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本实用新型公开了一种基片定位装置，通过在基片周侧设置多组定位夹持组件，每组定位夹持组件包括：驱动机构、弹性缓冲件、夹持机构，或者驱动轴是具有轴线方向弹性伸缩的结构，通过弹性缓冲件或者本身弹性伸缩的驱动轴，可使得驱动机构的作用力得以缓冲，从而...
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