴的一端，或所述驱动轴是具有轴线方向弹性伸缩的结构；所述夹持机构固定的设置在驱动轴上。可选择地，所述驱动机构包括固定设置在支撑平台上的驱动气缸。可选择地，所述弹性缓冲件为弹簧。可选择地，所述夹持机构包括两根传动杆、两根推杆和转接连杆，所述转接连杆套设在所述弹性缓冲件和驱动机构之间，所述转接连杆的两端分别设置了传动杆，所述传动杆远离转接连杆的一侧还设置了推杆。可选择地，所述驱动轴还包括穿过所述转接连杆设置的连接螺杆，所述连接螺杆的端部设置有挡块，所述弹簧套设在所述挡块与所述转接连杆之间的所述连接螺杆上，所述挡块的外径大于等于弹簧的外径。可选择地，所述基片定位装置还包括固定设置的导向基座，所述传动杆活动的穿设在所述导向基座内。可选择地，所述基片定位装置还包括直线轴承，所述传动杆穿过所述直线轴承设置。可选择地，所述支撑平台上设置有通槽，所述推杆活动的设置所述通槽中，所述推杆的底部与穿设在导向基座内的传动杆连接。另一方面，本技术提供一种基片定位装置，所述基片定位装置包括支撑平台和设置在所述支撑平台上的多组定位夹持组件，所述定位夹持组件用于夹持设置在所述支撑平台上的基片；所述定位夹持组件包括驱动机构、驱动轴、弹性缓冲件和夹持机构，所述驱动轴穿过所述驱动结构，所述夹持机构设置在所述驱动轴的第一端，所述驱动轴上远离夹持机构的第二端还设置了弹性缓冲件。另一方面，本技术提供一种基片定位装置，所述基片定位装置包括支撑平台和设置在所述支撑平台上的多组定位夹持组件，所述定位夹持组件用于夹持设置在所述支撑平台上的基片；所述定位夹持组件包括驱动机构、驱动轴、弹性缓冲件和夹持机构，所述驱动机构与驱动轴连接，所述驱动轴远离驱动机构的一侧还设置了夹持组件，所述夹持组件和驱动轴之间还设置了弹性缓冲件。本技术提供的基片定位装置，通过在基片周侧设置多组定位夹持组件，每组定位夹持组件包括：驱动机构、弹性缓冲件、夹持机构，或者驱动轴是具有轴线方向弹性伸缩的结构，通过弹性缓冲件或者本身弹性伸缩的驱动轴，可使得驱动机构的作用力得以缓冲，从而使得夹持机构对基片实现夹紧定位的同时，又不易损坏基片；本技术结构简单，成本较低，且可适用于大小各种基片，实用性较强。附图说明图1为本技术实施例提供的基片定位装置的结构示意图；图2为本技术又一实施例提供的定位夹持组件的正视图；图3为本技术又一实施例提供的定位夹持组件的俯视图；附图标记说明：1-基片，2-支撑平台，3-定位夹持组件，4-驱动机构，41-驱动气缸，42-驱动轴，5-弹性缓冲件，51-挡块，52-连接螺杆，6-夹持机构，61-传动杆，62-推杆，63-转接连杆，7-导向基座，71-直线轴承。具体实施方式下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能解释为对本技术的限制。如图1-3所示，本技术实施例提供一种基片定位装置，所述基片定位装置包括支撑平台2和设置在所述支撑平台2上的多组定位夹持组件3，所述定位夹持组件3用于夹持设置在所述支撑平台2上的基片1。其中，基片1放置在支撑平台2上，支撑平台2可对基片1进行支撑。所述定位夹持组件3包括驱动机构4和夹持机构6。所述驱动机构4包括缸体和驱动轴42。在一个例子中，该缸体为气缸或液压缸。所述驱动轴设置在缸体内。所述驱动机构4还包括弹性缓冲件5，所述弹性缓冲件5套设在所述驱动轴42的一端，或所述驱动轴42是具有轴线方向弹性伸缩的结构。在本申请的具体实施例中，弹性缓冲件5的实现方式有多种，如弹簧、气压缸、液压缸、橡胶等，均能实现缓冲的作用。在本申请的具体实现方式中，已弹簧为例进行具体说明。所述夹持机构6固定的设置在驱动轴42上。本技术一个实施例中，驱动机构4与驱动轴42连接，用于驱动所述驱动轴42运动，驱动机构4通过驱动轴42与弹性缓冲件5、夹持机构6依次接触，驱动机构4通过弹性缓冲件5向夹持机构6施力，使得夹持机构6对所述基片1进行夹持定位。需要说明的是，本申请的具体实施例分别包括驱动轴42和弹性缓冲件5仅为本申请的一种具体实现方式。在本申请的具体实施例中，所述驱动轴42和弹性缓冲件5也作为一个整体存在。例如，所述驱动轴是具有弹性伸缩能力的轴，即不设置弹性缓冲件5，即驱动轴42本身可实现弹性伸缩，也可缓冲驱动机构4向夹持机构6施的力，使得夹持机构6对所述基片1进行夹持定位。弹性缓冲件5或者弹性伸缩的驱动轴42本身可使得驱动机构4的作用力得以缓冲，使得驱动轴42运动趋势及受到的作用力均变缓，从而使得加载在基片1上的力也同样变缓，实现二者的“软接触”，保证在夹紧基片1的同时，不损坏基片1；本技术结构简单，成本较低，且可适用于大小各种基片1，实用性较强。本实施例中，可选择地，所述驱动机构4包括固定设置在支撑平台2上的驱动气缸41。可选择地，所述弹性缓冲件5为弹簧，所述弹簧可以套装在所述驱动气缸41的驱动轴42上。可选择地，所述夹持机构6包括两根传动杆61、两根推杆62和转接连杆63，所述转接连杆63套设在所述弹性缓冲件5和驱动机构4之间，所述转接连杆63的两端分别设置了传动杆61，所述传动杆61远离转接连杆63的一侧还设置了推杆62。其中，本实施例中，两根传动杆61平行设置，且两根传动杆61之间通过转接本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基片定位装置，其特征在于，所述基片定位装置包括支撑平台和设置在所述支撑平台上的多组定位夹持组件，所述定位夹持组件用于夹持设置在所述支撑平台上的基片；所述定位夹持组件包括驱动机构和夹持机构，所述驱动机构包括驱动轴和弹性缓冲件，所述弹性缓冲件套设在所述驱动轴的一端，或所述驱动轴是具有轴线方向弹性伸缩的结构；所述夹持机构固定的设置在驱动轴上。

【技术特征摘要】
1.一种基片定位装置，其特征在于，所述基片定位装置包括支撑平台和设置在所述支撑平台上的多组定位夹持组件，所述定位夹持组件用于夹持设置在所述支撑平台上的基片；所述定位夹持组件包括驱动机构和夹持机构，所述驱动机构包括驱动轴和弹性缓冲件，所述弹性缓冲件套设在所述驱动轴的一端，或所述驱动轴是具有轴线方向弹性伸缩的结构；所述夹持机构固定的设置在驱动轴上。2.根据权利要求1所述的基片定位装置，其特征在于，所述驱动机构包括固定设置在支撑平台上的驱动气缸。3.根据权利要求1所述的基片定位装置，其特征在于，所述弹性缓冲件为弹簧。4.根据权利要求3所述的基片定位装置，其特征在于，所述夹持机构包括两根传动杆、两根推杆和转接连杆，所述转接连杆套设在所述弹性缓冲件和驱动机构之间，所述转接连杆的两端分别设置了传动杆，所述传动杆远离转接连杆的一侧还设置了推杆。5.根据权利要求4所述的基片定位装置，其特征在于，所述驱动轴还包括穿过所述转接连杆设置的连接螺杆，所述连接螺杆的端部设置有挡块，所述弹簧套设在所述挡块与所述转接连杆之间的所述连接螺杆上，所述挡块的外径大于等于弹簧的外径。6.根据权利要求4所述的基片定位装置，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘旭，姚立强，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11